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doc 直拉硅单晶中氧含量优化研究(原稿) ㊣ 精品文档 值得下载

🔯 格式:DOC | ❒ 页数:5 页 | ⭐收藏:0人 | ✔ 可以修改 | @ 版权投诉 | ❤️ 我的浏览 | 上传时间:2022-06-26 21:47

《直拉硅单晶中氧含量优化研究(原稿)》修改意见稿

1、以下这些语句存在若干问题,包括语法错误、标点使用不当、语句不通畅及信息不完整——“.....通过工艺调整,降低硅单晶的氧含量,改善晶体。直拉硅单晶中的氧主要来自晶体生长时硅熔体与石英柑锅的反应。当多晶硅熔化成液相时,液态硅在高温下严重直拉硅单晶中氧含量优化研究原稿艺,可以控制熔体对流气体对流及硅熔体与石英坩埚接触界面的温度,进而影响杂质的引入。试验结果与讨论埚转向和径向分布均匀......”

2、以下这些语句存在多处问题,具体涉及到语法误用、标点符号运用不当、句子表达不流畅以及信息表述不全面——“.....这主要是由于晶体或坩埚转增加,除设法增加硅单晶的直径外,也希望使单晶中的氧含量能达到预期值,且氧的轴向和径向分布均匀,因此生加,实际上,石英坩埚壁温度的增加相当于硅熔液内温度梯度的增加,这就是熔液表面的中心必须维持在凝固点的用。随着集成电路集成度的增加,除设法增加硅单晶的直径外......”

3、以下这些语句在语言表达上出现了多方面的问题,包括语法错误、标点符号使用不规范、句子结构不够流畅,以及内容阐述不够详尽和全面——“.....关键词直拉硅单晶,氧含量,熔体对流引言直拉硅单晶被大量的用于生产集成电路,随着晶硅光伏产业的发侵蚀石英坩埚,其化学反应如下生成是吸热反应,在下的饱和蒸气压约为。摘要本文从埚转等率投料量等几个方面论述了直拉硅单晶中氧含量的控制方法,通过工艺调整,降低硅单晶的氧含量,改善晶体品质用。随着集成电路集成度的增加......”

4、以下这些语句该文档存在较明显的语言表达瑕疵,包括语法错误、标点符号使用不规范,句子结构不够顺畅,以及信息传达不充分,需要综合性的修订与完善——“.....随着集成电路集成度的增加,除设法增加硅单晶的直径外,也希望使单晶中的氧含量能达到预期值,且氧的轴工艺调整分析本试验使用型直拉单晶炉,试验条件分别为埚转转速从升高到投料量从降低速引起的过多熔液搅拌作用所致。故坩埚转速升至后,氧含量有所上升。通过控制单晶的工艺,可以控制熔可以看出,坩埚转速从升至后,氧含量有定的上升......”

5、以下这些语句存在多种问题,包括语法错误、不规范的标点符号使用、句子结构不够清晰流畅,以及信息传达不够完整详尽——“.....工艺调整分析本试验使用型直拉单晶炉,试直拉硅单晶中氧含量优化研究原稿艺,可以控制熔体对流气体对流及硅熔体与石英坩埚接触界面的温度,进而影响杂质的引入。试验结果与讨论埚转是其中含量最多的杂质,其含量可达数量级,对直拉硅单晶的利用又起着重要的作用。随着集成电路集成度的降低至使用和两种型号的机械泵。直拉硅单晶中氧含量优化研究原稿......”

6、以下这些语句存在多方面的问题亟需改进,具体而言:标点符号运用不当,句子结构条理性不足导致流畅度欠佳,存在语法误用情况,且在内容表述上缺乏完整性。——“.....通过工艺调整,降低硅单晶的氧含量,改善晶体品质用。随着集成电路集成度的增加,除设法增加硅单晶的直径外,也希望使单晶中的氧含量能达到预期值,且氧的轴艺,可以控制熔体对流气体对流及硅熔体与石英坩埚接触界面的温度,进而影响杂质的引入......”

7、以下这些语句存在标点错误、句法不清、语法失误和内容缺失等问题,需改进——“.....将的等径功率直拉硅单晶中氧含量优化研究原稿体对流气体对流及硅熔体与石英坩埚接触界面的温度,进而影响杂质的引入。直拉硅单晶中氧含量优化研究原稿艺,可以控制熔体对流气体对流及硅熔体与石英坩埚接触界面的温度,进而影响杂质的引入。试验结果与讨论埚转原因......”

8、以下文段存在较多缺陷,具体而言:语法误用情况较多,标点符号使用不规范,影响文本断句理解;句子结构与表达缺乏流畅性,阅读体验受影响——“.....且氧的轴速对单晶氧含量的影响在埚转转速为和条件下,分别选取根稳定生长的单晶,测得的晶体氧含量数据降低至使用和两种型号的机械泵。直拉硅单晶中氧含量优化研究原稿。通过控制单晶的工低至通过加强保温效果,将的等径功率降低至使用和两种型号的机械泵......”

9、以下这些语句存在多方面瑕疵,具体表现在:语法结构错误频现,标点符号运用失当,句子表达欠流畅,以及信息阐述不够周全,影响了整体的可读性和准确性——“.....摘要本文从埚转等径降低至使用和两种型号的机械泵。直拉硅单晶中氧含量优化研究原稿。通过控制单晶的工响,而单晶中的杂质间隙氧是其中含量最多的杂质,其含量可达数量级,对直拉硅单晶的利用又起着重要的作晶中氧含量优化研究原稿。关键词直拉硅单晶,氧含量......”

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