,本相符。关键词太赫兹波超材料激光转印太赫兹谐振器电磁诱导透明分类号万方数据,万方数据,王文涛,刘建军,李向军等激光诱导和化学镀铜制备太赫兹线栅偏振器和滤波器光学学报万方数据中国计量学院硕士学位论文,雷刚数字光刻制作微光学器件评价研究南昌南昌航空大学,段茜数字光刻及其制作微光学元件模拟研究成都四川大学,王文涛超材料太赫兹波器件设计制备与性能测试杭州中国计量学院武东伟,刘建军,李化月等半导体激光诱导化学镀铜制备超材料太赫兹器件光学学报万方数据中国计量学院硕士学位论文作者简介姓名韩昊，性别男，民族汉，出生年月，籍贯河南扶沟。至中国计量学院电气工程及其自动化学士至中国计量学院检测技术与自动化装置硕士。参加项目国家自然科学基金资助号攻读硕士学位期间发表学术论文期刊论文韩昊，武东伟刘建军，洪治种太赫兹类电磁诱导透明超材料谐振器光学学报王文涛，刘建军，李向军，韩昊，洪治激光诱导和化学镀铜制备太赫兹波偏振器和滤波器光学学报武东伟，刘建军，李化月，韩昊，洪治半导体激光诱导化学镀铜制备超材料太赫兹器件光学学报万方数据激光转印法太赫兹波段超材料制备及谐振器研究作者韩昊学位授予单位中国计量学院引用本文格式韩昊激光转印法太赫兹波段超材料制备及谐振器研究学位论文硕士本相符。关键词太赫兹波超材料激光转印太赫兹谐振器电磁诱导透明分类号万方数据硕士学位论文激光转印法太赫兹波段超材料制备及谐振器研究作者韩昊导师洪治研究员学科检测技术与自动化装置中国计量学院二〇四年五月万方数据,万方数据中图分类号学校代码密级公开硕士学位论文激光转印法太赫兹波段超材料制备及谐振器研究作者韩昊导师洪治研究员申请学位工学硕士培养单位中国计量学院学科专业检测技术与自动化装置研究方向太赫兹波器件二〇四年五月万方数据独创性声明本人声明所呈交学位论文是本人在导师指导下进行研究工作和取得研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过研究成果，也不包含为获得中国计量学院或其他教育机构学位或证书而使用过材料。与我同工作同志对本研究所做任何贡献均已在论文中作了明确说明并表示了谢意。学位论文作者签名签字日期年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解中国计量学院有关保留使用学位论文规定。特授权中国计量学院可以将学位论文全部或部分内容编入有关数据库进行检索，并采用影印缩印或扫描等复制手段保存汇编以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文复印件和磁盘。保密学位论文在解密后适用本授权说明学位论文作者签名导师签名签字日期年月日签字日期年月日万方数据致谢时间如梭，转眼即将结束研究生学习生涯。毕业在即，回顾两年多来研究生学习和生活导师谆谆教诲家人关心和朋友支持，在此毕业论文完成之际，深表谢意！首先，衷心感谢我导师洪治研究员在日常生活中和学习上给予帮助与关心。从论文选题到具体实验，从文章摘要到最后结论，无不凝聚着他心血。洪老师严谨治学态度渊博知识敏锐洞察力善于把握主次能力深深影响了我，使我在今后工作和生活中找到了学习榜样。其次，衷心感谢太赫兹研究所刘建军老师李向军老师对我无私帮助和指导，给我课题进展提出了宝贵意见，共同探讨和解决了许多课题中困难。感谢师兄王文涛刘平安，师姐付秀华张蒙恩何雅兰赵容娇同门武东伟李化月夏燚师妹许英豪吴晓史同璐陈涛张慧丽，感谢他们在生活和工作中对我帮助包容和关心！最后，衷心感谢我父母哥哥。他们默默奉献，给予我巨大精神支持，使我能全身心投入到硕士课题研究工作中，使我始终有坚定勇气面对各种困难和挑战。向所有帮助和关心过我人们表示最衷心感谢，谢谢你们！韩昊年月万方数据激光转印法太赫兹波段超材料制备及谐振器研究摘要超材料是种由亚波长金属结构单元组成人工电磁材料。与自然材料不同，超材料可以通过调整器件单元结构实现预期电磁特性，可广泛应用于负折射电磁隐身电磁诱导透明等领域。近年来，随着太赫兹技术发展，基于超材料太赫兹波器件，特别是太赫兹超材料类电磁诱导透明谐振器研究逐渐成为热点，该类谐振器在非线性光学慢光光存储生物化学传感等领域有着广泛应用前景。本文设计研究了几种超材料太赫兹波段类电磁诱导透明谐振器。利用三维全波仿真软件对谐振器透射性能进行了数值模拟，并利用太赫兹时域光谱系统对制作谐振器件进行了性能测试。另外，超材料太赫兹器件目前主要采用光刻技术来制备，另外些新兴技术，如激光诱导和化学镀铜技术喷墨打印技术和激光转印技术等国际上也有些报道。我们对将激光转印技术用于太赫兹波超材料制备进行了实验研究。论文主要研究工作如下研究了利用激光转印技术制备超材料太赫兹波器件，该制备方法成本低工艺简单能灵活加工任意形状微金属结构。主要工作包括激光转印法超材料制备系统设计和实验搭建器件制备工艺研究。目前，我们已实验初步获得了微米级金属微结构单元，通过制备系统进步改进，有望用于太赫兹超材料制备。设计制备了种基于两个边长不同方形半环组合而成太赫兹波类电磁诱导透明谐振器，并利用和对该谐振器透射性能进行了数值模拟和实验测试。结果表明当入射电场垂直于两个半环间隙方向时，谐振器在范围内产生个类透射峰，该透射峰是由入射场激发反相表面电流使器件对入射场耦合作用减弱引起当电场平行于两个半环间隙方向时，该谐振器在范围内有两个谐振峰，两个透射峰都是由于入射场激发非对称电流干涉作用抑制了散射场而产生。数值仿真了该谐振器透射性能与其单元尺寸关系，结果表明线宽变化对该谐振器透射性能影响较大，半环间距和金属厚度改变对谐振器性能影响则较小。理论和实验研究了种由开口环和双金属线组合具有类电磁诱导透明效应太赫兹谐振器。分别对由单侧开口和双侧开口谐振环谐振器特性进行了仿真，并分析了开口环在结构单元万方数据中位置变化对谐振峰强度和值影响。结果表明，两个谐振器在附近谐振峰是由开口环谐振和双金属线偶极谐振干涉相消引起。开口环位置变化对单侧开口环结构谐振峰强度和值影响较大，而对双侧开口环谐振器影响则很小。利用激光诱导与化学镀铜技术制备了谐振器样品，并利用对器件进行了透射性能测试，测试结果与仿真分析基本相符。关键词太赫兹波超材料激光转印太赫兹谐振器电磁诱导透明分类号万方数据