1万吨超大规模集成电路用超净高纯试剂项目可行性方案（项目计划书） ㊣ 精品文档 值得下载

将于年核准通过，归档资料。

未经允许，请勿外传，月开始批量生产。

因此，专家们认为世界半导体工艺技术发展将会加速，半导体制造厂商将会以更先进技术加快升级换代以适应新市场要求。

超净高纯试剂在国际上通称为工艺化学品，美欧和中国台湾地区又称湿化学品，是超大规模集成电路即俗称芯片制作过程中关键性基础化工材料之，主要用于芯片清洗蚀刻，另外超净高纯试剂还用于芯片掺杂和沉淀工艺。

超净高纯试剂纯度和洁净度对集成电路成品率电性能及可靠性均有十分重要影响。

超净高纯试剂具有品种多用量大技术要求高贮存有效期短和腐蚀性强等特点，它基于微电子技术发展而产生，代产品需要代超净高纯试剂与之配套。

它随着微电子技术发展而同步或超前发展，同时它又对微电子技术发展起着制约作用。

依照超净高纯试剂用途，可以将其划分为光刻胶配套试剂湿法蚀刻剂和湿法工艺试剂。

如果依其性质可以分为无机酸类如盐酸硝酸硫酸氢氟酸磷酸等无机碱类如氨水等有机溶剂类如无水乙醇冰乙酸三氯乙烯丙酮等和其他超净高纯试剂如双氧水氟化氢铵等。

有关资料显示，超净高纯有机溶剂在半导体工业中消耗比例大致占，其中有机类化学品需求量在微电子化学品中占总体积以上，市场需求量相当可观。

在超净高纯试剂发展方面，与微电子技术另重要材料光刻胶相似，不同线宽芯片必须使用不同规格超净高纯试剂进行蚀刻和清洗。

超净高纯试剂质量关键在于控制其所含金属离子多少和试剂中尘埃颗粒含量，对于线宽较小超大规模集成电路，几个金属离子或灰尘就足以报废整个电路。

年，国际半导体设备与材料组织制定了国际统超净高纯试剂标准，如表所示。

目前，国际上制备到级超净高纯试剂技术都已经趋于成熟。

随着集成电路制作要求提高，对工艺中所需液体化学品纯度要求也不断提高。

技术趋势上看，满足纳米级集成电路加工需求是超净高纯试剂今后发展方向之。

表工艺化学品国际标准等级标准金属杂质控制粒径颗粒个适应线宽范围可以看出，超净高纯试剂制备关键在于控制利宽都在，需要控制以上尘埃颗粒。

需要建设级超净厂房，主要用于产品灌装和产品检测，共需要平米。

其次，为适应英寸以上芯片生产线，超净高纯试剂高要求，在级超净室内还需设置级超净工作台，核心操作都在超净工作台内完成。

这样形成逐级严格控制，更利于保证洁净度。

除上述核心部分级超净室与级超净工作台外，还必须设置更大规模与其配套万级超净室与十万级洁净室。

生产提纯设备添置现今超净高纯试剂其杂质含量已要求在级至级，在这样要求下，般采用普通玻璃设备都难以达到，必须采用优质石英玻璃来制作各种生产设备才能达到要求。

这些石英玻璃必须经过专业设计并严格控制加工过程才能制造出来。

超净包装容器自动清洗线设计安装超净高纯试剂包装容器，历来是其发展过程中瓶颈问题，很多情况下是可以生产出合格产品，但经包装后就不能使用了，除了包装容器材质选择外，严格清洗过程很有必要。

其预清洗还可以用人工参加，到最后超净阶段就剂耗用量将有较大幅度增长。

此外，随着国内平板显示器大发展，上广电产能将达到月，京东方产能将达到月，二厂三厂建成后将达万枚月。

工艺与是类似，需求超净高纯试剂也要几万吨。

在市场供应方面，目前级超净高纯试剂已经全部实现国产化，在更高档次超净高纯试剂供应方面，目前绝大部分需要从其他国家或地区进口，标准水平及以上档次产品则全部依赖进口。

进口产品主要来源有日本韩国美国等国家及我国台湾地区。

表我国目前电子化学品进口量和国产产品市场占有率产品国产量进口量国产产品市场占有率超净高纯试剂吨吨我国超净高纯试剂研制起步于世纪年代中期，年由北京化学试剂研究所在国内率先研制成功适合中小规模集成电路技术用种级试剂。

