项目建设地点工程建设方案消防采用厚耐水挤塑型聚苯乙烯保温板。

外窗采用保温及密封性能好半隐框玻璃幕墙窗。

可以满足国家规范要求净化空调和动力节能设计净化空调采暖和通风在满足使用条件下，经济地确定环境参数以利节能按建筑物使用功能与各层面分区布置情况采取自然通风机械通风分散与集中空调系统相结合等多种方式调节室内温度，节约用电。

空调系统设计充分利用室内循环风，减少系统冷热负荷。

并根据室外气温及室内负荷变化采用自动控制调节冷热量以利节省能耗。

对工艺生产过程中产生排风系统与新风系统间设置热交换装置，利用工艺排风对空调新风进行次热交换，将排风中热量回收后再排掉，可减少空调系统加热量。

保温冷媒热媒输送管道空调净化风管风道均进行良好保温，减少冷热能耗。

选用保温性能好保温材料，如离心玻璃棉橡塑海绵保温材料。

空调房间围护结构采取保温措施，以降低能量消耗。

选用节能设备所有空调器风机等均采用高效率节能设备。

新风空调机接工艺设备局部排风系统风机均采用变频风机，可根据工艺生产实际情况对风机转速进行调节。

空调系统均设有温湿度传感器等，并采用自动控制，以节约冷热量。

电气节能设计照明系统采用高效节能型荧光灯具配电子镇流器，提高光效，降低能耗。

优选低噪声节能型生产设备和动力设备，合理能源配置。

其他节能措施选用节水型卫生洁具及配水件卫生间坐便器采用节水型坐便器，便器水箱建议采用两档型，蹲便器采用脚踏式延时开关卫生间小便器采用感应式小便器冲洗阀洗手盆龙头采用陶瓷芯感应式龙头其他洁具和五金配件均采用节水型产品。

选用节能设备在选用工程所需机电设备时，充分考虑和比较同类型设备效率能耗等经济技术指标，合理布置，以确保工艺先进及运行能耗最低。

工程实施计划立项备案年月审批年月施工图年月前期手续年月施工许可证年月厂房开工年月厂房竣工年月投资规模和资金筹措新建工程总投资万元人民币。

项目用电由公司现有系统提供。

低压配电采用树干式与放射式相结合形式，干线电缆沿桥架敷设，引至配电箱时局部穿钢管保护。

车间行政生活区生产辅助区均采用嵌入式雾面隔栅荧光灯具在主要出入口及主要通道设疏散指示及诱导照明，应急放电时间不小于分钟。

消防厂区内主要单体建筑四周均设有环形消防车道，建筑之间距离均控制在米以上。

设室内外消火栓系统和室内自动喷淋系统，消火栓及喷淋给水系统为与生活供水系统分开独立系统，消防系统采用稳高压给水系统。

消防泵房为厂区内现有，消防设备为双电源供电，消防水泵日常为电动泵做为应急备用。

室内设应急照明，应急照明灯具内自带蓄电池，应急时间不小于分钟。

在建筑主要出入口处疏散走道楼梯间设置诱导标志灯作为疏散照明，其地面照度值不低于，疏散路线上诱导标志灯带方向指示，出口诱导标志灯安装全部由建设单位自筹资金解决。

投资构成土建万含勘探设计行车电梯等机电系统设备及安装万含高低压变配电设备照明插座压缩空气工艺冷却水排风等洁净室安装万消防设施含喷淋万环保万合计万项目主要指标主要技术经济数据序号名称单位指标新建建筑占地面积平方米新建建筑面积平方米新增自来水用水量立方米天新增用电量项目总投资人民币万元需要说明内容本项目为新建厂房土建和般机电工程，不含生产工艺和设备，项目建设利用上海微电子装备公司现有厂区面积，用水可由现有系统提供，用电将向电力公司申请增容用电量基于对厂房未来用途设想基础上估算，生活污废水经化粪池处理后排入厂区原有排水系统。

在本可行性研究报告第二章中已经阐述了本项目实施必要性，本项目建立，重点并不完全在于公司近期内能获得多少经济效益，而是为研制开发高端光刻机，初步建立我国光刻设备产业创新体系提供相应研发生产基础设施，构筑我国微电子装备研发体系与人才平台，聚焦培养和造就批微电子装备总体设计系统集成先进微电子光学超精密机械精密光电测控等各方面高精尖人才，为缩短在这些领域和世界先进国家之间距离奠定基础。

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