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1、泵引发的各种问题。总的来说是两种不同的需求推动开发出两种类型的干式泵。类是以半导体行业为代表，要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。清洁条件下的抽气，只抽干空气或含少许水蒸汽的空气中等条件下的抽气，抽除工艺过程的反应气体，但无固体颗粒物恶劣条件下的抽气，抽除化学反应物有毒甚至致癌及固体颗粒物。另类是以石化行业为代表，要求真空泵能大量抽除可凝性气体，或腐蚀性气体，或有毒气体，或含有微尘的气体。传统油封真空泵在石化领域所面对的难题人们往往通过选用水蒸汽喷射泵水喷射泵水环泵水环罗茨机组等途径加以解决。但往往系统过于庞大，噪声也很大，同时工作过程中会产生很多的废水和其他的排放物，处理排出废物的投资也很昂贵。干泵的种类很多，目前已开发出来的有罗茨泵爪型泵祸旋泵往复活塞泵螺旋泵等.。
2、成分复杂的原汕具有重要意义。夸张的说，螺杆泵可以输送任何介质。目前在许多领域螺杆泵己经逐步取代齿轮泵离心泵等，产生了很高的价值，正是由于螺杆泵具有以上特点，人们才将其应用范围进步扩大到了真空产业。螺杆泵属容积式转子泵。无论是什么类型的螺杆泵，其输液原理都是利用螺杆泵的转子与转子之间的和转子与定子之间形成的密封腔，在泵运转时使密封腔连续不断地由入口向出口移动，从而排出流体。如果螺杆泵内两个相邻密封腔间没有理论泄漏通道，则被称为严格密封型螺杆泵反之，则为非严格密封型螺杆泵。般所说的螺杆泵并非干式螺杆泵，而是由油润滑和密封的泵类。而干式螺杆泵也不是完全无油的，其同步齿轮仍需要采用油润滑，但这井不影响其特性。螺杆泵按螺杆数目通常分为单双三三和五螺杆泵，各有优缺点，在应用时必须根据所需要求进行合理的选择才能充分利用其各白特点，更好的实现能节材增效。
3、。因此中高档的真空泵仍然主要依赖于进口。对于所有类型的真空泵，人们都希望能够将现有的真空泵的物理尺寸尽量减小。但是这点与真空泵的抽气速率相矛盾。因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。当然还有个影响真空泵抽气速率的因素，那就是转速。为了使小尺寸的真空泵与大尺寸的真空泵的抽气速率相匹配，就需要提高其转速。而想要提高真空泵的转速可以采用变频器来改变电源的频率或者改变齿轮箱的传动比。前者可以提供个闭环控制，但是在大负载的情况下容易引起扭矩的损失。而改变齿轮箱的传动比是比较经济的种方法，但是它只能提供不可控的单转速。国外目前开发较多的是高转速的真空泵系列。螺杆双头干式真空泵转子型线的研究.常见转子型线比较目前双头干式螺杆真空泵的主要生产厂家多采用单头等螺距型线，其他还有多头双边对称圆弧型线单头变螺距梯形螺纹型线单头等。
4、其缺点与爪式泵相仿。在此种背景下诞生的双头干式螺杆真空泵则具有了其前辈真空泵类所不具各的很多优点，而这些优点则保证了双头干式螺杆真空泵的先进性及在应用中的优势。国外关于螺杆真空泵性能的研究有许多内容英国有限公司根据螺杆式压缩机原理设计出种双螺杆双头干式真空泵，采用了许多新技术，并已形成批量生产,该公司已成为世界低压与真空技术中的领军人物之。美国真空设备有限公司手年推出款用于气体处理的新型双头干式螺杆真空泵，该型螺杆泵采用可变啮合设计，比其他类的真空泵耗能减少约。普旭是全球最有影响力的真空设备制造商之，为客户提供了数量众多的真空泵及真空系统。普旭的无油螺杆真空泵系列于年通过了应用材料公司美国实验室测试。应用材料公司在美国实验室将普旭的无油螺杆真空泵系列与其设备安装在起进行测试，经过年检测，结果证明普旭真空泵系列与其设备结合测试的效果最好。。
