1、配合控制也进行 了反复实验研究并不断进行了优化，对提高单晶生长成品率发挥了重要作用。 单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热 炉的相对移动速度是另个重要的技术参数因为熔体结晶的快慢与结晶潜 热的产生，正常传递密切相关，结晶速度控制不当，会严重干扰内加热炉所形 成的温度分布，进而影响单晶正常生长，本项目在对热场配置进行优化时，兼 顾了采用合适的结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉 可很好调整固液界面形状，这对生长不同晶向晶体降低位错密度，提高 成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状的控制是提高成品率的关键技 术。在水平单晶生长过程中，无法完全按器件制造所要求的晶向生长，即晶体生 长方向与晶片的晶向有定的夹角，这导致了水平单晶的切片，般都要 斜切因而切片技术难度较大，为使所切晶片上电学。
2、总数的， 具有中高级职称的人员为人，占员工总数的。全部人员中，中高层管理 人员人，占员工总数的，研发人员人，占员工总数的，销售人 员人，占员工总数的，生产人员人，占员工总数的，后勤人 员人，占员工总数的，人员构成合理。 企业负责人情况 管理人员黄松涛，公司法人，男，年出生，教授级高工。 年毕业于清华大学化工系，年在清华大学获工学硕士学位。现任 北京有色金属研究总院副院长，主管投资经营部条件保障部基建办公室物 业管理公司和兴友公司。曾任北京有色金属研究总院稀冶所所长开发经营部主 任基建办公室主任院长助理。 长期从事电池材料与有色金属冶金工作，取得多项国家和部级成果。其中锂 离子电池及其电池材料的研究及产业化获中国有色工业科技进步等奖黄 金洞金矿浮选工艺优化研究与应用获国家经贸委科技进步等奖。发表论文近 篇，获。
3、司有绝对 控股权，原有研总院该项目研发人员全部转入国瑞公司继续水平砷化镓项目的研 究与开发工作。目前企业拥有单晶生产系统台及相应的晶片加工切 片机磨片机划园机倒角机抛光机等性能检测设备。 本项目产品技术团队主要人员简况 姓名性别出生年月职务技术职称主要工作职责 为本产 品工作 时间 郑安生男总经理教授级高工 单晶生长晶锭加工技 术指导协调决策 邓志杰男 生产部 经理 教授级高工单晶生产管理和技术 王继荣男 生产车间主 任 教授级高工单晶生长管理和技术 武壮文男 生产车间副 主任 高级工程师 单晶生长技术管理和 新产品开发 王彤涵男质管部主任高级工程师 质量管理产品性能参 数测试 李超女 加工车间主 任工程师 工程师晶片加工及车间管理 于红国男 生产车间副 。
4、目全过程的能力。年以来先后主持国家 高技术研究项目两项，九五国家科技攻关项目项，国防科工委重大军工项 目两项，国家工程研究中心项目项，国家高技术产业化示范工程水平砷化镓 单晶片产业化项等，获部级成果四项。所述示范工程项目已被评为年 度有色金属工业科技进步等奖，已申报国家科技进步奖。 历年来，在国内外学术刊物发表论文余篇，出版专著半导体材料，化 学工业出版社，部，为相关工具书撰写词条译著等约万字。 郑总具有多年经营管理经验，对企业的发展和市场的把握有着敏锐的眼光和 长远的战略，公司在他的带领下，通过质量管理体系认证，企业获得河 北省高新技术企业证书，产品获得高新技术产品证书，国瑞公司近几年销售收入 总资产出口创汇呈现迅猛增长，年公司出口创汇万美元，占公司销 售收入的多。 企业新产品研发能力及内部管理体系 研发能。
5、完整 性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长的个较 严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但 碳易大量掺入晶体成为有害杂质，从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞 公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法，成为本公司项 独特的专有技术石英舟预处理技术,该项技术主要是在适当的溶剂中进行 热处理，它可保证在长达天的单晶连续生长中，熔体与舟不粘接，单晶生长 完成后，单晶顺利脱舟。 纵向温度分布技术 通过中高温热场的合理配置，提高晶片的纵向均匀性，有利于提高成品率。 本项目所设计的水平单晶炉是种多段式两温区炉，只有热场配置合理即温度梯 度合适才有可能生长出合格单晶，公司技术人员经过反复实验比较不断优化， 设计出了合理热场，优化了温度分布，为提高单晶生长成品率实现该工艺的产 业化创造。
6、利项，享受政府特殊津贴，兼任中国稀有金属学会钛锆铪学会主 任，中国电池工业协会常务理事，北京金属学会理事，美国电子电器工程师协会 高级会员。 技术负责人郑安生，公司总经理，男，年月出生，中共党员， 年毕业于兰州大学，材料科学硕士学位同年来北京有色金属研究总院工作至今。 历任研究专题组长国家半导体材料工程研究中心主任助理副主任，现任国瑞 电子材料有限责任公司总经理国家半导体材料工程研究中心副主任，兼任中国 电子材料行业协会光电子分会副理事长国家科学技术部秘密技术审查专家。年被聘为教授级高级工程师。具有系统坚实的专业理论知识和跟踪本专 业国内外科技发展前沿的能力，对ⅢⅤ族化合物半导体单晶材料制备有较深入 研究和独到见解，在国内同行中有较高知名度。掌握英日两种外语，能熟练运 用英语进行读写听说。 具备主持国家重点科研项。
