角的圆弧滚磨光滑。超声波清洗将方棒清洗干净。晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片，切片结束后，从多线切片机卸下工作台。硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。样片测试测试合格，包装入库。产品目标市场本项目产品全部内销。主要设备选型主要设备仪器选择本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究发展的前提下，选择性价比高的工艺设备。主要设备和仪器本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套，共计万元。其中进口设备仪器台套，进口费用万元国产设备仪器台套，费用万元。详细各期设备清单如下表期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机日本切片机日本全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表二期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切片机全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表二期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表三期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切片机全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表三期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计配套工程设计方案总平面布置本项目采用次规划，分期实施的原则建设，总规划用地亩，总建筑面积平方米。其中期工程用地亩，总建筑面积平方米，位于规划用地的东侧二期工程用地亩，总建筑面积平方米，位于规划用地的中部三期工程用地亩，位于规划用地的西侧，总建筑面积平方米。项目用地内设置个出入口，其中主入口位于期用地的北面，为主要的人流出入口，另外四个出入口分别位于三块用地的交界路上，为主要的货物出入口。在厂房的四周设计的环形道路，供消防和物流使用。综合楼等相关生活设施位于用地西南角，与生产设施相对隔离。变电站位于期用地西北角，靠近市政供电线路。废水处理站位于二期用地西北角，靠近黄太路，离主要废水排放点洗料厂房和切片厂房较近，便于废水就近排放和综合治理。各期分设动力中心动力站及水池，并靠近各期的负荷中心，节约能源。综合仓库位于二期用地东侧，靠近主要物流出入口，且与生产车间较近，有利于物料传输。土建主要建筑物洗晶车间栋洗晶车间为单层钢筋混凝土框架结构建筑，层高米。长，宽。单晶厂房栋单晶厂房均为二层钢筋砼框架结构，钢筋混凝土屋顶，层层高米，二层米建筑火灾危险类别为丁类层主要为单晶炉下半部分以及变压器泵等，建筑面积为主生产区层为单晶炉炉体放置区，二楼为单晶炉上半部分操作区。除生产区外，还布置有生产管理更衣，以及生产配套的空调机房车间变配电等。另外，车间还考虑有般物品库，包括暂存间物料入口等，以利于物料的传输暂存。切片厂房及仓库栋切片厂房及仓库为单层钢结构厂房，层高米建筑火灾危险类别为戊类，其中两栋建筑面积为，另外栋建筑面积为主生产区放置开方切片清洗等生产设备。除生产区外，还布置有生产管理更衣，以及生产配套的空调机房车间变配电等。另外，车间还考虑有般物品库，包括暂存间物料入口等，以利于物料的传输暂存。动力厂房动力厂房为单层钢筋砼框架结构，钢筋混凝土屋顶，层高米建筑火灾危险类别为戊类主要包括变电站冷冻机空压机等纯水站控制室和值班室等，建筑面积为。办公综合楼及宿舍办公综合楼为五层，总建筑面积。宿舍设置栋，为六层，每栋总建筑面积。其它其它辅助建筑如门卫岗亭氩气罐区高压变电站甲类库化学品库站设置在动力厂房内。氩气系统单晶炉使用氩气作保护气，最大量，平时用量。氩气贮罐设在生产厂房动力区附近的室外空地。液氩低温槽车到接卸区后，接通贮罐与槽车的汽液相管，利用槽车的自身压力将低温液氩卸至贮罐。液氩为低温贮存，液氩低温贮罐为真空绝热容器。使用时，利用贮罐的压力将液氩送入气化器自然气化，再经减压阀组减压至后，通过氩气总管输送至主机房。然后分别通过各支管，经二级减压至后，接至各单晶炉。纯水系统生产中多晶硅料的清洗硅片的清洗，生产工具器具石英制品清洗等使用纯水。纯水用量为。纯水系统分成前处理和后处理两部分，均设置在动力厂房内。