年。

电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之，主要用于芯片的型掺杂，它的纯度和洁净度对集成电路的成品率电性能及可靠性都有着十分重要的影响。

目前国际上从事工艺化学品研发及生产的主要有德国的及公司占全球市场份额的美国的公司占全球市场份额的，公司占全球市场份额的，公司占全球市场份额的日本的占全球市场份额的，占全球市场份额的。

另外还有日本的关东株式会社住友合成德川三菱，我国台湾地区的长春中华长新化学，韩国的等公司。

在技术方面，美国德国日本韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产技术用的工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺研究并开始规模生产。

项目所需主要原材料为工业黄磷。

目前有黄磷生产企业家，黄磷生产能力为万吨，实际产量已超过万吨位于全国第二位，黄磷供应量足够满足公司生产所需并具有地域上的优势。

竞争能力预测公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生产可以替代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品的空白。

提升我国在该领域的技术水平，打破国内外产品的垄断。

目前，国内尚无大规模的同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势明显。

第三章产品方案及生产规模产品方案产品吨年高纯三氯氧磷生产规模高纯三氯氧磷生产规模为吨年年生产天数天项目的技术可行性和成熟性分析项目产品检测情况电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品的纯度已达到或超过国际半导体设备与材料协会所制定的产品质量标准达到日本公司和德国公司同类产品的水平。

电子级三氯氧磷经科技部西南信息中心进步确认，结论为“国内来见生产电子级三氯氧磷单项杂质不大子的文献报道，也未见采用本工艺生产三氧氧磷的报道，故本项目具有新颖性”。

工艺特点及与现有工艺比较所具有的优势电子级三氯氧磷创新点论述本项目创新点在于从原材料黄磷或红磷开始严格控制各道工序的提纯及防止杂质元素的进入，能有效的保证产品的质量，产品质量达到国际标准。

国内外工艺流程的对比德国默克流程图产品可达级。

国内生产企业由于工艺技术设备材料的限制，产品顼级为级。

县化工有限公司工艺流程产品可以达到级黄磷高纯合成蒸馏馏合成精馏精馏精馏精馏在千级超净环境下在百级超净环境下工业级精馏在通风厨里包装，包装瓶用焰或乙炔封口精馏工业级精馏净化包装升华回收对行业技术进步的重要意义和作用掌握核心技术，打破国外产品对我国的市场垄断公司经过多年的研究开发已掌握了高纯黄磷电子级红磷电子级三氯氧磷的核心技术。

目前，在我国微电子行业使用的电子级红磷和三氯氧磷，几乎全部是美国日本德国等国家的产品。

项目成受性和可靠性论述项目的成熟性和可靠性见附件用户使用报告和权威机构分析报告技术方案技术特点电子级三氧氧化磷技术特点本技术的创新点在于从基础原材料高纯磷开始严格控制各道工序的提纯以及防止杂质元素的二次污染，能有效的保证产品质量的稳定性，保证产品质量达到国际标准。

产品纯度高，稳定性好达到国际标准其单项杂质最高含量为。

原材料可以是黄磷，也可以是红磷。

但其纯度必须为三氯氧磷的精馏在石英塔板精馏器中进行，其设备便于保持蒸馏过程的干净及使用后便于清洗。

原材料利用率高过程无环境污染过程副产品稀盐酸和磷酸采用氢氧化钠和生石灰中和处理。

产品包装要求条件高，必须在超净环境下进行。

第四章工艺技术方案工艺技术路线电子级三氯氧磷工艺技术路线三氯化磷是合成三氯氧磷的过程品。

三氯化磷的生产必须以级胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。

远离易燃可燃物。

避免产生粉尘。

避免与酸类接触。

搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。

配备泄漏应急处理设备。

倒空的容器可能残留有害物。

稀释或制备溶液时，应把碱加入到水中，避免沸腾和飞溅。

储存注意事项储存于阴凉干燥通风良好的库房。

远离火种热源。

库内湿度最好不大于。

包装必须密封，切勿受潮。

应与易可燃物酸类等分开存放，切忌混储。

储区应备有合适的材料收容泄漏物。

表石灰的危险有害性分析标识中文名石灰氧化钙英文名分子式危规号编号分子量危险性类别第类碱性腐蚀品号理化性质性状白色无定形粉末，含有杂质时呈灰色或淡黄色，具有吸湿性。

熔点溶解性不溶于醇溶于酸甘油。

沸点相对密度水饱和蒸汽压相对密度空气临界温度燃烧热无意义临界压力最小点火能无意义燃爆特性与消防燃烧性不燃燃烧分解产物氧化钙闪点无意义聚合危害不聚合爆炸极限体积分数无意义稳定性稳定引燃温度无意义禁忌物水酸类易燃或可燃物。

危险特性与酸类物质能发生剧烈反应。

具有较强的腐蚀性。

灭火方法灭火剂干粉二氧化碳干砂。

毒性急性毒性健康危害侵入途径吸入食入。

健康危害本品属强碱，有刺激和腐蚀作用。

对呼吸道刺激症状和有强烈刺激性，吸入本品粉尘可致化学性肺炎。

对眼和皮肤有强烈刺激性，可致灼伤。

口服刺激和灼伤消化道。

长期接触本品可致手掌皮肤角化皲裂指甲变形。

急救皮肤接触立即脱去被污染的衣着，先用植物油或矿物油清洗。

用大量流动清水冲洗。

就医。

不溶于醇溶于酸甘油。

沸点相对密度水饱和蒸汽压相对密度空气临界温度燃烧热无意义临界压力最小点火能无意义燃爆特性与消防燃烧性不燃燃烧分解产物氧化钙闪点无意义聚合危害不聚合爆炸极限体积分数无意义稳定性稳定引燃温度无意义禁忌物水酸类易燃或可燃物。

