工孔径达，表面粗糙度达。

加工节径厚的齿不锈钢齿轮时，先用的电极连续打孔加工出粗轮廓，再用电极按齿形曲线扫描出轮廓，精度达。

也可用它加工微型阶梯轴，最小直径为，加工的键槽截面为。

加工微小零件的电极应在同台电加工机床上制作，否则由于电极的连接和安装误差很难加工出小于直径微型孔。

如在微细电火花机床上加工电极或超声加工工具，就可加工出微型孔。

图示出在台冲模机上用法制作出电火花加工所用的电极，以此做出凹模，并用与做电极相似的方法做出凸模，即成为套冲模，生产出所需的微型零件。

微细电加工与微细机械加工相比虽材料切除率较低，但加工尺寸能更细小，孔的长径比更大可达，尤其对于微细的复杂凹形内腔加工更有其优越性。

三激光加工的发展前景激光加工用于再制造业和应用于其他制造业样，有其不可替代的优点，并优于其它加工技术。

激光加工用于再制造业是由相变硬化发展到激光表面合金化和激光熔覆，由激光合金涂层发展到复合涂层及陶瓷涂层，从而使得激光表面加工技术成为再制造的项重要手段。

它主要是采用高功率激光器及其系统。

与国际上激光加工系统相比，我国的激光加工系统差距甚大，仅占全球销售额的左右。

主要表现为高档激光加工系统很少，甚至没有主力激光器不过关微细激光加工装备缺口较大而这些领域我国的生产加工企业正在积蓄力量稳步进入，国内应用和齿的微型齿轮。

该机床既有编码器半闭环损制，还有激光全息式直线移动的全闭环控制。

反馈指令的大小直接影响到伺服跟踪误差，编码器与电机直联具有每周万个脉冲的分辨率，每个脉冲相当于坐标轴移动。

编码器反馈单位为，故跟踪误差在以内。

直线尺的分辨率为，跟踪误差约在以内。

为了消除电机编码器和直线检测元件本身的误差对反馈的影响，还应用高精度螺距误差补偿技术，开发了有万点的高密度误差值自动设置的补偿方法。

螺距误差补偿值用分辨率的激光干涉仪测出。

为了降低伺服系统的摩擦，对导轨丝杠螺母副以及丝杠和伺服电机转子的推力轴承和径向轴承均采用气体静压支承结构图。

伺服电机的若采和定子用空气冷却，使运行时由发热引起的温升控制在抗下。

为了防止丝杠转动时的根摆影响到滑鞍运动的平稳性，所用的空气静压螺母不直接固定在滑鞍上。

而是通过其两端的与床鞍桥板联接的叉形气垫支承块来传递轴向运动，而其他方向均无约束，从而消除了丝杠偏摆的影响。

螺母及两个叉形气垫支承块均由气体静压支承在导轨上被引导作轴向运动图。

微细加工工艺微细机械加工工艺凸形外表面的微细切削大多采用单晶金刚石车刀或铣刀。

刀尖半径约为。

图为单晶金刚石立铣刀的刀头形状，当刀具回转时，金刚石刀片形成个圆锥的切削面。

凹形内表面的微细切削时，最小的可加工尺寸受刀具尺寸的限制，如钻孔用麻花钻可加工小至的孔，更小的孔则无麻花钻商品，可采用扁钻。

微细加工中俯个关键问题是刀具安装后的姿态及其与主轴轴线的同轴度是否与坐标系致，否则很难保证微小的切除量。

为此可在同台机床上制作刀具后进行加工，使刀具的制作和微细加工采用同工作条件，避免装夹的误差。

如果在机床上采用线放电磨削制作铣刀，可以用技术的产业化满足宏观与微观制造的需要，研究和开发高性能光源势在必行。

目前正在积极研制超紫外超短脉冲超大功率高光束质量等特征的激光，尤其是能适应微制造技术要求的激光光源更是倍受关注，并已形成国际性竞争。

参考文献张辽远，现代加工技术。

北京机械工业出版社，宋威廉，激光加工技术的发展。

北京机械工业出版社，曾智江朱三根，微细技工技术的研究。

北京高等教育出版社，孟永刚，激光加工技术。

北京国防工业出版社，质粉材陶瓷复合材料等的研制及配比激光纳米强化层性能激光厚层堆焊工艺与硬质合金材料等方面的分析研究，针对不同刀具采用相应的工艺，利用普通的刀具材料开发出提高刀具刃口强韧性耐磨性及使用寿命的新产品，获得对各种刀具类材料激光堆焊复合纳米合金熔渗及产品化实用化的总体工艺技术，使其能满足实际生产的复杂要求，尤其是克服陶瓷刀具材料脆性大可靠性低等缺点，为改进硬质合金和陶瓷材料增添了条有效的途径。

