载体温度，使炉内载体直径变粗，达到供直拉单晶硅所需直径要 求的多晶硅。 还原尾气经两级螺旋板换热器降温后进入尾气回收器，未凝气体 与还原尾气经换热后进入水喷淋洗涤塔洗涤，再经丝网阻火器进入氢 气气柜。洗涤水则进入中和池进行处理。 尾气回收器冷凝下来的回收液体进入计量槽，经控制流量进入回 收精馏塔，塔顶气相经二级全凝器冷凝得到的液体经分析，合格品流 入回收精三氯氢硅储槽或四氯化硅储槽，不合格品则返回粗产品罐， 再重新送入高位槽进行精馏。精馏残液塔釜排液及轻组份液体则 送往高低沸物储槽，装车外卖。 回收的三氯氢硅和回收的四氯化硅经汽化后进入不同的还原炉， 前者生产直拉料或区熔料，后者则送入专用还原炉，以生产拉制硅芯 的硅芯料。 主要建设内容 二七年七月，经宜春市发展和改革委员会核准，期前期年 产吨多晶硅项目正式开工建设。至目前，期前期工程土建已基 本完工，大部分设备已进厂，现正安装并调试。 期前期工程主要建设内容 期前期工程土建工程如下表 期前期工程土建工程览表 序号子项号项目名称规模单位备注氢气净化车间 还原主车间 三氯氢硅车间 序号子项号项目名称规模单位备注 精馏车间 尾气回收车间 氢气气柜 乙类仓库 贮罐区三氯氢硅 四氟化硅 盐酸 贮罐区泵房 热水池及泵房 发配电间 循环消防水池深 循环消防水池泵房 辅助车间冷冻空压 事故应急池深 污水处理系统 地磅 综合办公楼 研发楼 门卫 门卫二 门卫三 根据宜春市发改委宜市发改外经字号关于核准中外 合资硅材料有限公司年产吨多晶硅项目的通知，期前期 工程投资总额为万美元折合人民币万元其中固定资产投资万美元折合人民币万元，铺底流动资金万 美元折合人民币万元。以上美元与人民币的比率均为比 。 期前期工程主要工艺设备表如下 期前期工程主要工艺设备览表 序号设备名称规格型号材质数量 三氯氢硅装臵 氯气缓冲罐， 氯化氢合成炉， 氯化氢缓冲罐， 水环真空泵型组合件 真空缓冲罐，不锈钢 污水处理系统 冷却塔 冷却器及氢气冷却器 带经济器螺旋杆盐水机开启式螺杆冷水机组 空压机 轴流风机主要水泵 干式变压器 高压开关柜 低压开关柜 序号设备名称规格型号材质数量 发电机 穿墙套管 防火门 家悦电脑及移动硬盘 微机高频直流开关电源装臵 方阻测试仪 其他辅助设备及五金机电约二百万 期增资扩建工程主要建设内容 期增资扩建工程土建工程如下 增资扩建工程土建工程览表 序号子项号项目名称规模单位备注 还原主车间二预留 乙类仓库 乙类仓库二 机修车间 车库 辅助车间冷冻空压 污水处理系统 地磅二 研发楼 期增资扩建工程主要工艺设备如下表 增资扩建工程工艺设备览表 序号设备名称规格型号材质数量三氯氢硅装臵 氯化氢合成炉， 氯化氢缓冲罐， 硅粉干燥器 序号设备名称规格型号材质数量 沸腾炉 网袋过滤器 空冷器 冷凝器 接受槽 精馏塔 前冷凝器 后冷凝器 过滤器， 热水泵组合件 接收槽， 阻火器 干燥器， 螺旋冷冻机 计量罐 三氯氢硅储罐 二多晶硅装臵 原料水罐 电解槽外形尺寸，复合件 制氢装臵外形尺寸，复合件 砾石阻火器 氢气冷却器 缓冲罐， 阻火器 阻火器片碱干燥器， 活性碳吸附器， 除氧器， 冷却器 序号设备名称规格型号材质数量 冷冻除水器 硅胶干燥器， 加热器 加热器，不锈钢 氢气二次净化器不锈钢 螺旋板换热器不锈钢 高位槽， 磁力泵不锈钢 高低沸储罐， 挥发器，不锈钢 氢气过滤器不锈钢 还原炉 还原炉 还原炉电控装臵 尾气回收器不锈钢 喷淋水洗塔，衬 填料水洗塔，衬 丝网阻火器 氢气气柜 水环压缩机 水洗池， 中和池， 计量罐， 计量罐， 氮气缓冲罐，不锈钢 申报单位及项目概况 项目申报单位概况 硅材料有限公司是由美国通用硅材料有限公司与南昌赣宇 有机硅有限公司于年月日办理企业法人营业执照并合资组 建的中外合资股份制企业，法人代表，注册资本万美元折 合人民币万元，实收资本万美元，公司类型为有限责 任公司中外合资，经营范围多晶硅开发生产销售技术服 务等。