5、迅速普及，统治了真空设备市场近百年。从真空工业的视角来看，如果说世纪是有油真空泵的世纪，那么世纪将是双头干式真空泵的世纪。因为，各种形式的有油真空泵在工作过程中不可避免的随同排出的气体起排出了大量的油污，这些油污能够严重的污染环境。随着利学技术的发展，要求提供比较清洁真空环境的真空工艺越来越多，甚至近于达到苛刻的要求，如微电子化学冶金医疗核聚变领域以及宇航新材料的开发等技术领域.都要求提供比较洁的内真空环境。传统的有油泵很难满足这些要求，无油泵的概念便自然而然的在此基础上提出。有些工业过程，如低压气相沉积，会产生些微小颗粒，这些颗粒在工作液中难以排除，它们可以使泵油污染，同样也会影响泵的抽气系统性能及使用寿命。而有些工业过程在运转中可能会使工作液冷凝成粘状物质，这样可能使泵卡住，甚至导致运转失效。又如对于食品工业为代表的些特殊行业，这种。
6、益或满足种特殊应用要求。而通常所说的干式螺杆泵都是指双螺杆泵，也有部分干式螺杆泵产品为单螺杆泵。.螺杆真空泵在国内外的研究现状与发展方向自从第台工业上可运行的双头干式泵年在日本运行以来，许多无油真空泵如雨后养笋般迅速发展起来，其中以日本美国法国德国最为先进。美国瓦里奥公司生产的系列产品，其真空度可以达到，这是目前报道的单级双头干式真空泵中真空度最高的产品之。而德国公司在年研制成功的是世界上第台直正意义上的双头干式真空泵，它能满足流程工业中最苛刻的要求，该产品荣获德国“年年度技术革新奖”。以上两种真空泵均于沿转子长度上填充聚四氟乙烯用作泵的密封以保持良好的密封性能，它们同时也是无油真空泵的典型产品。虽然双头干式真空泵的种类越来越多，但是通常的机械真空泵如爪式泵，其抽速难以做大，而且制造难度也大，成本高另外还有利用多叶级数进行串连的罗茨泵，。
7、表是几种典型的干式泵性能的比较.表.几种典型的干泵性能的比较泵型般级数单级压缩比极限压力备注大气端真空端罗茨泵.易发热，需冷却爪形.加工装配有难度活塞型.怕抽带颗粒的气体涡旋型.间隙小难装调螺旋型.间隙小转速高旋片型.怕抽带颗粒的气体螺杆型.加工比较困难涡轮型多级串联.转速高螺杆式双头干式真空泵特点如下可靠性高。螺杆式双头干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。操作维护方便。动力平衡性好。螺杆式双头干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。适应性强。螺杆式双头干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响.多相混输。由于螺杆式双头干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性有毒含有粉尘可凝性蒸汽等多种气体。尽管螺杆型双头干式真空泵具有这么多的优点，然而，由于。
8、目前国内些公司正在使用的螺杆型双头干式真空泵均是从国外进口，价格非常昂贵，每台螺杆泵价格要三四十万元人民币，所以螺杆型真空泵在我国的使用并不广泛。造成这现象的主要原因是由于螺杆泵转子型线较复杂，加工难度大，需用特制的刀具在专用机床上进行加工。另外，对螺杆型双头干式真空泵泵体的加工精度也有较高的要求，而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。螺杆式双头干式真空泵广泛应用于电子核能化工医药食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片制造液晶显示器蚀刻生产的制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂食品工业中用于香料香精浓缩，食品包装等。应用范围极为广泛。.螺杆泵的应用及特。
