略和产业政策。

本项目在建设，市场扩展范围合理，运输方便，原料供应有保障，本项目确可行。

社会效益分析本项目开发电子级三氯氧磷产品系国内首次研究，成功进行生产后，可以为微电子行业提供高质量电子基础材料，满足市场需要，通过本项目建设减少我国对国外产品依赖，打破国外产品垄断，提高具有自主知识产权产品市场竞争力，投入批量生产后可以替代进口，填补国内无法生产电子级三氯氧磷产品空白，推动我国信息产业发展。

通过本项目实施，将当地磷资源优势转化为经济优势，促进磷化工科技水平提高，带动磷化工新产品开发，形成产业链发展。

通过本项目实施，可在定程度上推动地方经济发展增加就业机会。

第十六章社会评价项目对社会影响分析项目建成后，为社会提供了新就业机会，对当地居民收入和生活水平都有较大提高，可较大地提高生产企业技术水平，同时使产品质量达到国际先进水平，对发展当地经济具有重要意义。

项目与所在地互适性作单元。

得到产品是生产三氯氧磷原料。

用高纯三氯化磷为原料合成三氯氧磷，同样经过处理氯气和符合标准纯净水合成。

此工艺成熟安全产率高且不污染环境，主要包括合成回流蒸馏精馏过滤等操作单元。

得到产品下进行。

第四章工艺技术方案工艺技术路线电子级三氯氧磷工艺技术路线三氯化磷是合成三氯氧磷过程品。

三氯化磷生产必须以级黄磷或红磷为原料与经过处理高纯氯气反应，主要包括氯气黄磷生产提纯分离蒸馏等操氧磷精馏在石英塔板精馏器中进行，其设备便于保持蒸馏过程干净及使用后便于清洗。

④原材料利用率高过程无环境污染过程副产品稀盐酸和磷酸采用氢氧化钠和生石灰中和处理。

产品包装要求条件高，必须在超净环境及防止杂质元素二次污染，能有效保证产品质量稳定性，保证产品质量达到国际标准。

产品纯度高，稳定性好达到国际标准其单项杂质最高含量为。

原材料可以是黄磷，也可以是红磷。

但其纯度必须为三氯家产品。

项目成受性和可靠性论述项目成熟性和可靠性见附件用户使用报告和权威机构分析报告技术方案技术特点电子级三氧氧化磷技术特点本技术创新点在于从基础原材料高纯磷开始严格控制各道工序提纯以作用掌握核心技术，打破国外产品对我国市场垄断公司经过多年研究开发已掌握了高纯黄磷电子级红磷电子级三氯氧磷核心技术。

目前，在我国微电子行业使用电子级红磷和三氯氧磷，几乎全部是美国日本德国等国成精馏精馏精馏精馏在千级超净环境下在百级超净环境下工业级精馏在通风厨里包装，包装瓶用焰或乙炔封口精馏工业级精馏净化包装升华回收对行业技术进步重要意义和量达到国际标准。

国内外工艺流程对比德国默克流程图产品可达级。

国内生产企业由于工艺技术设备材料限制，产品顼级为级。

县化工有限公司工艺流程产品可以达到级黄磷高纯合成蒸馏馏合道，故本项目具有新颖性。

工艺特点及与现有工艺比较所具有优势电子级三氯氧磷创新点论述本项目创新点在于从原材料黄磷或红磷开始严格控制各道工序提纯及防止杂质元素进入，能有效保证产品质量，产品质准达到日本公司和德国公司同类产品水平。

电子级三氯氧磷经科技部西南信息中心进步确认，结论为国内来见生产电子级三氯氧磷单项杂质不大子文献报道，也未见采用本工艺生产三氧氧磷报规模高纯三氯氧磷生产规模为吨年年生产天数天项目技术可行性和成熟性分析项目产品检测情况电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品纯度已达到或超过国际半导体设备与材料协会所制定产品质量标内生产电子级三氯氧磷产品空白。

提升我国在该领域技术水平，打破国内外产品垄断。

目前，国内尚无大规模同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势明显。

第三章产品方案及生产规模产品方案产品吨年高纯三氯氧磷生产磷生产企业家，黄磷生产能力为万吨，实际产量已超过万吨位于全国第二位，黄磷供应量足够满足公司生产所需并具有地域上优势。

竞争能力预测公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品核心技术，投入生产可以替代进口，填补国等公司。

在技术方面，美国德国日本韩国及我国台湾地区目前已经在规模生产技术用工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺研究并开始规模生产。

项目所需主要原材料为工业黄磷。

目前有黄占全球市场份额。

另外还有日本关东株式会社住友合成德川三菱，我国台湾地区长春中华长新化学，韩国全球市场份额美国公司占全球市场份额，公司占全球市场份额，公司占全球市场份额日本占全球市场份额，键性基础化工材料之，主要用于芯片型掺杂，它纯度和洁净度对集成电路成品率电性能及可靠性都有着十分重要影响。

目前国际上从事工艺化学品研发及生产主要有德国及公司占全键性基础化工材料之，主要用于芯片型掺杂，它纯度和洁净度对集成电路成品率电性能及可靠性都有着十分重要影响。

目前国际上从事工艺化学品研发及生产主要有德国及公司占全球市场份额美国公司占全球市场份额，公司占全球市场份额，公司占全球市场份额日本占全球市场份额，占全球市场份额。

另外还有日本关东株式会社住友合成德川三菱，我国台湾地区长春中华长新化学，韩国等公司。

在技术方面，美国德国日本韩国及我国台湾地区目前已经在规模生产技术用工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺研究并开始规模生产。