相信激光合金化表面强化技术在刀具材料改性中具有广泛的应用范围和广阔的应用前景。

微细加工激光微细加工技术最成功的应用是在世纪后半叶发展起来的微电子学领域。

激光微细加工作为微电子集成工艺中的单元微加工技术之，现已形成固定模式并投入规模化生产中。

除此之外，能突显其优势的领域还有精密光学仪器的制造高密度信息的写入存储生物细胞组织的医疗等。

选择适当波长的激光，通过各种优化工艺和逼近衍射极限的聚焦系统，获得高质量光束高稳定性微小尺寸焦斑的输出。

利用其锋芒尖利的光刀特性，进行高密微痕的刻制高密信息的直写也可利用其光阱的力效应，进行微小透明球状物的夹持操作。

例如，高精密光栅的刻制精密光刻通过软件进行仿真图案或文字和控制，实现高保真打标利用光阱的束缚力，对生物细胞执行移动操作生物光镊。

值得提的是，高密度信息的激光记录和微细机械零部件的光制造。

无论是数字记录或是扫描记录，还是图像与文字的模拟记录，激光记录方法光刻都具有特别的优势并取得了重要突破，以数字记录为例信息记录密度高以上，刻录槽宽深，比磁记录密度提高两个数量级以上记录检索读出速度快，单波道达，多波道可达信息的检索和读出速度远远小于秒成本低使用寿命长。

在微细机械零部件的光制造方面，最近几年国外已将其列为攻关项目，成为未来高新技术前期研究的热点。

日本采用激光技术，制造出微米量级的三维纳米牛，这说明日本在微纳量级的三维激光微成型机制上已经取得了巨大的进展。

北京工业大学激光工程研究院应用准分子激光，通过掩模方法，已经加工出齿。

微细电加工工艺微型轴和异形截面杆图的加工可采用线放电磨削法加工。

它的独特的放电回路使放能仅为般电火花加工的。

图为加工微型轴的原理，电极线沿着导丝器中的槽以的低速滑动，就能加工出圆柱形的轴。

如导丝器通过数字控制作相应的运动，就能加工出如图所示的各种形状的杆件。

如需获得更为光滑的表面，则可以在加工后，再采用线电化磨削法，它是用去离子水在低电流下去除极薄的表面层。

微细电火花加工所用的机床如日本松下电气产业公司的，它的定位控制的分辩率为，最小加它铣电者已失去知觉但尚有心跳和呼吸时的抢救措施应使其舒适地平卧，解开衣服以利呼吸，四周不要围人，保持空气流通，冷天应注意保暖，同时立即请医生前来或送往医院诊治。

若发现触电者呼吸困难或心跳失常，应立即施行人工呼吸或胸外心脏挤压。

十四环境保护措施环境保护是生态平衡的保证，是我国重要国策，为了减少或避免施工对环境的破坏，杜绝污水粉尘污染，减少噪音污染，严格控制水土流失，扎扎实实抓好环保工作，采取如下措施督促全体职工自觉做好环境保护工作，并认真接受建设单位和环保部门的监督指导。

加强施工管理，实行文明施工，对环境有污染的废弃物，需排放时，必须经过处理，并经有关部门同意后送到指定地点掩埋或销毁，施工的工程废料垃圾及时清理，并运弃于规定地点进行处理。

不乱挖乱弃，夏季天气干燥，注重施工道路洒水养护，降低粉尘对环境的污染，雨季做好沟渠疏通，防止填料因雨水剥离造成污染。

为减少粉尘对周围居民及农作物的影响，对施工运输道路及便道每天要定时进行次洒水以减少粉尘污染。

对施工机械和运输车辆，经常进行维修和保养，使其噪音降低到低限度，施工现场要科学合理安排各道工序的作业时间，尽量减少夜间作业，如确需夜间施工的，将施工方案报监理工程师，经批准后方可进行夜间施工。

