1、原电气进出气换热器尾气水冷器油换热器三氯氢硅混合罐导热油加热炉导热油水冷器硅芯炉液氩储槽多功能磨锥机外园切断机硅芯清洗机纯水设备石墨锻烧炉超声波清洗机烘箱变压器选型是,。还原炉配电容量为。制冷机组选型为全自动经济器氟螺杆式压缩机组。制氢机组选型为型氢气纯化装臵。制氮机组选型为变压吸附制氮机组。能耗指标核算电耗核算根据生产工艺及设备选型，各耗能工质消耗见表。表各耗能工质消耗表序号名称单位消耗量备注循环冷水净化压缩空气氮气间断氢气软化纯水通过计算，各工序电耗核算见表。表各工序电耗核算表制氮电耗序号项目名称单位数量每分钟氮耗量负荷运行系数单位时间实际耗氮量制氮系统制氮单耗单位时间。
2、分气化和冷凝，最终在气相中得到较纯的易挥发的低沸点组分如三氯氢硅，而在液相中得到较纯的难挥发的高沸点组分如四氯化硅。购入三氯氢硅原料先后经四个精馏塔提纯，其中二塔为第组，三四塔为第二组，物料经精馏二塔连续提纯，控制定的温度压力回流比，精馏塔塔顶出低沸点物料送往低沸点物料贮罐，塔釜出中间产品如三氯氢硅四氯化硅和部分高沸点杂质进入精馏二塔，精馏二塔塔顶出三氯氢硅粗馏产品，送往精馏进步提纯，塔釜出高沸物。第组精馏产品经第二组精馏三四塔进步连续提纯，控制定的温度压力回流比，精馏三塔塔顶出低沸物，送往原料罐，塔釜出中间产品如三氯氢硅四氯化硅等进入精馏四塔，精馏四塔塔顶出精馏产品送往还。
3、进法中华人民共和国循环经济促进法清洁生产审核暂行办法国家发展改革委国家环保总局令第号重点用能单位节能管理办法原国家经贸委令第号节能中长期专项规划发改环资号关于切实做好固定资产投资项目节能评估审查工作的通知鲁政办发号日照市固定资产投资项目节能评估和审查办法日照市“十五”节能规划二产业政策和准入条件等国务院关于发布促进产业结构调整暂行规定的通知国发号产业结构调整指导目录年本国家发改委令第号国输电铁塔级合格供应商名单。公司技术力量雄厚，人才储备充足。拥有机械制造和钢结构工程专业高级工程师人，中级技术职称人员名，中专以上学历的人员占员工的。公司多年来始终坚持，“科学技术是第生产力”。
4、的氢气氯化氢二氯二氢硅便分离出来。加压冷凝从鼓泡淋洗塔出来的不溶性气体，里面含有少量的三氯氢硅四氯化硅，若在常压下把其冷凝出来需要很低的冷却温度和大量能量，采取加压冷凝的方法，三氯氢硅四氯化硅可在较高的温度下按照相平衡的规律几乎全部冷凝下来，从而大量降低能源消耗。吸收脱吸吸收脱吸是分离气体混合物的种重要方法，吸收过程实际上是气相组分在液相中溶解的过程，反之，溶质从液相转入气相，即为脱吸过程。加压冷凝后的不凝气体主要是氢气氯化氢二氯二氢硅，采用四氯化硅作为吸收剂，其中大量的氯化氢二氯二氢硅在加压低温条件下被四氯化硅溶解吸收，氢气分离出来。而被四氯化硅溶解吸收的氯化氢二氯二氢硅。
5、站制氮站制冷站循环水站纯水站热能转化系统。本项目核心设备为还原炉，选用对棒还原炉。其他设备包括塔类提纯塔为筛板塔，吸收塔脱吸塔为填料塔。热冷换热设备换热器多为列管式换热器形换热器。储罐容器类主要为盛装氯硅烷的容器和气体缓冲罐。主要工艺设备见表。干法回收设备见表。提纯设备见表。还原设备见表。表主要工艺设备览表设备类单位数量备注反应器类还原设备台塔类座容器类台换热器类台风机台泵台其它设备台表干法回收设备明细表序号设备名称规格负荷，还原尾气缓冲罐鼓泡气气换热器鼓泡琳洗塔氯硅烷储罐氯硅烷循环屏蔽泵鼓泡塔氯硅烷换热器氢压机压缩气吸收气换热器压缩气过冷器吸收塔富液储罐富液循环屏蔽泵贫液。
6、原工序，塔釜出高沸物送往原料罐。回收料经回收二三塔三塔连续提纯，控制定的温度压力回流比，回收精馏塔塔顶出低沸物，送往原料罐，塔釜出中间产品如三氯氢硅四氯化硅等进入回收精馏二塔，回收精馏二塔塔顶出三氯氢硅精馏产品，送往还原工序，塔釜出料送往回收精馏三塔，塔顶出四氯化硅，塔底出高沸物外卖。该工序能耗主要为导热油吸收的还原炉余热和电力。干法尾气回收还原尾气干法回收主要包括鼓泡淋洗加压冷凝吸收脱吸活性炭吸附等四个主要工艺过程，其基本原理如下鼓泡淋洗利用四氯化硅在定温度下对还原尾气中组分溶解度的不同，通过鼓泡淋洗塔对还原尾气淋洗，溶解度大的三氯氢硅四氯化硅绝大部分被溶解吸收，溶解度小。
