即退热应力槽深度为时，产品的常压输出变化量仅为，准确度为，达到了指标要求。

故障产品返工验证对该批次不合格产品进行返工，将退热应力槽深度增加至，并重新进行总装及出所检验，除去和号产品用于分析故障原因外，其余过这种方式复合，温度敏感芯片和压力敏感芯片需要分别进行封装，并与被测介质隔离。

但这种封装方式的两个芯片距离较远，不能同时感受到小的局部区域温度和压力信号。

，实现单芯片多功能。

但温度芯片通常基于铂基，而压力芯片则基于单晶硅，在制作工艺上想要将这两个敏感芯片制作在同个芯片上，兼容性很差，制作出性能良好的单基础上温度压力复合传感器焊接应力应变研究应用物理论文感器焊接应力应变分析黑龙江科学，基金国防科工局技术基础项目。

基础上温度压力复合传感器焊接应力应变研究应用物理论文。

表样件产品常压输出数据对比由图及表可知，优化后的设计参数，即退热应力槽深度为时，产品的常压输出变化量仅为，准确度为，达到了指标要求。

故障产品返工验证对该批次不合格报，孔迪型航空发动机进气压力畸变试验研究航空发动机，李宏新，李国权航空发动机动力传输系统的技术发展思考航空发动机，梁春华，刘红霞，常德军，等美国航空航天平台与推进系统的未来发展与启示航空发动机，陈大光，张津飞机发动机性能匹配与优化北京北京航空航天大学出版社，林琳机载电子产品的环境适应性研究语型号温度压力复合传感器在批次生产过程中出现的产品发生准确度不合格现象。

经过对生产过程文件查询，其发生在底座与壳体焊接工步。

采用热处理方法进行应力消除，未达到预期效果。

进步采用有限元进行静力学近似仿真分析，寻找到残余应力与焊接位臵应力压力芯体承受的应力之间的关系，并根据分析结果对不合格产品进行退热应由表及表常压输出对比可知产品在进行温度循环前的常压输出与焊接后直接测得的常压输出存在差异，且前者小于后者。

该现象表明，传感器产品在焊接后定时间内仍在释放焊接应力，使得常压输出数据减小。

在进行温度循环试验前，经过长时间监测，只产品的常压输出基本不发生变化，变化量趋于，焊接残余应力经过短时间自然时效释产品准确度测试数据表中的准确度为个测试点计算结果绝对值最大值。

故障分析故障原因分析通过查询产品的生产记录和过程检验记录发现总装完成后，传感器准确度合格进行下工步壳体与底座焊接，该工步完成后，测试产品常压输出，此时发现只传感器产品准确度不合格，由此怀疑是壳体与基座间焊接产生的焊接应力导致了准确度不合格芯体应力云图优化结构仿真分析通过以上的测试数据以及原结构的仿真分析，确定为焊接残余应力导致产品准确度不合格，因此需要采取结构优化设计手段，对焊接部位进行优化，减少焊接应力对压力芯体的影响。

考虑到该产品已定型，本研究中采取增加退热应力槽深度办法，减小焊接应力对芯体的影响。

图为增加退热应力槽深度前后及不同测试数据表中的准确度为个测试点计算结果绝对值最大值。

故障分析故障原因分析通过查询产品的生产记录和过程检验记录发现总装完成后，传感器准确度合格进行下工步壳体与底座焊接，该工步完成后，测试产品常压输出，此时发现只传感器产品准确度不合格，由此怀疑是壳体与基座间焊接产生的焊接应力导致了准确度不合格现象。

焊接压输出对比可知产品在进行温度循环前的常压输出与焊接后直接测得的常压输出存在差异，且前者小于后者。

该现象表明，传感器产品在焊接后定时间内仍在释放焊接应力，使得常压输出数据减小。

在进行温度循环试验前，经过长时间监测，只产品的常压输出基本不发生变化，变化量趋于，焊接残余应力经过短时间自然时效释放完毕，但基础上温度压力复合传感器焊接应力应变研究应用物理论文象。

焊接应力消除常用焊接残余应力的消除方法有种热处理法机械法和振动法。

热处理法可消除产品中的残余应力，也是应用最为广泛和效果最好的方法。

因此，为了消除传感器产品中的焊接应力，采用热处理方法，将只不合格产品进行了温度循环试验。

表为该只不合格产品温度循环前后测试常压输出的数据对比及该测试点的准确度计算结示。

图压力芯体应力云图由图可知，原结构压力芯体承受的最大应力为。

将退热应力槽深度增加后，压力芯体承受的最大应力为。

进步将退热应力槽深度增加至时，压力芯体承受的最大应力为。

相比较原始结构，压力芯体承受的最大应力减小了约倍。

基础上温度压力复合传感器焊接应力应变研究应用物理论文。

表故障航空航天平台与推进系统的未来发展与启示航空发动机，陈大光，张津飞机发动机性能匹配与优化北京北京航空航天大学出版社，林琳机载电子产品的环境适应性研究电子产品可靠性与环境试验，曲晓燕，邓力舰载武器海洋环境适应性分析船舶电子工程凌桂龙，丁金滨，温正从入门到精通北京清华大学出版社，廉政典型结构件深度退热应力槽时，该部位的应力云图。

