冷却分钟。

保存氧化腐蚀退火离子注入多晶硅去除保存淀积疏松的哈尔滨工业大学工程硕士学位论文实物图多晶硅加聚酰亚胺硅片的清洗必须保证衬底基片清洗干净，否则就会给沉积膜造成各种缺陷，造成沉积的薄膜厚度不均。

其清洗顺序为先将硅片用甲苯超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入丙酮中超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入无水乙醇中超声清洗分钟，取出用超纯水反复清洗遍以上，以去除剩余的无水乙醇将清洗完的硅片放入烘干箱中度烘干分钟，取出保存甩胶将聚酰亚胺树脂均匀覆盖多晶硅表面烘干放入烘箱中烘干，直至聚酰亚胺树脂完全固化保存工艺流程图如下实物图多晶硅加聚酰亚胺硅片的清洗必须保证衬底基片清洗干净，否则就会给沉积膜造成各种缺陷，造成沉积硅片清洗甩胶烘干保存腐蚀哈尔滨工业大学工程硕士学位论文的薄膜厚度不均。

其清洗顺序为先将硅片用甲苯超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入丙酮中超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入无水乙醇中超声清洗分钟，取出用超纯水反复清洗遍以上，以去除剩余的无水乙醇将清洗完的硅片放入烘干箱中度烘干分钟，取出保存混合配比分别称取二氧化硅粉末，放入到聚酰亚胺中，用球磨机混合均匀，放置小时，以清除气泡。

分别制作出质量体积比为的五种钝化胶匀胶用匀胶机分别将种配比的钝化较均匀涂覆在多晶硅片上烘干分别在下烘干个小时保存待测量本章小结介绍了多晶硅纳米薄膜表层钝化所使用的多晶硅原片的制作步骤和制作工艺的具体参数，以及以多晶硅原片为基底制作各种不同材料钝化层的工艺步骤和具体参数。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文第章多晶硅纳米薄膜表层钝化的分析多晶硅器件的寿命，稳定性，效率等都受到表层钝化质量的影响。

钝化效果不好的器件寿命降低，稳定性差，效率低下，这必然影响多晶硅器件的使用。

随着时代的发展，人们对多晶硅器件的钝化效果提出了较高的要求。

通过第二章表层钝化的原理和测试方法的分析我们知道，对于薄膜材料的表层钝化的薄膜材料的选择采用了几种材料单独或混合制作出了多晶硅纳米薄膜钝化层，本章将对表层钝化的样品进行表征并对钝化效果进行测量和比较。

多晶硅表层钝化薄膜的表征图给出了所制备的多晶硅纳米薄膜的照片。

从图中可以看出，晶粒大小在左右，大小致，分布均匀。

图给出多晶硅样品的图谱。

从图中可以看出，除了单晶硅衬底产生的衍射峰外，所制备的多晶硅纳米薄膜还具有等特征衍射峰。

图多晶硅纳米膜形貌图哈尔滨工业大学工程硕士学位论文图多晶硅样品的图谱多晶硅钝化薄膜的寿命测量通过对微波光电导衰减仪的原理的分析知道，少子寿命与表面复合速率的关系为少子寿命越大，表面复合速率越小，钝化效果越好，反之，少子寿命越小，表面复合速率越大，钝化效果越差。

样品多晶硅原片哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从测量的寿命分布图可以看出，样品的寿命分布从微秒到微秒，其中地寿命区域偏多，平均少子寿命为微秒，钝化效果般。

富硅的。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的测试分析图可以知道，样品的寿命分布从微秒到微秒，其中深色区域明显增多，其平均少子寿命为微秒，较样品平均少子寿命有了明显的提高，说明经钝化后，钝化效果有了明显的改善。

富硅的。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从平均寿命分布图可以看出，样品的最高寿命可达微秒，说明局部的钝化效果有了很大的提高，但是平均少子寿命只有微秒，较样品的平均少子寿命提高不大，说明总体的钝化效果并没有得到大的改善，种材料总体的钝化效果相差不是很大，但是与样品的钝化效果相比，还是有了很大的提高哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的少子平均寿命图可以看出，样品的寿命分布从微秒到微秒，深色区域明显增多，平均寿命较，样品的平均寿命体提高并不是很大，但是大体的钝化效果有了很大改善，最低区域的少子寿命已能提高到微秒。