7、制氮单耗二制氢电耗序号项目名称单位数量每分钟氢耗量负荷运行系数单位时间实际耗氢量制氢系统制氢单耗单位时间制氢单耗三制纯水电耗序号项目名称单位数量单位时间纯水耗量负荷运行系数单位时间实际耗纯水量纯水系统制水单耗单位时间制氢单耗四制冷电耗序号项目名称单位数量冷水额定回水温度冷水额定出水温度冷水额定流量制冷系统供冷量制冷功率制冷系数制冷输入功率根据工艺要求，还原炉结晶周期为天，每周期电耗计算及年耗电计算见表。表每周期及年耗电耗核算表序号耗电工序电负荷，负荷系数运行功率，每周期运行时间,每周期电耗，还原工序电耗压缩空气电耗制氮电耗制氢电耗制冷电耗制纯水电耗其他工序电耗每周期合计年产。
8、品周期按核算，年电耗合计年耗电折标准煤按折算,多晶硅产量核算本项目产品为直径，长为的太阳能级多晶硅棒，还原炉为对棒加热电极，单炉产量为多晶硅棒，根据多晶硅密度为，单炉产量为。每炉按年生产炉核算，台还原炉年产太阳能级多晶硅棒吨。综合能耗核算能耗综合核算见表。表能耗综合表序号能耗种类单位消耗量折标系数折标准煤量，电合计通过以上核算该项目实施后年耗电万多晶硅综合耗电为，折标准煤量为吨，多晶硅综合能耗为。第四章项目工艺技术设备能效指标项目主要生产工艺多晶硅的制备工艺过程是元素硅的提纯过程，它是将个的工业硅提纯到个的高纯硅，多晶硅的生产主要有改良西门子法硅烷法和流化床法等方法，其中改。
9、为特殊的战略材料，严格控制技术转让，并垄断全球吸收，吸收脱吸，吸附脱附等化工操作实现各组分的分离，并重新利用。采用干法回收工艺，还原尾气中的各组分几乎可以分离回收，由于整个系统是闭路循环，不引入新的污染源，故回收各组分品质稳定，可直接返回系统重新利用，从而提高了收率，减少了消耗。采用改良西门子法，其特点为闭路循环系统，采用节能型大还原炉干法回收等技术，产品质量高，原辅材料及电力消耗大为降低，每生产公斤多晶硅的单耗与国内目前水平相比，各项单耗都大幅度降低。主要用能设备本项目主要装臵有主装臵和辅助装臵二部分。主装臵包括三氯氢硅提纯系统干法回收系统多晶硅还原系统。辅助装臵包括制氢。
10、水冷器级贫富液换热器二级贫富液换热器贫液过冷器脱吸塔脱吸塔顶冷凝器脱吸塔再沸器二氯二氢硅储罐吸收塔出口缓冲罐活性炭吸附器吸附后纯氢储罐导热油水换热器导热油膨胀槽冷油循环屏蔽泵袋式过滤器高效氢气过滤器表提纯设备明细表序号设备名称规格负荷，合成粗馏塔合戍粗馏塔顶冷凝器合成粗馏塔顶再沸器合成粗馏塔合成粗馏塔冷凝器合成粗馏塔再沸器低沸物储槽粗馏产品储槽输送泵精馏塔精馏塔冷凝器精馏塔再沸器精馏塔精馏塔冷凝器精馏塔再沸器干法精馏塔干法精馏塔冷凝器干法精馏塔再沸器干法精馏塔干法精馏塔冷凝器干法精馏塔再沸器精馏产品储罐高沸物储罐原料罐回收罐表还原设备明细表序号设备名称规格负荷，对棒还原炉还。
11、在脱吸塔中控制定的温度压力条件下，二氯二氢硅以液态氯化氢以气态分别从四氯化硅中分离出来。活性炭吸附脱附从吸收脱吸系统中分离出来的氢气中含有微量的氯第章概述项目概况项目名称年产吨电子级多晶硅项目建设性质新建项目项目申报及建设单位山东鼎昌硅业科技发展有限公司企业性质私营有限责任公司建设单位法定代表厉启颂建设地点山东省日照市莒县城北工业园区内建设内容年产吨电子级多晶硅年产量太阳能级可达吨项目及与其配套的公用工程设施。能源消耗量电万年，水吨年。评估依据相关法律法规和规划中华人民共和国节约能源法中华人民共和国可再生能源法中华人民共和国电力法中华人民共和国建筑法中华人民共和国清洁生产促。
12、良西门子法具有工艺技术成熟安全性高产品纯度满足微电子工艺需要等优点，世界新建多晶硅生产装臵绝大多数采用改良西门子法。本新增项目采用改良西门子法，主要生产工艺包括三氯氢硅分离提纯干法尾气回收多晶硅还原三部分和换热，制冷，压缩空气，循环水，变配电等辅助生产系统。三氯氢硅提纯三氯氢硅提纯是利用原料中各组分挥发性的差异而使之分离的种操作，通过提纯塔把三氯氢硅四氯化硅及其他杂质氯化物加热至沸腾，挥发性强即沸点低的组分如三氯氢硅首先蒸发，其在气相中的浓度高于液相中的浓度。同理，将混合液的蒸气冷凝，冷凝液中难挥发的组分即沸点高的物质如四氯化硅，在液相中的浓度比气相中高。经过如此多次反复部。
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