前处理部分首先由纯水原水泵从生产消防合用贮水池取水，加压送至纯水站，经机械过滤活性碳过滤等预处理后，由热交换器换热至，再经过过滤器过滤，进入二级装置，制成纯水，进入初级纯水箱。水同时作为工艺冷却水和机械冷冻水的补充水，浓缩水作为洗涤塔用水。后处理部分由纯水加压泵从初级纯水箱取水，经杀菌脱气离子交换进入终端纯水箱，最终由纯水输送泵经杀菌热交换器混床超滤送至用户，循环回水再回至终端纯水箱。工艺排风系统根据生产性质，工艺设备排风分为酸碱性废气排风和般排风，项目工艺设备排风预计为，包括酸碱性废气排风般排风酸碱性废气排风设置酸性废气洗涤塔，并设排气筒高空排放。单晶炉等使用电能作热源的设备需要排出热废气。酸碱性废气主要是多晶硅料和单晶硅在各类酸和碱中进行化学清洗工艺中产生，以酸性气体为主要成分，主要污染物有等。电气供电项目用电装设功率，实际消耗功率，实际用电量估计万度年。本项目用电从开发区变电站和变电站分别引路高压线到高压变电站，两路互为备用。在高压变电站内建设总降压变电站两座，内设高压配电设备主变压器，将供电电压由降为，为终端变配电所供电，变电所内设配电装置分配电变压器及低压配电装置。消防用电和部分生产用电为级负荷，其它为二级负荷。级负荷需用双回路供电,其中回路故障时,另回路能带大部分或全部负荷,使生产不致中断。同时，为了保证单晶炉应急冷却水系统的供电，该系统双电源供电的情况下，另设备用发电机。接地设置防雷接地保护接地防静电接地安全接地采用共用接地系统等。照明各建筑内照明配电除般照明外，还设置应急照明及疏散照明。急照明光源及照明灯具选型与所在区域的般照明的光源及灯具相同，应急照明灯具内自带蓄电池，应急时间不小于分钟。在主要出入口处疏散走道楼梯间设置诱导标志灯作为疏散照明，其地面照度值为，疏散路线上的诱导标志灯带方向指示，出口的诱导标志灯安装在门的上方，诱导标志灯带蓄电池，应急时间不小于分钟。所有荧光灯采用高效节能寿命长的灯管,灯具配电子镇流器。工厂动力管理系统设置设施管理系统，该系统由设施监控系统设备硬件及软件设备硬件及软件远程接口柜过程仪表控制盘控制电缆驱动器附属设备控制室的操作控制台构成。控制对象包括各建筑内空气处理调节系统纯水制备处理系统冷冻水供应系统热水供应系统工艺冷却水系统高纯气体工艺真空压缩空气系统废气废水废物处理系统办公区的空气处理调节系统等。另外，生命安全系统火灾报警气体报警中央变电站及终端变电站各有自己专门的控制系统，可经网在操作界面进行监视不能控制。控制仪表传感器及驱动器包括温度湿度压力仪表或传感器压差传感器变送器差压开关信号转换器导电率探头液位变送器驱动器等，采集测量各子系统现场工艺参数和状态信息，并通过驱动器完成调节控制。通信按照规范及顾客要求，设计内容为电话系统计算机网络系统监控系统电话数据综合布线系统门禁控制及考勤系统广播系统及安防系统。电话系统根据项目建筑内各区域电话数量要求及以后发展的需要，设全时分数字程控用户电话交换机，初装容量满足工程近期的需要，交换机可扩容。具有模拟数字语音通信及数据通信能力，并有强大的组网能力，电话站预留电源及配线的发展容量。消防控制室变配电站保安室等除设内线电话外还设市内直拨电话。计算机网络企业内计算机网络支持办公生产设备等计算机管理系统会议电视企业资源管理因特网接入等数据传输。数据服务宽带网光纤由运营商接入。计算机网络布线进入建筑物综合布线系统，计算机网络速率采用以太网，星型结构，布线系统采用超五类综合配置。数据中心即电话系统的通信机房。广播系统广播系统为公共广播与消防广播系统合用，广播主机设在消防值班室内，由火灾报警主机引来应急广播自动播音信号线，正常时为全厂室内区域提供业务广播，背景音乐，作息信号等服务，火灾时由火灾报警主机强制开启并播放火灾报警信号。门禁控制及考勤系统在建筑的人员入口通道重要的房间设门禁控制系统。门禁系统可对相应的建筑或区域的入口进行人员流动的控制管理，防止非法进入，并在主要入口设置考勤机。在火灾等紧急状态下，入口处的门均被打开，以便人员疏散。安防系统为了保证本工程各建筑及室外的安全，设置安全监控系统安全监控主机监视器数字硬盘录像机监视器等设备，设在消防保安控制室。安全监控摄像机设在厂区各主要出入口及周界各处建筑各主要出入口及室内重要生产区域等处。该系统对监控场所进行实时有效的视频探测监视显示和记录，并具有报警和图像复核功能。同时，该系统还具有与入侵报警系统进行联动控制的功能。在室外设置周界报警系统。沿围墙周界设对射式红外线探测器，翻越跨越围墙入侵即发出报警信号。主要数据和技术经济指标表主要数据和技术经济指标序号名称单位数据备注产能配套电池产能兆瓦年单晶硅吨年单晶硅片万片年总投资万元其中铺底流动资金万元其中固定资产投资万元职工人数人总建筑面积主要生产设备台套用电量万度自来水消耗量万销售收入万元达产年平均销售利润率平均