了富硅的。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从的平均寿命分布图可以看出，虽然相比较前面的个型号样品的，平均寿命并没有很大的改善，但是最大寿命可以达到微秒，平均少子寿命也能达到微秒，说明，此样品的钝化效果已经达到了较好的水平哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的平均寿命分布图可以看出，此种钝化材料所能达到的钝化效果已经相当好，其平均少子寿命可以达到微秒，最低最高少子寿命分别为微秒和微秒，钝化效果较前面的个型号的样品有较大的提高，而且颜色变化不是很大，较均。

了疏松的。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的平均寿命分布图可以看到，其少子的平均寿命已经达到了微秒，最低少子寿命已经提高至微秒，已经超过了前面几个样品的最高寿命，钝化效果为所测试的样品中最好的，而且颜色基本均，没有大的变化。

多晶硅薄膜钝化样品寿命测试的分析如图为不同钝化材料少子平均寿命的对比分析图，从图中可以看出，其中，以二氧化硅和氮化硅复合钝化膜的效果最佳，二氧化硅单层膜次之，在单层钝化薄膜中，二氧化硅的钝化效果好于聚酰亚胺，氮化硅相对较差。

综合测试，可知，在多晶硅上淀积氮化硅或二氧化硅或聚酰亚胺可以明显提高多晶硅纳米薄膜的平均少子寿命，从而减低多晶硅的表面复合速率，以提高多晶硅薄膜的钝化效果，延长多晶硅材料的使用寿命，提高器件工作的稳定性。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文本章小结采用原子力显微镜对多晶硅纳米膜的表面形貌进行表征，给出了多晶硅纳米膜形貌图采用微波光电导衰减仪测试了不同钝化材料的多晶硅样品的少子寿命，发现二氧化硅和氮化硅复合制备的多晶硅样品的钝化效果最好，其少子平均寿命可达微秒，单层钝化样品中，二氧化硅的钝化效果最好，氮化硅和聚酰亚胺的效果较二氧化硅要差。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文结论课题在分析多晶硅表层钝化理论的基础上，对多晶硅薄膜的钝化种类和测量方法进行分析和比较，制作出多晶硅纳米膜表层钝化样品，并对在不同类型的表层钝化样品进行了分析和比较。

通过研究得出如下结论选择在硅片正面淀积多晶硅纳米薄膜，厚度为，采用对多晶硅纳米膜进行表征，纳米膜的晶粒大小均匀表面平整度良好。

多晶硅薄膜的钝化种类和测量方法进行分析和对比，分析表明对于薄膜材料来说采用低压化学气相淀积法和等离子体气相沉积法来制作含有二氧化硅，氮化硅和聚酰亚胺树脂的单层或双层的钝化介质膜是较为可行的实验对比方案。

通过对多晶硅表层钝化理论的少子平均寿命与表面复合速率的关系的分析，制作了不同材料的单层和双层钝化薄膜，采用射线衍射表征了单晶硅与多晶硅的结晶学结构，得到多晶硅的分析图。

结果表明，所制备的多晶硅纳米膜绝大多数晶粒是任意取向的。

对表层钝化理论的少子平均寿命与表明复合速率的关系进行分析，利用微波光电导衰减仪对制备的多晶硅钝化样品的少子平均寿命进行测量。

并对所测量的少子寿命平均分布图以及平均寿命的数据进行了分析，得出所制备的多晶硅钝化样品的最高少子寿命可达到微秒，最低少子寿命为微秒，且双层膜的钝化效果明显好于单层膜，其中二氧化硅的钝化效果要好于聚酰亚胺树脂，氮化硅的钝化效果在三种材料的对比中，效果较差。

今后工作设想多晶硅表层钝化的材料选择和比例还有许多可以参考的地方，同时可以尝试对多晶硅钝化薄膜进行退火处理等，张雯，张露，李家利等国外聚酰亚胺薄膜概况及其应用进展绝缘材料李英葆我国聚酰亚胺薄膜制造技术发展水平的评估绝缘材料，，管绍茂，张崇玖种优良的介质膜氮化硅薄膜的性能电子科学技术，徐清发离子体腐蚀及其在集成电路制造中的应用国外电子技术，程开富氮化硅薄膜的等离子腐蚀及钝化性能研究重庆光电技术研究所，吴成刚聚酰亚胺表面钝化技术在线性中的应用微电子学与计算机南京工学院电子所半导体电子学研究室半导体表面钝化新工艺赵寿南聚酰亚胺在微电子技术中的开发应用电子纵横汪多仁聚酰亚胺的合成与应用的进展电线电缆，邱春文，陈雄文，石旺舟磁控反应溅射法低温制备氮化硅薄膜汕头大学学报自然科学版哈尔滨工业大学工程硕士学位论文，