项目所需主要原材料为工业黄磷。

目前有黄磷生产企业家，黄磷生产能力为万吨，实际产量已超过万吨位于全国第二位，黄磷供应量足够满足公司生产所需并具有地域上优势。

竞争能力预测公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品核心技术，投入生产可以替代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品空白。

提升我国在该领域技术水平，打破国内外产品垄断。

目前，国内尚无大规模同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势明显。

第三章产品方案及生产规模产品方案产品吨年高纯三氯氧磷生产规模高纯三氯氧磷生产规模为吨年年生产天数天项目技术可行性和成熟性分析项目产品检测情况电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品纯度已达到或超过国际半导体设备与材料协会所制定产品质量标准达到日本公司和德国公司同类产品水平。

电子级三氯氧磷经科技部西南信息中心进步确认，结论为国内来见生产电子级三氯氧磷单项杂质不大子文献报道，也未见采用本工艺生产三氧氧磷报道，故本项目具有新颖性。

工艺特点及与现有工艺比较所具有优势电子级三氯氧磷创新点论述本项目创新点在于从原材料黄磷或红磷开始严格控制各道工序提纯及防止杂质元素进入，能有效保证产品质量，产品质量达到国际标准。

国内外工艺流程对比德国默克流程图产品可达级。

国内生产企业由于工艺技术设备材料限制，产品顼级为级。

县化工有限公司工艺流程产品可以达到级黄磷高纯合成蒸馏馏合成精馏精馏精馏精馏在千级超净环境下在百级超净环境下工业级精馏在通风厨里包装，包装瓶用焰或乙炔封口精馏工业级精馏净化包装升华回收对行业技术进步重要意义和作用掌握核心技术，打破国外产品对我国市场垄断公司经过多年研究开发已掌握了高纯黄磷电子级红磷电子级三氯氧磷核心技术。

目前，在我国微电子行业使用电子级红磷和三氯氧磷，几乎全部是美国日本德国等国家产品。

项目成受性和可靠性论述项目成熟性和可靠性见附件用户使用报告和权威机构分析报告技术方案技术特点电子级三氧氧化磷技术特点本技术创新点在于从基础原材料高纯磷开始严格控制各道工序提纯以及防止杂质元素二次污染，能有效保证产品质量稳定性，保证产品质量达到国际标准。

产品纯度高，稳定性好达到国际标准其单项杂质最高含量为。

原材料可以是黄磷，也可以是红磷。

但其纯度必须为三氯氧磷精馏在石英塔板精馏器中进行，其设备便于保持蒸馏过程干净及使用后便于清洗。

④原材料利用率高过程无环境污染过程副产品稀盐酸和磷酸采用氢氧化钠和生石灰中和处理。

产品包装要求条件高，必须在超净环境下进行。

第四章工艺技术方案工艺技术路线电子级三氯氧磷工艺技术路线三氯化磷是合成三氯氧磷过程品。

三氯化磷生产必须以级黄磷或红磷为原料与经过处理高纯氯气反应，主要包括氯气黄磷生产提纯分离蒸馏等操作单元。

得到产品是生产三氯氧磷原料。

用高纯三氯化磷为原料合成三氯氧磷，同样经过处理氯气和符合标准纯净水合成。

此工艺成熟安全产率高且不污染环境，主要包括合成回流蒸馏精馏过滤等操作单元。

得到产品纯度高，稳定性好，达到国际标准其单项杂质最高含量为。

产品可以达到级。

三氯氧磷生产工艺流程图反应方程式，↑三氯氧磷生产工艺流程图合成合成合成活性碳回流工业黄磷工业氯气过滤气化干燥干吸蒸馏吸附精馏储存超净过滤石英源瓶外包装内包装成品除油王水浸泡超纯水洗超纯水洗超净包装超纯水设备选型表设备名称规格单位数量备注高纯风柜台尾气处理系统套石英塔套美国制造高纯适应配件耐高温套高纯氯气处理系统套高纯货架个烘箱个玻璃制品套高纯四氟制品套源瓶阀门套源瓶产品包装套软板运输车箱式台叉车台纯水机组套检验设备气象色谱仪等套黄磷提纯系统套变压器台产品原辅材料方案及拟建规模表序号产品名称生产规模备注三氯氧磷盐酸或者氯化钠等副产品中和原辅材料名称最大用量液氯汽车运输黄磷汽车运输氢氧化钠汽车运输石灰汽车运输原料辅助材料来源及运输黄磷购自当地生产厂，采用公路运输。

液氯购自淮安电化厂，采用公路运输。

烧碱石灰等均购淮安当地生产厂，采用公路运输。

产品规格及质量标准检测报告样品名称高纯三氯氧磷二分子式三分子量四分析仪器五批次六检测指标及结果表分析项目指标检测值分析项目指标检测值，含量，动力供应供水本工程日用水约为万吨，主要为三氯氧磷生产以及冷却用水，生活用水等。

因此每天平均由工业园区供水管网提供用量为吨。

完全可满足生产消防等用水要求。

供电本工程总用电负荷约，用于三氯氧磷生产及污水处理车间，生活及照明用电，届时选用台节能型变压器即可满足工艺要求。

仪表本项目仪表设计选用新型操作系统，具有记录报警调节等功能，能实现对工艺参数集中控制管理和监控，有利于生产控制操作，提高劳动生产率，增加经济效益。

第五章建设条件与厂址选择项目概况厂址厂