配度降为级。但是与第三层和第五层相比，敏感度又有降低，反过来证明了其敏感层的分析是度配匹允差度配匹允差度配匹允差可靠的。第九层允差分析表膜系第九层相对光谱匹配允差表从表中可以看出，其敏感度比第三层和第五层低，比第七层高，光学匹配度降为级。本章小结经过对在可见光区和红外光区透明的薄膜材料进行分析，结合工艺实验的研究，最终确定了高折射率膜料为，低折射率膜料。对膜料进行了进步的正交实验研究，获得了其在可见光区和近红外光区的光学特性参数。利用已经获得的两种膜料的光学特性进行膜系设计，最终设计了滤光片并对其进行了优化了，优化结果完全符合设计参数要求。进步利用软件对滤光片进行了敏感层分析，分析结果对下章的膜系镀制有很大的指导意义。太阳能模拟器滤光片的镀制度配匹允差膜厚监控方法概述膜层厚度作为表征膜层物质质量的重要参数，通常有三种表述方法几何厚度光学厚度和质量厚度。光学薄膜厚度监控方法根据检测原理可以分为质量监控法光学监控法电学监控法和其他监控法等几大类。光学监控法是直接对薄膜光学厚度监控并可能以此给出膜层沉积时的折射率吸收等光学特征的方法，这个方法优点是可以对些膜系的膜层厚度进行自动补偿，光学监控法是薄膜厚度监控法中使用最广泛最简捷的方法。但是随着薄膜特征的要求更加严密，膜系更加复杂化，光学监控法由于其自身特点，不能满足对非规整膜系的监控。变波长法和定值法极值法对于控制规整膜系非常适合，但是随着膜系越来越复杂化，非规整膜系越来越多，常采用变波长法和定值法相结合的方法来控制薄膜厚度。变波长法顾名思义是改变监控设备的监控波长，使得所需厚度在选定的波长下其光学厚度是波长的整数倍。其优点非常简便，可将非规整膜系转化为规整膜系来控制。缺点是容易产生积累误差，而且选择的波长会受到设备限制，通常波长的选择会有定的局限性，因为它受到监控仪器的工作敏感区和膜料色散区域的限定。定值监控法是先通过光学极值法找到两个极值点的数据比如时间透射率走值等，然后根据理论计算出相应厚度的比例，算出此膜层厚度所需要走的的参数值，并以此作为厚度依据对膜厚进行顶点监控。这种方法容易实现，但缺点是是镀制非规整膜层时得提前镀制以利用现有的两个极值计算其对应走值点，误差较大。膜系镀制膜系镀制工艺参数的确定由正交试验可知，最佳的工艺参数是沉积速率沉积温度真空度离子辅助能量时，所得到的薄膜光学特性最为稳定并且最优。在设计膜系时，也选取该工艺参数下所得到的薄膜光学特性进行设计。在镀制薄膜时，由于其膜料对工艺参数的敏感性较低，所以该材料光学特性非常稳定。但是其熔点较低，所以电子枪束流应较低，保持稳定的沉积速率，使之所得到的薄膜尽量与设计时使用膜料的光学特性相近。滤光片的镀制最终膜系为,徐永杰,陆绮荣,李静等光谱测试系统中氙灯稳定电源仪器仪表传感器,太阳模拟器性能要求北京中国标准出版社顾培夫薄膜技术杭州浙江大学出版社出版社,赵兴梅长波通滤光片的研究长春理工大学,王庆短波通滤光片的研究哈尔滨工程大学,王贺全,沈辉,巴德纯等温度对直流反应磁控溅射制备薄膜光学性质的影响材料科学与工程学报,杨陈,樊慧庆,李创等离子束辅助反应电子束蒸发薄膜的结构和光学性能材料科学与工程学报范滨,唐骐离子辅助沉积光学薄膜的特性光学仪器潘永强,朱昌,弥谦等薄膜的光学特性应用光学郭爱云,薛亦渝,朱选敏等以低价态钛氧化物制备薄膜研究真空电子技术郭培涛,薛亦渝,张光勇等化合物制备薄膜热处理及透射率研究真空电子技术致谢在本次毕业设计中，我从指导老师潘永强教授身上学到了很多东西。潘教授认真负责的工作态度，严谨的治学精神和深厚的理论水平都使我收益匪浅。他无论在理论上还是在实践中，都给与我很大的帮助，使我得到不少的提高。这对于我以后的工作和学习都有种巨大的帮助，感谢他细心而又耐心的辅导，还有同组的几位同学的互相帮助，齐心协力，这里并表示感谢。在这里，对他们的无私帮助，我表示诚挚的感谢。最后，衷心地感谢在百忙之中评阅论文和参加答辩的各位专家教授,毕业设计论文知识产权声明本人完全了解西安工业大学北方信息工程学院有关保护知识产权的规定，即本科学生在校攻读学士学位期间毕业设计论文工作的知识产权属于西安工业大学北方信息工程学院。本人保证毕业离校后，使用毕业设计论文工作成果或用毕业设计论文工作成果发表论文时署名单位仍然为西安工业大学北方信息工程学院。学校有权保留送交的毕业设计论文的原文或复印件，允许毕业设计论文被查阅和借阅学校可以公布毕业设计论文的全部或部分内容，可以采用影印缩印或其他复制手段保存毕业设计论文。保密的毕业设计论文在解密后应遵守此规定毕业设计论文作者签名指导教师签名日期毕业设计论文独创性声明秉承学校严谨的学风与优良的科学道德，本人声明所呈交的毕业设计论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，毕业设计论文中不包含其他人已经发表或撰写过的成果，不包含他人已申请学位或其他用途使用过的成果。