7、数尤其是载流子 浓度均匀分布，固液界面也必须与生长方向成定角度。因为杂质主要是掺 杂剂的分凝是以固液界面为界线的，如果单晶生长过程中固液界面与生长 方向之间角度和所切晶片晶向与单晶生长方向之间角度不致，所切晶片上的载 流子浓度会形成浓度梯度，即得不到均匀分布，这会对在晶片上生长 外延材料及器件的成品率和性能造成不良影响。角度不致还有可能在晶体内部 出现热应力而导致晶体完整性差，使增大，从而降低成品率。国内外在水平 单晶研究开发中，多年来都是使用管状加热炉。因此，固液界面只能与生 长方向垂直，无法得到所需要的偏角。 管状加热炉除了无法得到所需偏角以外，还很难调制固液界面本身 的平坦度，由于砷化镓热导率相对较低，在采用管状加热炉的情况下固液 界面四周的热 盈亏平衡点产量销量 总固定成本 产品价格 单位变动成本。
8、 吨 当产量为吨时，达到盈亏平衡。 财务分析结论 由以上财务数据可见，本项目投资回收期较短，投资利润率投资利税率 内部收益率较高，当产品产量为吨时，即达到盈亏平衡。 社会效益分析 水平砷化镓单晶近年来大量用于红外和高亮度，是 目前生产量和需求量最大增长率最快的化合物半导体器件之。但是由于国内 没有生产该产品的企业，使国内企业对该产品的需求主要依赖进口。本项目的实 施，可以满足国内企业市场需求，替代进口产品，并可出口创汇。同时，本项目 的实施，将带动相关产业的发展，从而推动我国经济快速发展。总成本费用估算表 序号 年份 项目 投产期生产期合计 第年第二年第三年第四年第五年第六年第七年第八年第九年第十年 生产负荷 原材料及辅助材料 外购燃料和动力 工资及福利 摊销费用 修理费 折旧费 财务费。
9、掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天 熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试 工艺及设备的合理性和成熟性自行设计的单晶生长系统 本项目研发生产采用自行设计的水平砷化镓单晶生长系统，该生长系统在国 际上未见成型产品，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密的温控仪表 欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组 合，可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度，炉体移动速度 最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石 英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径 扩大不超过。 石英舟的预处理技术 单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的，因此首先要 解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利，不出 多晶孪晶。生长完成后，晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体。
10、又个有利条件。本项目中，单晶生长采用两步法，即先合成多晶然后再次备料生长单 晶，备好的多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两 温区炉高温区温度为。中温区为。这种加热结构既 得到所需的温度分布，又可抑制生长过程中的污染。 污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单 晶中。抑制污染的机理是 在合成和晶体生长中，高温区发生熔体中的与石英反应 分别表示液固气相。 反应使进入，反应使部分与反应生成气相 逸出，二者差值，造成中的并入。 高温区的气相扩散到中温区发生如下反应 反应消耗了，使反应向右继续进行，加剧了向中 的并入。反应与温度关系密切，如将温度升到以上，反应基 本停止，从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。 我们对多段炉的设计，各段炉温的单独控制及其协调。
11、强是本单位的固有优势，企业前身是北京有色金属研究总院化合物 半导体材料研究室。成立于年，从成立之日起就开始水平单晶研究， 年底研制成功国内第根水平单晶，先后承担多项国家科技攻关项目 和军工配套项目，取得国家及部级科研成果项，这些成果均达到国际上同类产 品技术水平或填补国内空白。年原国家计委选定北京有研总院组建国家半 导体材料工程研究中心，作为国家半导体材料工程化研发基地，加快了 单晶材料的产业化步伐。年在国内首次拉制重，加工直径英寸晶片 单晶，年建成了国内第个有台单晶生长系统的生产线， 年产单晶，使我国单晶年产量首次突破，我国单晶材料研究由长期实验室阶段向产业化迈出了第大步。国瑞电子材料有限责任公司 年月注册成立，由北京有色金属研究总院和有研半导体材料股份有限公 司共同出资组建。注册资金万元，有研总院占股份，对该公。
12、 管理费用 销售费用 总成本费用 其中固定成本 可变成本 经营成本 损益表 序号 年份 项目 投产期生产期 合计第年第二年第三年第四年第五年第六年第七年第八年第九年第十年 生产负荷 销售收入 销售税金及附加 总成本费用 利润总额 所得税 税后利润 盈余公积 可供分配利润现金流量表 序号 年份 项目 投产期生产期合计 第年第二年第三年第四年第五年第六年第七年第八年第九年第十年 生产负荷 现金流入 产品销售收入 回收固定资产余值 回收流动资金 现金流出量 固定资产投资 流动资金投资 经营成本 销售税金及附加 所得税 净现金流量 累计净现金流量 净现值 累计净现值第七章综合实力和产业基础 企业员工构成 企业目前拥有名员工，具有大专以上学历人，占员工。
参考资料：
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国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究报告.doc