晶粒，并且容易在晶粒间形成空隙。

解决这问题办法是先用在衬底上沉积层较薄非晶硅层，再将这层非晶硅层退火，得到较大晶粒，然后再在这层籽晶上沉积厚多晶硅薄膜，因此，再结晶技术无疑是很重要个环节，目前采用技术主要有固相结晶法和中区熔再结晶法。

多晶硅薄膜电池除采用了再结晶工艺外，另外采用了几乎所有制备单晶硅太阳能电池技术，这样制得太阳能电池转换效率明显提高。

德国费莱堡太阳能研究所采用区熔再结晶技术在衬底上制得多晶硅电池转换效率为，日本三菱公司用该法制备电池，效率达。

液相外延法原理是通过将硅熔融在母体里，降低温度析出硅膜。

美国公司采用制备电池效率达。

我国光电发展技术中心陈哲良教授采用液相外延法在冶金级硅片上生长出硅晶粒，并设计了种类似于晶体硅薄膜太阳能电池新型太阳能电池，称之为硅粒太阳能电池，但有关性能方面报道还未见到。

从石英砂制备单晶硅和多晶硅太阳能电池工艺流程如下图所示。

图从石英砂到晶硅太阳能电池工艺流程非晶硅太阳能电池非晶硅太阳能电池优势是硅资源消耗少生产成本低，近年来发展迅速。

目前非晶硅单结电池最高效率已可达到左右，大量生产可达到左右。

叠层电池最高效率可达到。

比较代表性非晶硅电池生产厂家有德国，日本和美国。

由于非晶硅对太阳光吸收系数大，因而非晶硅太阳能电池可以做得很薄，通常硅膜厚度仅为，是单晶硅或多晶硅电池厚度左右，所以制作非晶硅电池资源消耗少。

非晶硅太阳能电池般是用高频辉光放电等方法使硅烷气体分解沉积而成。

由于分解沉积温度低左右，因此制作时能量消耗少，成本比较低，且这种方法适于大规模生产，单片电池面积可以做得很大例如，整齐美观。

非晶硅电池另特点是对蓝光响应好，在般荧光灯下也能工作，因此被广泛用作电子计算器和手掌电脑电源，估计全世界使用量达到每月千万片左右。

非晶硅中由于原子排列缺少结晶硅中规则性，往往在单纯非晶硅结构中存在缺陷，隧道电流占主导地位，无法制备太阳能电池。

因此要在层与层之间加入较厚本征层，以扼制其隧道电流，所以非晶硅太阳能电池般具有结构。

如果制成多层结构便形成叠层结构，在提高非晶硅太阳能电池转换效率和改善稳定性方面，叠层太阳能电池是个重要发展方向。

非晶硅由于其内部结构不稳定性和大量氢原子存在，具有光疲劳效应效应，故非晶硅太阳能电池经过长期工作稳定性存在问题。

近年来经努力研究，虽有所改善，但尚未彻底解决问题，故作为电力电源，尚未大量推广。

非晶硅太阳能电但有关性能方面报道还未见到。

从石英砂制备单晶硅和多晶硅太阳能电池工艺流程如下图所示。

图从石英砂到晶硅太阳能电池工艺流程非晶硅太阳能电池非晶硅太阳能电池优势是硅资源消耗少生产成本低，近年来发展迅速。

目前非晶硅单结电池最高效率已可达到左右，大量生产可达到左右。

叠层电池最高效率可达到。

比较代表性非晶硅电池生产厂家有德国，日本和美国。

由于非晶硅对太阳光吸收系数大，因而非晶硅太阳能电池可以做得很薄，通常硅膜厚度仅为，是单晶硅或多晶硅电池厚度左右，所以制作非晶硅电池资源消耗少。

非晶硅太阳能电池般是用高频辉光放电等方法使硅烷气体分解沉积而成。

由于分解沉积温度低左右，因此制作时能量消耗少，成本比较低，且这种方法适于大规模生产，单片电池面积可以做得很大例如，整齐美观。

非晶硅电池另特点是对蓝光响应好，在般荧光灯下也能工作，因此被广泛用作电子计算器和手掌电脑电源，估计全世界使用量达到每月千万片左右。

非晶硅中由于原子排列缺少结晶硅中规则性，往往在单纯非晶硅结构中存在缺陷，隧道电流占主导地位，无法制备太阳能电池。

因此要在层与层之间加入较厚本征层，以扼制其隧道电流，所以非晶硅太阳能电池般具有结构。

如果制成多层结构便形成叠层结构，在提高非晶硅太阳能电池转换效率和改善稳定性方面，叠层太阳能电池是个重要发展方向。

非晶硅由于其内部结构分区掺杂等技术，开发电池主要有平面单晶硅电池和刻槽埋栅电极单晶硅电池。

提高转换效率主要是靠单晶硅表面微结构处理和分区掺杂工艺。

在此方面，德国夫朗霍费费莱堡太阳能系统研究所保持着世界领先水平。

该研究