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镀膜室由入口缓冲段包括入口等待段溅射室出口缓冲段包括出口等待段几部分组成,各段之间都设有锁闭阀可以单独锁闭以便可以进行抽真空处理。
镀膜完成后玻璃片被送入出口锁闭