图退热应力槽应力云图由图可知，原结构中退热应力槽部位最大应力为。

当退热应力槽深度增加至时，最大应力增加至。

当退热应力槽深度进步增加至时，最大应力减小至。

其均在采用的不锈钢材料屈服极限以上。

进步分析不同深度退热应力槽焊接时，焊接应力对压力芯体的影响，如图应力消除常用焊接残余应力的消除方法有种热处理法机械法和振动法。

热处理法可消除产品中的残余应力，也是应用最为广泛和效果最好的方法。

因此，为了消除传感器产品中的焊接应力，采用热处理方法，将只不合格产品进行了温度循环试验。

表为该只不合格产品温度循环前后测试常压输出的数据对比及该测试点的准确度计算结果。

图压存在残余应力，使得产品准确度并不合格，如表中准确度数据所示。

表温循前后故障产品常压输出数据对比焊接应力近似仿真分析焊接应力是焊接构件由于焊接而产生的应力。

当焊接引起的不均匀温度场尚未消失时，焊件中这种应力和变形称为瞬态焊接应力和变形焊接温度场消失后的应力和变形称为残余焊接应力和变形，。

表故障产品准确振动疲劳分析南京南京航空航天大学，许本文，焦群英机械振动与模态分析基础北京机械工业出版社，姜晓龙，王德伟，李玉欣，孙帅基于的温度压力复合传感器焊接应力应变分析黑龙江科学，基金国防科工局技术基础项目。

基础上温度压力复合传感器焊接应力应变研究应用物理论文。

由表及表常基础上温度压力复合传感器焊接应力应变研究应用物理论文献孟召丽，秦丽，吴永亮硅压阻式压力传感器可靠性强化试验及失效分析仪器仪表学报，齐虹，王蕴辉，易德兴硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析传感器技术学报，孔迪型航空发动机进气压力畸变试验研究航空发动机，李宏新，李国权航空发动机动力传输系统的技术发展思考航空发动机，梁春华，刘红霞，常德军，等美国品经过返工后，常压输出及准确度情况如表所示。

表返工产品常压输出数据对比由表可知，经过将退热应力槽加深后，不合格产品的常压输出变化量减小，准确度均合格。

结语型号温度压力复合传感器在批次生产过程中出现的产品发生准确度不合格现象。

经过对生产过程文件查询，其发生在底座与壳体焊接工步。

采用热处理方法进行应力消片温度压力复合传感器十分困难，因此将测量不同物理量的芯片组装在起是比较常用的复合方式。

型号温度压力复合传感器在批产过程中，近的产品出现压力输出准确度不合格现象，经过复测，确认了产品的故障，并通过查询生产记录及过程检验记录，寻找导至产品发生故障的工步。

通过分析，确定了该工步对传感器的影响，并对产品产品进行返工，将退热应力槽深度增加至，并重新进行总装及出所检验，除去和号产品用于分析故障原因外，其余产品经过返工后，常压输出及准确度情况如表所示。

表返工产品常压输出数据对比由表可知，经过将退热应力槽加深后，不合格产品的常压输出变化量减小，准确度均合格。

现有的温度压力复合传感器主要有两种方式复合传感器。

电子产品可靠性与环境试验，曲晓燕，邓力舰载武器海洋环境适应性分析船舶电子工程凌桂龙，丁金滨，温正从入门到精通北京清华大学出版社，廉政典型结构件的振动疲劳分析南京南京航空航天大学，许本文，焦群英机械振动与模态分析基础北京机械工业出版社，姜晓龙，王德伟，李玉欣，孙帅基于的温度压力复合力槽的优化设计，将槽深由原来的加深至，并通过样件验证。

再将优化结果应用至不合格产品中，经过检验，优化后的传感器产品均合格，验证了分析的正确性。

参考文献孟召丽，秦丽，吴永亮硅压阻式压力传感器可靠性强化试验及失效分析仪器仪表学报，齐虹，王蕴辉，易德兴硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析传感器技术释放完毕，但仍存在残余应力，使得产品准确度并不合格，如表中准确度数据所示。

表温循前后故障产品常压输出数据对比焊接应力近似仿真分析焊接应力是焊接构件由于焊接而产生的应力。

当焊接引起的不均匀温度场尚未消失时，焊件中这种应力和变形称为瞬态焊接应力和变形焊接温度场消失后的应力和变形称为残余焊接应力和变形，。