万方数据目次摘要目次图清单表清单绪论钛与钛合金钛钛合金分类钛合金性能与应用生物医用钛合金生物材料医用钛合金医用钛合金表面改性医用钛合金腐蚀医用钛合金磨损表面改性方法元素小结实验材料与测试方法实验材料实验制备检测方法射线衍射分析原子力显微镜厚度测试光学显微镜电化学腐蚀摩擦磨损显微硬度万方数据质量称重实验工艺单工艺参数研究溅射功率对沉积速率影响溅射功率对表面粗糙度影响溅射功率对表面硬度影响溅射功率对晶体结构影响小结正交法多因素实验设计正交法简介正交实验工艺参数工艺参数对表面状况影响工艺参数对腐蚀性能影响小结多层结构改性层设计制备与研究多层结构改性层样品设计与制备多层结构,万方数据,万方数据万方数据目次摘要目次图清单表清单绪论钛与钛合金钛钛合金分类钛合金性能与应用生物医用钛合金生物材料医用钛合金医用钛合金表面改性医用钛合金腐蚀医用钛合金磨损表面改性方法元素小结实验材料与测试方法实验材料实验制备检测方法射线衍射分析原子力显微镜厚度测试光学显微镜电化学腐蚀摩擦磨损显微硬度万方数据质量称重实验工艺单工艺参数研究溅射功率对沉积速率影响溅射功率对表面粗糙度影响溅射功率对表面硬度影响溅射功率对晶体结构影响小结正交法多因素实验设计正交法简介正交实验工艺参数工艺参数对表面状况影响工艺参数对腐蚀性能影响小结多层结构改性层设计制备与研究多层结构改性层样品设计与制备多层结构,张玉梅,郭天文,李佐臣钛及钛合金在口腔科应用研究方向生物医学工程学杂志成艳,蔡伟,赵连浓度和值对合金腐蚀行为和离子析出影响材料工程杨君建骨损伤内固定植入物形状和结构与生物力学关系中国组织工程研究莱茵斯,皮特尔斯钛与钛合金北京化学工业出版社万方数据中国计量学院硕士学位论文张通和，吴瑜光离子束材料改性科学和应用北京科学出版社,叶康民金属腐蚀与防护概论第三版北京高等教育出版社,胡传炘表面处理手册北京北京工业大学出版社埃克托瓦薄膜物理学北京科学出版社,吴克勤薄膜生长北京科学出版社,谢婧,黎兵,李愿杰等射频磁控溅射法制备多晶薄膜及其性质物理学报罗联,林建国,翟甲友等含量及相结构对二元合金系腐蚀性能影响稀有金属快报尹胜,林建国,王文武等多孔合金制备及力学与腐蚀性能研究钛工业进展王彦波记忆合金显微组织,力学性能与腐蚀行为哈尔滨工程大学黄平摩擦学教程北京高等教育出版社‐‐‐‐喻利花,董师润,许俊华等和纳米结构多层膜超硬效应及超硬机理研究物理学报钱根苗材料表面技术及其应用手册北京机械工业出版社,万方数据中国计量学院硕士学位论文作者简历姓名施远驰性别男民族汉族出生年月籍贯浙江金华至中国计量学院应用物理专业，理学学士至今中国计量学院材料与物理专业，工学硕士攻读硕士学位期间学术论文施远驰,张高会溅射功率对微纳米膜性能影响机制研究真空科学与技术学报已录用,李根,张高会,徐鹏,乔宪武,于明州,施远驰,司平占种多层膜制备新方法中国计量学院学报,万方数据医用钛合金磁控溅射表面改性作者施远驰学位授予单位中国计量学院引用本文格式施远驰医用钛合金磁控溅射表面改性学位论文硕士硕士学位论文医用钛合金磁控溅射表面改性作者施远驰导师张高会教授学科材料物理与化学中国计量学院二〇四年三月万方数据,万方数据中图分类号学校代码密级公开硕士学位论文医用钛合金磁控溅射表面改性作者施远驰导师张高会教授申请学位工学硕士培养单位中国计量学院学科专业材料物理与化学研究方向钛合金表面处理二〇四年三月万方数据独创性声明本人声明所呈交学位论文是本人在导师指导下进行研究工作和取得研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过研究成果，也不包含为获得中国计量学院或其他教育机构学位或证书而使用过材料。与我同工作同志对本研究所做任何贡献均已在论文中作了明确说明并表示了谢意。学位论文作者签名签字日期年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解中国计量学院有关保留使用学位论文规定。特授权中国计量学院可以将学位论文全部或部分内容编入有关数据库进行检索，并采用影印缩印或扫描等复制手段保存汇编以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文复印件和磁盘。保密学位论文在解密后适用本授权说明学位论文作者签名导师签名签字日期年月日签字日期年月日万方数据致谢首先，我要感谢我导师张高会教授，在整个研究生阶段对我教导关心和帮助。从选题开题实验及论文撰写过程中，他监督和细心指导给了我很大支持。他严谨思维丰富理论严格要求都让我受益匪浅。感谢司平占老师余森江老师曾其勇老师乔宪武老师李根师兄对我实验和论文提出宝贵建议。非常感谢冯赫杨乐斌周曼王东方等朋友对我关心和支持，让我坚定信念，丝不苟。同时感谢材料学院老师们同学师弟师妹们对我帮助。今天论文顺利完成也离不开我家人，他们默默支持和关心是我最大精神支持，感谢他们为我默默付出。同时还要感谢那些直支持我和关心我人。施远驰年月万方数据医用钛合金磁控溅射表面改性摘要钛合金具有优良综合性能，被广泛应用于航空航天化工船舶制造汽车制造生物工程等领域。作为生物替代材料主要材料，钛合金以其很好生物相容性成为心脏人工瓣膜关节置换植入物心脏模拟器尿路重建等修复和替代材料首选。随着人类生活水平不断提高人口持续增长以及老龄化日趋严重，对生物医用钛合金材料需求也不断增加，“廉价安全健康寿命长”医用钛合金材料日益成为人们理想最佳选择。医用钛合金发展非常迅速，自世纪年代开始，纯钛等钛合金先后被开发应用，直到目前以为基体钛合金因具有较低弹性模量和高强度应用最为广泛。合金生物相容性好弹性模量最低且具有形状记忆效应，是最具开发潜力医用钛合金，其中日本开发合金强度高达，弹性模量为迄今最低，非常趋近于人骨弹性模量。然而钛合金加工工艺复杂成本高缺点制约了其快速发展。钛合金成本低，是现阶段使用量最大医用钛合金材料，但在体液中腐蚀释放离子离子和磨损产生颗粒都会危害身体健康。选择恰当表面改性方法提高耐磨性和耐腐蚀性能够在定程度上弥补缺点。本文提出采用磁控溅射技术在表面镀渗薄膜进行表面改性，在保留其机械性能优点前提下，提高材料耐腐蚀和耐磨性能。溅射工艺对薄膜性能具有决定性作用，其中影响较大有溅射功率溅射气压溅射时间偏压基底温度靶基距等。设计正交实验，发现溅射功率对薄膜耐腐蚀性能表面粗糙度表面颗粒大小等影响程度最大溅射功