硅材料有限公司在樟树盐化工业基地征地亩，利用 蓝恒达化工有限公司其厂址就在樟树盐化工业基地内，并与 硅材料有限公司仅路之隔氯气和氢气的原料优势和公司本身技术 和资金优势投资建设多晶硅生产线中间产品为三氯氢硅，根据公 司发展规划，整个项目拟分四期建设第期先上吨，待生产稳 定后陆续上二三四期每期产能吨，公司最终规模为年产 多晶硅吨。二七年七月，经宜春市发展和改革委员会核准， 期前期年产吨多晶硅项目正式开工建设。至目前，土建已基本 完工，大部分设备已进厂，现正安装并调试。 为抓住绝佳的市场机遇，使项目能尽快按期规模建成投产，完 成公司生产能力在最短的时间内迅速达到年产多晶硅吨的既定 目标，公司决策层决定立即增资扩建以完善期工程。 核准通过，归档资料。 未经允许，请勿外传,项目概况 项目名称合资硅材料有限公司年产吨多晶硅 增资扩建至吨建设项目 建设单位硅材料有限公司 法人代表 建设地点樟树市盐化工业基地 建设规模年扩产多晶硅吨，使年总产能达到多晶硅 吨 工艺技术方案简述 目前多晶硅的主要生产方法分别为硅烷法和三氯氢硅氢还原法 又称西门子法这两种。 硅烷法是采用精制后的硅烷进行热分解反应，析出硅，从而获得 多晶硅棒，再经进步处理后而获得多晶硅产品。 三氯氢硅氢还原法是经过精制的三氯氢硅经挥发后与精制后的 氢气在还原炉中高温下发生还原反应而析出硅，获得多晶棒，再往进 步处理后而获得多晶硅产品。 改良西门子法即改良三氯氢硅氢还原法主要是对还原尾气进 行回收利用，提高三氯氢硅的转化率，降低其消耗，同时极大地解决 尾气排放造成的污染问题。 本项目选择改良西门子法生产多晶硅。 该工艺流程采用三氯氢硅和氢气分别经过精制，进入还原炉，在 高温下进行还原，获得的多晶硅棒经过后处理而获得高纯度的多晶硅。同时对还原尾气进行处理，回收三氯氢硅，四氯化硅和氢气。回 收的三氯氢硅四氯化硅氢气经精制后再进入还原炉中生产多晶硅。 多晶硅的产品质量达到的要求。 工艺流程简述 氢气精制工序 由该公司相临的蓝恒达化工管道送来的氢气及回收氢气进 入氢气气柜，经水环泵加压后的氢气经分离器氢气冷却器片碱干 燥器活性碳吸附器除氧器冷却器冷冻除水器硅胶干燥器， 再进入二次氢气净化器进行净化得到精制氢气。 该项目同时建设有电解水制氢系统。采用纯化水经电解槽电解， 制氢装臵分离氢氧等初步处理，再进入氢气净化装臵净化，得到高 纯氢气供还原车间等生产使用。 三氯氢硅精制工序 自制的三氯氢硅放入三氯氢硅储槽，再经泵送往高位槽，经控制 流量后进入精馏塔釜，从塔顶出来的气相经全凝器二级进行冷凝 得到的冷凝液再经过滤器，路返回精馏塔顶作为回流液，路作为 产品流入计量槽。经分析，合格的精制三氯氢硅进入精三氯氢硅储槽， 不合格的则返回三氯氢硅储槽。二级全凝器的尾气进入尾气缓冲罐， 再经尾气洗涤塔洗涤达标排空。洗涤水进入中和池进行处理。精馏的 釜底残液及轻组分三氯氢硅则进入高低沸物槽，装车外卖。 还原系统及尾气回收系统 精制的三氯氢硅经过鼓泡气化后与精制氢气在还原炉内，在以硅芯作为载体的表面，在高温下还原沉积为多晶硅。通过调节电流强度， 控制载体温度，使炉内载体直径变粗，达到供直拉单晶硅所需直径要 求的多晶硅。 还原尾气经两级螺旋板换热器降温后进入尾气回收器，未凝气体 与还原尾气经换热后进入水喷淋洗涤塔洗涤，再经丝网阻火器进入氢 气气柜。洗涤水则进入中和池进行处理。 尾气回收器冷凝下来的回收液体进入计量槽，经控制流量进入回 收精馏塔，塔顶气相经二级全凝器冷凝得到的液体经分析，合格品流 入回收精三氯氢硅储槽或四氯化硅储槽，不合格品则返回粗产品罐， 再重新送入高位槽进行精馏。精馏残液塔釜排液及轻组份液体则 送往高低沸物储槽，装车外卖。 回收的三氯氢硅和回收的四氯化硅经汽化后进入不同的还原炉， 前者生产直拉料或