对路基清基表土的堆放，首先调查选择合理的场地，做好排水及防护措施，合理堆放，需回填耕植土的相关工程完成后及时回填，减少堆放面积，防止污染河流渠道。

施工时注意做好排水系统，弃碴场加设挡碴墙，防止雨季水土流失，污染环境或河流在工程竣工后，按设计要求进行绿化或还田于民，创造美好环境。

工程竣工后，认真清理沿线杂物，拆除临建，并将上述垃圾弃至监理工程师指定地点。

损，可动部分灵活可靠。

箱内电器接线整齐，无外露导电部分，进出线必须从箱底进出。

非电缆线路应加塑料护套保护线路进出位置。

线路两端严禁用插头连接使用，电源线严禁搭接在保险丝上，线路不得挂搭衣服。

大功率以上灯具下方不得堆放易燃易爆物品。

在施工现场配电房和主要分配电箱范围内应配备足够的电气防火器材。

与施工现场相临的外电线路和设备必须采取防护措施或严密封闭。

施工照明要设专用回路漏电开关，其金属外壳必须作接零保护，室内线路及灯具安装高度低于要使用及以下安全电压。

潮湿作业场所其照明电压不得大于。

建立健全电器防火检查制度，安全教育制度，维护检查测试制度，购置的设备必须符合相应的国家标准专业标准和安全标准。

执行专人专机负责制，定期检查维修。

施工现场临时用电每周检查次漏电保护器每月测试次，发现问题，及时整改。

电气防火措施技术措施合理配制各种电气设备的保护装置，对用电设备过载短路进行可靠的保护。

电气设备集中场所应配置灭火器材，电气设备周围严禁烟火。

配电箱电气设备周围不准堆放易燃易爆物品，不准使用火源。

电气焊时，周围严禁有易燃易爆物品乙炔瓶氧气瓶和焊点三者距离要符合规范要求。

定期检测电气设备的绝缘程度。

组织措施建立易燃易爆场所管理制度。

建立电气防火责任制，加强电气防火重点场所烟火管制。

下雨时要将配电箱箱门关工孔径达，表面粗糙度达。

加工节径厚的齿不锈钢齿轮时，先用的电极连续打孔加工出粗轮廓，再用电极按齿形曲线扫描出轮廓，精度达。

也可用它加工微型阶梯轴，最小直径为，加工的键槽截面为。

加工微小零件的电极应在同台电加工机床上制作，否则由于电极的连接和安装误差很难加工出小于直径微型孔。

如在微细电火花机床上加工电极或超声加工工具，就可加工出微型孔。

图示出在台冲模机上用法制作出电火花加工所用的电极，以此做出凹模，并用与做电极相似的方法做出凸模，即成为套冲模，生产出所需的微型零件。

微细电加工与微细机械加工相比虽材料切除率较低，但加工尺寸能更细小，孔的长径比更大可达，尤其对于微细的复杂凹形内腔加工更有其优越性。

三激光加工的发展前景激光加工用于再制造业和应用于其他制造业样，有其不可替代的优点，并优于其它加工技术。

激光加工用于再制造业是由相变硬化发展到激光表面合金化和激光熔覆，由激光合金涂层发展到复合涂层及陶瓷涂层，从而使得激光表面加工技术成为再制造的项重要手段。

它主要是采用高功率激光器及其系统。

与国际上激光加工系统相比，我国的激光加工系统差距甚大，仅占全球销售额的左右。

主要表现为高档激光加工系统很少，甚至没有主力激光器不过关微细激光加工装备缺口较大而这些领域我国的生产加工企业正在积蓄力量稳步进入，国内应用和齿的微型齿轮。

该机床既有编码器半闭环损制，还有激光全息式直线移动的全闭环控制。

反馈指令的大小直接影响到伺服跟踪误差，编码器与电机直联具有每周万个脉冲的分辨率，每个脉冲相当于坐标轴移动。

编码器反馈单位为，故跟踪误差在以内。

直线尺的分辨率为，跟踪误差约在以内。

为了消除电机编码器和直线检测元件本身的误差对反馈的影响，还应用高精度螺距误差补偿技术，开发了有万点的高密度误差值自动设置的补偿方法。

螺距误差补偿值用分辨率的激光干涉仪测出。

为了降低伺服系统的摩擦，对导轨丝杠螺母副以及丝杠和伺服电机转子的推力轴承和径向轴承均采用气体静压支承结构图。

伺服电机的若采和定子用空气冷却，使运行时由发热引起的温升控制在抗下。

为了防止丝杠转动时的根摆影响到滑鞍运动的平稳性，所用的空气静压螺母不直接固定在滑鞍上。

而是通过其两端的与床鞍桥板联接的叉形气垫支承块来传递轴向运动，而其他方向均无约束，从而消除了丝杠偏摆的影响。

螺母及两个叉形气垫支承块均由气体静压支承在导轨上被引导作轴向运动图。

微细加工工艺微细机械加工工艺凸形外表面的微细切削大多采用单晶金刚石车刀或铣刀。

刀尖半径约为。

图为单晶金刚石立铣刀的刀头形状，当刀具回转时，金刚石刀片形成个圆锥的切削面。

凹形内表面的微细切削时，最小的可加工尺寸受刀具尺寸的限制，如钻孔用麻花钻可加工小至的孔，更小的孔则无麻花钻商品，可采用扁钻。

微细加工中俯个关键问题是刀具安装后的姿态及其与主轴轴线的同轴度是否与坐标系致，否则很难保证微小的切除量。

为此可在同台机床上制作刀具后进行加工，使刀具的制作和微细加工采用同工作条件，避免装夹的误差。

如果在机床上采用线放电磨削制作铣刀，可以用