随着集成电路集成度不断提高，对超净高纯试剂中可溶性杂质和固体颗粒控制越来越严，同时对生产环境包装方式及包装材质等提出了更高要求。

为了满足我国集成电路发展需求，国家自六五开始至八五，将超净高纯试剂研究开发列入了重点科技攻关计划，并由北京化学试剂研究所承担攻关任务。

到目前为止，北京化学试剂研究所已相继推出了Ⅰ级Ⅱ级和Ⅲ级超净高纯试剂，其中Ⅲ级超净高纯试剂达到国际标准水平，适用于工艺技术加工制作，并在九五末期形成了年中试规模。

目前北京化学试剂研究所正在进行用于工艺技术Ⅳ级超净高纯试剂研究开发。

十五期间，国家科技部将用超净高纯试剂研究课题列入了超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中，由北京化学试剂研究所上海华谊集团公司等单位承担，其研究主要目是完成技术用超净高纯试剂研究与开发工作，此项目现已完成，关键品种制备工艺已趋完善，配套支撑条件基本上可以满足研发要求，颗粒金属杂质阴离子及等分析测试方法研究也取得了系列成果，为十二五产业化技术及更加深入研究奠定了良好技术基础。

上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作，加快研究及产业化进程，于年月组建了由华谊集团公司中远化工有限公司三爱富新材料股份有限公司和上海化学试剂研究所等多元投资上海华谊微电子化学品有限公司，成为执行计划实体主体，拥有平方米实验室平方米净化室和配置相应试验设备等。

通过课题研究开发，不仅提升了在超净高纯试剂方面技术水平，也培养了大批专业技术人才。

年由上海华谊集团公司上海中远化工有限公司和台湾联仕共同出资组建成立合资公司上海华谊微电子材料有限公司，建成吨年规模超净高纯试剂生产线，现已正式投产，投资亿万人民币，生产各类微电子化学品，主要有双氧水硫酸氨水盐酸硝酸醋酸氟化铵，产品质量达到当前市场线宽半导体制造业要求以及半导体生产线质量标准要求。

上海华谊微电子材料有限公司建筑面积近平方米，建有世界流水平生产线和净化包装线。

实验室部分有洁净房平方米，最高洁净要求可以达到级。

拥有价值近万元大型精密测试仪器和技术装备，如测试限达到电感耦合等离子光谱质谱仪测试限原子吸收光谱仪紫外可见分光光谱仪极谱仪总碳分析仪离子色谱仪气相色谱仪高效液相色谱仪激光散射颗粒测定仪空气净化颗粒测试仪微波消化器等。

上海华谊微电子材料有限公司已于年年中建成投产。

产品已开始进入主要集成电路厂家试用，如中芯国际台积电，并出口东南亚。

微电子技术与超净高纯试剂在西部地区发展西部地区微电子技术相对于沿海地区来说发展较晚，但现今也进入了快速发展阶段。

年成都地区首先引进了英寸芯片生产线，并将其定为号工程，总投资亿人民币。

随后又引进了几条英寸及英寸生产线，并将微电子产业列为支柱产业。

从年月开始，重庆市就着手建立西永微电子工业园，计划到年达到年产值亿元，占国内同类市场份额。

建成中国西部门类最齐全，规模最大集成电路制造研发基地和国家软件业基地，成为中国西部硅谷。

现已有茂德光等台资企业及等巨头进驻园区。

随着企业巨头迁移落户，地处西部成渝地区正在改变全球电子信息产业格局，以电子信息产业为代表产业转移效应正在显现。

最新数据显示，年月，成都全市出口便携式电脑万台，全部为平板电脑，出口金额为亿美元，约占全市出口总额而重庆便携式电脑出口量达万台，出口金额为亿美元，占全市出口总量。