9、的预测与配套装置材料加工方法和设备螺杆泵的配件密封条件等等内容的改进。,螺杆,型干式无油,真空泵,设计,毕业设计,全套,图纸绪论.概述.课题背景及研究意义.螺杆泵的应用及特点.螺杆真空泵在国内外的研究现状与发展方向螺杆双头干式真空泵转子型线的研究.常见转子型线比较.多头双边对称圆弧型线转子型线要素转子型线设计原则多头双边对称圆弧型线方程螺杆双头干式真空泵工作原理.吸气过程.压缩过程.排气过程螺杆双头干式真空泵设计计算.螺杆基本尺寸.排气量理论排气量实际排气量.进排气孔口轴向进气口轴向排气口.极限真空度功率及冷却水量.轴的强度计算.同步齿轮的设计计算齿轮尺寸计算齿轮强度校核结论与展望参考文献致谢毕业设计论文独创性毕业设计论文知识产权声明绪论.概述年德国人沃尔夫岗.盖德发明了油封式旋片泵，从此各种以油为工作液润滑剂密封液的真空泵如雨后春笋般。
10、污染更是非常不可取的。对于这些少数有着特殊需要的工业来说，就只能采用无油污的无油泵或水环式泵类湿式泵，但这类泵的真空度不高，耗水耗能严重，而且相应的工作时带有大量的水汽，因此对于有双头干式要求的，又不得不采用繁琐的物理化学吸附，冷凝低温手段，从而使成本变得极其昂贵。如膜式泵，真空度不高，抽速小吸附泵，不仅抽速小，液氮的费用也很大。所以可以这样说，在当时能直接排入大气和高真空机绍相连接的泵类各有其缺憾，因此导致了双头干式泵不适宜大工业的应用。.课题背景及研究意义双头干式螺杆真空泵是双头干式泵家族中的员。所谓双头干式真空泵，般认为是能在大气压到的压力范围内工作在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵，也称无油真空泵。双头干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空。
11、之后普旭又于年推出了表面经特别强化的螺杆真空泵系列，可以抵抗日前己知的绝人多数活泼气休的腐蚀。另外还有其他些文献对螺杆真空泵的性能等方面进行了较多的研究。在国内，有关双头干式螺杆真空泵的研究文献很少。只有上海博汇真空设备有限公司的周宝洪研制了种双头干式真空泵，并申请了专利，但是并未见有成品报道。目前国内外关于双螺杆双头干式真空泵转子型线设计方面的报道很少，主要内容集中于对螺杆真空泵性能的预测与配套装置材料加工方法和设备螺杆泵的配件密封条件等等内容的改进。目前由于各国多对自己的螺杆泵技术进行保密和竞争，而我国在螺杆泵的设计方面仍然有很多具体的细节和技术难题还没有解决，在螺杆泵的设计方面没有达到世界流水平。在具体的螺杆泵的加工制造上，局限于我国的生产设备和加工条件，我国生产的螺杆泵自动化程度不高，精度也不高，在些高档的螺杆泵上仍不能独立制造。
12、常见的泵可以分为容积式泵和动力式泵两大类。容积式泵包括往复泵转子泵和齿轮泵等，离心泵和轴流泵等则属于动力式泵。本文所研究的双螺杆泵属于容积式泵，它与离心泵往复泵齿轮泵滑片泵等相比较，在些方面具有明显的优越性。螺杆泵的适用范围被泛的应用于海上平台工程石油化工航运电力机械液压系统食品造纸制糖军厂医药造船机床采矿环保和污水处理等各种工业部门当中，发挥了巨大作用，具有很高的使用价值。螺杆泵特点是流量平稳，压力脉动小，能够自吸，噪声低，效率高，使用寿命高，工作可靠。此外螺杆泵还具有结构简单，零件少，体积紧凑，重量轻等系列特点。而螺杆泵在工作时最为突出的优点是输送介质时不会形成涡流可输送粘度范围宽的各种介质，对输送介质不敏感，既可以输送各种枯度的润滑性或腐蚀性介质，也可以输送各种粘度的非牛顿液体，特别是有的双螺杆泵还可以输送气液棍合物，这对油田输送。
参考资料：
（全套CAD）LWZ150双头螺杆型干式无油真空泵设计（图纸论文整套）