与我同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了致谢。毕业设计论文与资料若有不实之处，本人承担切相关责任。毕业设计论文作者签名指导教师签名日期。按照薄膜镀制流程进行操作。实验所用基底为厚度，直径的光学玻璃，平均透过率大于等于。为了保证实验数据的准确性，所镀薄膜样本均保证个以上的成品，对其进行测试并取平均值。所有测试与镀膜前的基片均按照如下步骤进行认真清洗，具体步骤去污将基片放入洗洁液中浸泡，以去除基片在抛光和传递过程中带来的表面油脂的污染。清洗取出基片，用大量去离子水漂洗，以去除表面残留的洗洁液。厚度监控用酒精和乙醚的混合液进行擦拭。实验基底温度，本底真空度，工作真空度，离子源能量。厚度采用光学监控，由于是非规整膜系，所以监控采短波控制长波方法和变波长法。每次实验将基底放在同位置，加修正版以保证获得样片的准确性。本章小结本章首先介绍了真空镀膜机及其使用流程。通过第三章对膜料研究的基础上对镀膜工艺进行了优化。在膜系的镀制过程中，采用离子束辅助电子束热蒸发的镀制方法和短波控制长波变波长以及定值法等膜厚监控方法对三种滤光片进行了镀制。对膜系进行了均匀性分析，结果表明在真空腔内加修正板的情况下，所得滤光片的均匀性偏差得到了很大的改善，符合设计要求。太阳能模拟器滤光片的测试光谱测试滤光片测试图所示为通过分光光度计测出的滤光片透光率测试结果。该滤光片在波段内平均透过率。截止带在之间，中心波长，中心透过率小于。截止半宽度。符合设计所要达到的要求。图滤光片透光率测试曲线滤光片机械性能的测试附着性试验用宽剥离强度不小于的胶带纸粘牢在膜表面，把胶带纸从零件的边缘朝表面的垂直方向迅速拉起后，膜层无脱落无损伤。水溶性试验将镀膜样片放入水中浸泡天，膜层无脱落起皱。温热性试验在温度为相对湿度为的条件下保持，膜层光整无起皮脱膜裂纹起泡等缺陷。中度摩擦膜层经受压力为外裹脱脂棉的橡皮摩擦头摩擦次，无损伤迹象。经过严格的各项机械性能测试，本次研制滤光片机械性能完全符合国家标准。本章小结本章首先利用分光光度计对滤光片进行了光谱透过率测试，结果表明型滤光片都满足光谱透过率要求。利用光纤光谱仪分别对单片和组件用滤光片进行了光谱辐照度分析，获得了其光谱曲线，对所得数据进行计算分析表明，两种滤光片的辐照匹配度达到了国家标准分别为。属于国家标准类模拟器滤光片。机械特性的测试表明该滤光片完全符合国家标准。结论本文系统的介绍了太阳能模拟器滤光片的研制工作。首先获得利用氙灯和国际标准曲线获得了近似的滤光片光谱曲线，在对材料进行研究的基础上，对滤光片进行了初步设计和优化。其次将其应用于各种太阳能模拟器中，检测其对于光谱的改善性能。进步改进膜系设计。根据不同的模拟器的光学系统，设计不同的滤光片。主要结论有采用正交实验法对薄膜进行制备通过椭偏仪研究不同工艺下的薄膜进行红外波段的折射率和消光系数。找出了影响薄膜光学常数的主要因素是沉积速率，其次是基片烘烤温度，再次是真空度，离子辅助能量对薄膜在近红外波段的光学特性影响最小。接着进行了单因素实验，分析其具体影响趋势。沉积速率控制在时，薄膜光学性能较好。透过率光谱通过标准大气质量光谱和实测氙灯光谱获得了各种透过率光谱。膜系厚度监控采用短波控制长波变波长以及定值法等对非规整膜系厚度进行了监控，使滤光片的厚度均匀性和光谱特性达到了预期要求。滤光片的测试通过对滤光片的测试，它在透射率光谱上满足了初步的设计要求。而且机械性能优良。辐照度测试分析通过对滤光片的辐照度测试及分析，该滤光片光谱辐照度在每个波段内，光谱匹配度都介于类之间。相对百分比值都在以内。该滤光片在光谱匹配度上达到了类的标准。且经过测试，该滤光片在机械性能上达到国家标准。透射率也满足类滤光片的性能要求。参考文献刘洪波太阳模拟技术光学精密工程杨林华,李竑松国外大型太阳模拟器研制技术概述航天器环境工程潘永强,施洋,杭凌侠太阳能模拟器滤光片的研制真空科学报,王玲老化试验方法评述涂料工业,陈小春大能量高功率脉冲氙灯研究中科院上海光学精密机械研究所,徐林,杨虎,徐秀琴等毫秒单次闪光大面积太阳模拟器电光源的设计与制作中国第七届光伏会议,庞贺伟,黄本诚,臧友竹等太阳模拟器设计概述航天器环境工程杜温锡,李福田,周秀良均匀照明和照度分布计算,光学机械仲跻功光学积分器及其均匀化效果仪器仪表与传感器中度摩擦本章小结结论参考文献致谢毕业设计论文知识产权声明毕业设计论文独创性声明绪论课题提出及其意义环境模拟主要有几种地面环境模拟空中环境模拟和空间环境模拟。太阳辐照度模拟是地面环境模拟中的种，本课题题目是太阳能模拟器滤光片的研制其主要内容是研制种滤光片用来模拟太阳光的