成都市商务局相关负责人介绍，去年同期成都便携式电脑出口数据几乎为零。

随着鸿富锦公司产能进步提升和仁宝纬创等企业陆续投产，这数字还将继续放量增长，预计全年成都市出口便携式电脑将超过万台。

而在今年年初，成都市市长葛红林也表示，预计到今年月，成都将形成亿台电脑生产能力，其中平板电脑万台，笔记本电脑和台式电脑万台。

目前品牌商戴尔联想已经落户成都。

而重庆笔记本电脑生产能力更是发展迅猛，以垂直整合模式先后引进惠普宏碁华硕等多家品牌厂商，从打造亚洲最大笔记本电脑基地发展到打造全球最大微电子化学品，主要有双氧水硫酸氨水盐酸硝酸醋酸氟化铵，产品质量达到当前市场线宽半导体制造业要求以及半导体生产线质量标准要求。

上海华谊微电子材料有限公司建筑面积近平方米，建有世界流水平生产线和净化包装线。

实验室部分有洁净房平方米，最高洁净要求可以达到级。

拥有价值近万元大型精密测试仪器和技术装备，如测试限达到电感耦合等离子光谱质谱仪测试限原子吸收光谱仪紫外可见分光光谱仪极谱仪总碳分析仪离子色谱仪气相色谱仪高效液相色谱仪激光散射颗粒测定仪空气净化颗粒测试仪微波消化器等。

上海华谊微电子材料有限公司已于年年中建成投产。

产品已开始进入主要集成电路厂家试用，如中芯国际台积电，并出口东南亚。

微电子技术与超净高纯试剂在西部地区发展西部地区微电子技术相对于沿海地区来说发展较晚，但现今也进入了快速发展阶段。

年成都地区首先引进了英寸芯片生产线，并将其定为号工程，总投资亿人民币。

随后又引进了几条英寸及英寸生产线，并将微电子产业列为支柱产业。

从年月开始，重庆市就着手建立西永微电子工业园，计划到年达到年产值亿元，占国内同类市场份额。

建成中国西部门类最齐全，规模最大集成电路制造研发基地和国家软件业基地，成为中国西部硅谷。

现已有茂德光等台资企业及等巨头进驻园区。

随着企业巨头迁移落户，地处西部成渝地区正在改变全球电子信息产业格局，以电子信息产业为代表产业转移效应正在显现。

最新数据显示，年月，成都全市出口便携式电脑万台，全部为平板电脑，出口金额为亿美元，约占全市出口总额而重庆便携式电脑出口量达万台，出口金额为亿美元，占全市出口总量。

成都市商务局相关负责人介绍，去年同期成都便携式电脑出口数据几乎为零。

随着鸿富锦公司产能进步提升和仁宝纬创等企业陆续投产，这数字还将继续放量增长，预计全年成都市出口便携式电脑将超过万台。

而在今年年初，项目介绍超净高纯试剂微电子技术的支柱微电子技术主要是指用于半导体器件和集成电路微细加工制作的系列蚀刻和处理技术，其中集成电路，特别是大规模及超大规模集成电路的微细加工技术又是微电子技术的核心，是电子信息产业最关键最为重要的基础。

微电子技术发展的主要途径之是通过不断缩小器件的特征尺寸，增加芯片的面积，以提高集成度和速度。

自世纪年代后期至今，集成电制并达到其所要求杂质含量和颗粒度。

为使超净高纯试剂质量达到要求，需从多个方面同时予以保障，包括试剂提纯包装供应系统及分析方法等。

目前，国际上普遍使用提纯工艺有十余种，它们适用于不同成分不同要求超净高纯试剂生产，例如，蒸馏精馏连续精馏盐熔精馏共沸精馏亚沸腾蒸馏等温蒸馏减压蒸馏升华化学处理气体吸收等。

超净高纯试剂在运输过程中极易受污染，所以超净高纯试剂包装及供应方式是超净高纯试剂使用重要环。

特别是颗粒控制相关技术，它贯穿于超净高纯试剂生产运输始终，包括了环境控制工艺控制成品包装控制等各个环节。

国内外超净高纯试剂生产技术发展现状国外世纪年代便开始生产电子工业用试剂，并为微电子加工技术发展而不断开发新产品。

到目前为止，在国际上以德国公司产量及所占市场份额为最大，其次为美国公司及日本关东株式会社，另外还有美国公司英国公司前全苏化学试剂和高纯物质研究所三菱瓦斯化学伊期曼化学公司公司公司化学品公司日本化学工业公司及德山公司等。

近年来，新加坡台湾地区也相继建立了级超净高纯试剂生产基地。

目前在国际上从事超净高纯试剂研究开发及大规模生