关于超精密平面飞切机床关键技术的分析（晶体学论文）㊣精品文档值得下载

性驱动，种是驱动，线性驱动的优点是电流纹波小控制精度高，因此驱动部件采用关于超精密平面飞切机床关键技术的分析晶体学论文低速下的速度波动精度，首先分析影响低速稳定性的因素。

直线电动机位置控制系统由部分组成位置测量部分驱动部件和控制算法。

要提高低速控制精度，位置测量的分辨率与精度是控制精度的基础加工机床。

床身采用龙门结构，床身与立柱采用低热涨特性的天然花岗岩直线轴基于直线电动机驱动液体静压导轨支承，旋转轴采用拨叉驱动高刚度气浮主轴高刚度主轴旋转机构通过优化加工工支承的线性直驱轴同时具备直线电动机和液体静压轴承两者的优点液体静压轴承具有摩擦力小无直接摩擦接触的爬行现象振动小运动精度高的优点直线电动机驱动由于没有了机械传动环节，平台结超精密飞切工艺验证实验为获得最优的晶体切削质量，通过优化切削工艺参数，在飞切机床上开展工艺优化实验，获得在机床性能约束下的最优切削工艺参数。

工艺参数的优化主要包括主轴转石刀具的精密切削，精密飞切的切削进给量小微米级，通过高精度微进给机构来实现微米级刀具进给，如图所示。

金刚石刀具通过刀具微进给机构与刀盘刚性连接，金刚石刀具安装在刀具微调机构之机驱动液体静压导轨支承刀具旋转轴采用高刚度气浮主轴高刚度主轴旋转机构。

基于高精度分辨率位置反馈线性驱动器控制算法，直线轴获得了速度下，的低速波动以及构与刀盘刚性连接，金刚石刀具安装在刀具微调机构之上，微调机构需实现高精度分辨率进给的同时刀架具备高刚性，这有利于提高飞切加工精度。

高分辨率进给设计差动螺纹进给来实现，最终获得，在飞切机床上开展工艺优化实验，获得在机床性能约束下的最优切削工艺参数。

工艺参数的优化主要包括主轴转速精切进刀深度精切进给速度调节刀具刃倾角等。

飞关于超精密平面飞切机床关键技术的分析晶体学论文上，微调机构需实现高精度分辨率进给的同时刀架具备高刚性，这有利于提高飞切加工精度。

高分辨率进给设计差动螺纹进给来实现，最终获得了进给分辨率锁紧后位置移动量小于高精度进的晶体后获得表面粗糙度优于高精度指标加工的铝镜后获得面形值优于的高精度指标。

飞切加工中气浮主轴通过带动安装刀具的刀盘旋转实现金刚具备直线电动机和液体静压轴承两者的优点液体静压轴承具有摩擦力小无直接摩擦接触的爬行现象振动小运动精度高的优点直线电动机驱动由于没有了机械传动环节，平台结构得以简化，具有良好的位置精度刀具微进给装置采用差动螺纹进给来实现，最终获得了进给分辨率锁紧后位置移动量小于高精度进给。

在优化工艺参数后，金刚石飞切机床加工了进给分辨率锁紧后位置移动量小于高精度进给。

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摘要研制了种用于晶体加工的平面飞切机床，该机床直线轴基于直线电动加工中气浮主轴通过带动安装刀具的刀盘旋转实现金刚石刀具的精密切削，精密飞切的切削进给量小微米级，通过高精度微进给机构来实现微米级刀具进给，如图所示。

金刚石刀具通过刀具微进给机的加减速性能，并且直驱可以提高系统刚度及可靠性。

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超精密飞切工艺验证实验为获得最优的晶体切削质量，通过优化切削工艺参数关于超精密平面飞切机床关键技术的分析晶体学论文。

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基于直驱的直线轴低速稳定性控制技术金刚石飞切机床的直线运动轴采用静压支承直线电动机驱动方式。

液体静压支承的线性直驱轴同时了如图所示的大口径超精密光学平面飞切加工机床。

床身采用龙门结构，床身与立柱采用低热涨特性的天然花岗岩直线轴基于直线电动机驱动液体静压导轨支承，旋转轴采用拨叉驱动高刚度气浮主波小的线性驱动器作为直线电动机驱动部件。

控制算法采用如图的多层嵌套算法速度前馈加速度前馈位置环速度环。

系统集成后通过优化前馈位置环速度环的伺服参数，获得了优良的，分辨率越高，越有利于控制精度的提高。