危险特性与酸类物质能发生剧烈反应。

具有较强的腐蚀性。

灭火方法灭火剂干粉二氧化碳干砂。

毒性急性毒性健康危害侵入途径吸入食入。

健康危害本品属强碱，有刺激和腐蚀作用。

对呼吸道刺激症状和有强烈刺激性，吸入本品粉尘可致化学性肺炎。

对眼和皮肤有强烈刺激性，可致灼伤。

口服刺激和灼伤消化道。

长期接触本品可致手掌皮肤角化皲裂指甲变形。

急救皮肤接触立即脱去被污染。

目前，在我国微电子行业使用的电子级红磷和三氯氧磷，几乎全部是美国日本德国等国家的产品。

项目成受性和可靠性论述项目的成熟性和可靠性见附件用户使用报告和权威机构分析报告技术方案技术特点电或乙炔封口精馏工业级精馏净化包装升华回收对行业技术进步的重要意义和作用掌握核心技术，打破国外产品对我国的市场垄断公司经过多年的研究开发已掌握了高纯黄磷电子级红磷电子级三氯氧磷的核心技术化工有限公司工艺流程产品可以达到级黄磷高纯合成蒸馏馏合成精馏精馏精馏精馏在千级超净环境下在百级超净环境下工业级精馏在通风厨里包装，包装瓶用焰道工序的提纯及防止杂质元素的进入，能有效的保证产品的质量，产品质量达到国际标准。

国内外工艺流程的对比德国默克流程图产品可达级。

国内生产企业由于工艺技术设备材料的限制，产品顼级为级。

县子的文献报道，也未见采用本工艺生产三氧氧磷的报道，故本项目具有新颖性”。

工艺特点及与现有工艺比较所具有的优势电子级三氯氧磷创新点论述本项目创新点在于从原材料黄磷或红磷开始严格控制各导体设备与材料协会所制定的产品质量标准达到日本公司和德国公司同类产品的水平。

电子级三氯氧磷经科技部西南信息中心进步确认，结论为“国内来见生产电子级三氯氧磷单项杂质不大产规模产品方案产品吨年高纯三氯氧磷生产规模高纯三氯氧磷生产规模为吨年年生产天数天项目的技术可行性和成熟性分析项目产品检测情况电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品的纯度已达到或超过国际半技术，投入生产可以替代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品的空白。

提升我国在该领域的技术水平，打破国内外产品的垄断。

目前，国内尚无大规模的同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势明显。

第三章产品方案及生主要原材料为工业黄磷。

目前有黄磷生产企业家，黄磷生产能力为万吨，实际产量已超过万吨位于全国第二位，黄磷供应量足够满足公司生产所需并具有地域上的优势。

竞争能力预测公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心等公司。

在技术方面，美国德国日本韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产技术用的工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺研究并开始规模生产。

项目所需占全球市场份额的。

另外还有日本的关东株式会社住友合成德川三菱，我国台湾地区的长春中华长新化学，韩国的份额的美国的公司占全球市场份额的，公司占全球市场份额的，公司占全球市场份额的日本的占全球市场份额的主要用于芯片的型掺杂，它的纯度和洁净度对集成电路的成品率电性能及可靠性都有着十分重要的影响。

目前国际上从事工艺化学品研发及生产的主要有德国的及公司占全球市场计算，年需相当于Ⅳ级大约在吨年的规模，并呈每年以上增长的态势三氯氧磷国内外需求量国内吨年，国际吨年。

电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之，技书术及超大规模集成电路和英寸晶圆和技术极大规模集成电路英寸晶圆，技术生产线及厂家按月生产万片硅片生产线平均需三氯氧磷千克月的用量合物半导体等工业。

产品生产技术处于国内先进地位。

目前，中小规模上技术分立器阜生产厂家及晶体硅太阳能电池光纤制造厂家对于级三氯氧磷的需求总量将达到吨年以上大规模集成电路英寸晶圆好的经济效益和社会效益。

因此该项目的建设是有意义的，项目是可行的。

第二章市场需求预测和拟建规模项目产品市场调查与竞争能力预测项目产品市场调查项目产品可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池高纯化合好的经济效益和社会效益。

因此该项目的建设是有意义的，项目是可行的。

第二章市场需求预测和拟建规模项目产品市场调查与竞争能力预测项目产品市场调查项目产品可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池高纯化合物半导体等工业。

产品生产技术处于国内先进地位。

目前，中小规模上技术分立器阜生产厂家及晶体硅太阳能电池光纤制造厂家对于级三氯氧磷的需求总量将达到吨年以上大规模集成电路英寸晶圆，技书术及超大规模集成电路和英寸晶圆和技术极大规模集成电路英寸晶圆，技术生产线及厂家按月生产万片硅片生产线平均需三氯氧磷千克月的用量计算，年需相当于Ⅳ级大约在吨年的规模，并呈每年以上增长的态势三氯氧磷国内外需求量国内吨年，国际吨水平。

建立运转灵活保障有力管理科学的水行政执法模式，加强对各类违法行为的监督检查，确保水利工程和水利资源免遭破坏。

建立稳定可靠的投入机制各级水行政主管部门要积极制定切实可行的规划计划，当好各级政府的