腐蚀剂氟化氢属高毒类酸性腐蚀品。

建设单位在生产贮运过程中均应严格危险化学品管理制度，并编制化学事故应急救援预案，以确保生产安全。

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硅粉干燥后经加热脱水用氮气送入沸腾炉中与氯化氢反应生产三氯氢硅气体。

气体经过滤器除去硅粉尘，在空冷器除去高沸物杂质及金属氯化粉最后经冷凝为液体，再经分镏成成品三氯氢硅。

这是当今最成熟工艺技术，国内外三氯氢硅生产企业基本上都采用此种工艺。

此外还有用固定床氯化炉，铜粉作催化剂，氯化氢和硅粉直接合成三氯氢硅。

粗三氯氢硅含量在以上，经分镏提纯除去高低沸点物后，三氯氢硅含量达。

还有通过流化床反应器还原四氯硅烷来制备三氯硅烷方法。

该方法在反应器中建立个硅颗粒流化床，将微小组辐射直接导入反应器中，加热硅颗料吏春温度达到，含有四氯硅烷和氢反应气通过流化床，反应气与硅颗粒反应，形成含有三氯硅烷产物气。

本项目三氯氢硅装置生产工艺采用三氯氢硅沸腾床合成加压精镏冷凝分离提纯生产高纯度三氯氢硅产品和四氯化硅副产品传统工艺。

该工艺流程采用国内先进沸腾床式三氯氢硅合成炉，生产能力大，副产品少分离采用加压精镏技术使三氯氢硅产品质量达到四氯化硅产品质量达到以上，处于国内领先水平。

多晶硅目前多晶硅主要生产方法分别为硅烷法和三氯氢硅氢还原法又称西门子法这两种。

硅烷法是采用精制后硅烷进行热分解反应，析出硅，从而获得多晶硅棒，再经进步处理后而获得多晶硅产品。

三氯氢硅氢还原法是经过精制三氯氢硅经挥发后与精制后氢气在还原炉中高温下发生还原反应而析出硅，获得多晶棒，再往进步处理后而获得多晶硅产品。

改良西门子法即改良三氯氢硅氢还原法主要是对还原尾气进行回收利用，提高三氯氢硅转化率，降低其消耗，同时极大地解决尾气排放造成污染问题。

本项目选择改良西门子法生产多晶硅。

该工艺流程采用三氯氢硅和氢气分别经过精制，进入还原炉，在高温下进行还原，获得多晶硅棒经过后处理而获得高纯度多晶硅。

同时对还原尾气进行处理，回收三氯氢硅，四氯化硅和氢气。

回收三氯氢硅四氯化硅氢气经精制后再进入还原炉中生产多晶硅。

多晶硅产品质量达到要求。

工艺流程简述三氯氢硅工艺流程简述氯化氢合成工序开启合成炉合成段冷却水，管道氢气经阻火器氢气缓冲罐冷水冷却器冷却后去干燥器干燥除氧器除氧干燥器干燥与氯气按摩尔比进入合成炉管道氯气经氯气缓冲罐后进入合成炉通过冷却水量氯气和氢气量控制合成炉出口温度在。

合成气体经氯化氢缓冲罐纯化去三氯氢硅合成工序。

三氯氢硅合成工序硅粉通过真空管道输送至硅粉干燥器，干燥后硅粉用氮气送入三氯氢硅合成炉与来自氯化氢缓冲罐氯化氢气体在合成炉沸腾床发生反应，控制合成炉温度在，生成气相三氯氢硅和四氯化硅三氯氢硅和四氯化硅气体混合物经网袋式过投标根据中华人民共和国招标投标法和国家计委年第号令工程建设项目可行性研究报告增加招标内容和核准招标事项暂行规定，建议本工程依法对项目勘察设计施工监理以及与工程建设有关重要设备材料等采购进行招标，暂行规定明确规定，在项目可行性研究报告中增加招标内容，作为可行性研究报告附件与可行性研究报告同报导送。

项目建设单位应拟定本工程招标范围，招标组织形式，招标方法等内容文件，并送项目审批单位核准。

劳动定员及人员培训本项目定员根据生产操作并结合公司实际运行情况确定。

本工程拟定人员人，其中生产工人人，管理人员含技术人员人。

实行每年生产天，实行每天班