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技术用的 工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺 研究并开始规模生产。
公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生产可以替 代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品的空白。
提升我国在该领域的 技术水平，打破国内外产品的垄断。
项目的主要内容创新点 项目的主要内容是电子级三氯氧磷在贵州实验室取得成功的 基础上进行电子级三氯氧磷的试产，以及对电子级三氯氧磷的包 装安全运输等进行研究，并推动其它高附加值磷化产品电子级磷酸 亚磷酸三甲酯等的系列化开发，创造出其有国内先进水平的技术或产品。
建设年产吨电子级三氧氧磷的生产线，达产后年产值万元以上。
项目产品可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池高纯化合物半 导体等工业。
产品生产技术处于国内先进地位。
项目技术的创新点在于从原材料开始严格控制各道工序的提纯及防止 杂质元素的二次污染，能有效的保证产品的质量，产品质量达到国际标准。
产品纯度高，稳定性好，达到国际标准，其单项杂质 最高含量为。
原材料可以是黄磷，也可以是红磷。
将塔板精馏器运用到三氯化磷的精馏中，可以将杂质元素从几十 个降到几个甚至零点几个。
原材料利用率高过程的废气废水容易处理。
研究的主要过程 可行性研究报告编制之前，项目组到现场认真仔细地落实了设计条件， 结合该公司所在的江苏经济开发区工业园区的实际情况，根据该 公司提供的设计基础资料，依据原化工部化工建设项目可行性研究报告 内容和深度的规定及国家有关规定编制了本报告。
研究结论 该项目技术较先进，设备可立足国内。
充分利用新招聘的技术人员管理人员及管理经验。
通过技术及财务评价看出，该项目可为高新技术企业产品附加 值高，可以为国家创造较好的经济效益和社会效益。
因此该项目的建设是 有意义的，项目是可行的。
第二章市场需求预测和拟建规模 项目产品市场调查与竞争能力预测 项目产品市场调查 项目产品可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池高纯化合 物半导体等工业。
产品生产技术处于国内先进地位。
目前，中小规模 上技术分立器阜生产厂家及晶体硅太阳能电池光纤制造厂家对于 级三氯氧磷的需求总量将达到吨年以上大规模集成电路英 寸晶圆，技书术及超大规模集成电路和英 寸晶圆和技术极大规 模集成电路英寸晶圆，技术生产线及厂家按月生产 万片硅片生产线平均需三氯氧磷千克月的用量计算，年需相当 于Ⅳ级大约在吨年的规模，并呈每年以上增长的态势三 氯氧磷国内外需求量国内吨年，国际吨年。
电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中的关键性 基础化工材料之，主要用于芯片的型掺杂，它的纯度和洁净度对集成 电路的成品率电性能及可靠性都有着十分重要的影响。
目前国际上从事 工艺化学品研发及生产的主要有德国的及公司占 全球市场份额的美国的公司占全球市场份额的， 公司占全球市场份额的，公司占全球市场 份额的日本的占全球市场份额的，占全 球市场份额的。
另外还有日本的关东株式会社住友合成德川三 菱，我国台湾地区的长春中华长新化学，韩国的等公司。
在技术方生产技术用的 工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺 研究并开始规模生产。
项目所需主要原材料为工业黄磷。
目前有黄磷生产企业家，黄磷生 产能力为万吨，实际产量已超过万吨位于全国第二位，黄磷供 应量足够满足公司生产所需并具有地域上的优势。
竞争能力预测 公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生产可以替 代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品的空白。
提升我国在该领域的 技术水平，打破国内外产品的垄断。
目前，国内尚无大规模的同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势 明显。
第三章产品方案及生产规模 产品方案 产品吨年高纯三氯氧磷 生产规模 高纯三氯氧磷生产规模为吨年 年生产天数天 项目的技术可行性和成熟性分析 项目产品检测情况 电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品的纯度已达到或超 过国际半导体设备与材料协会所制定的产品质量标准达到日本 公司和德国公司同类产品的水平。
电子级三氯氧磷经科技部西南信息中心进步确认，结论为国内来 见生产电子级三氯氧磷单项杂质不大子的文献报道，也未见采用本 工艺生产三氧氧磷的报道，故本项目具有新颖性。
工艺特点及与现有工艺比较所具有的优势 电子级三氯氧磷创新点论述 本项目创新点在于从原材料黄磷或红磷开始严格控制各道工 序的提纯及防止杂质元素的进入，能有效的保证产品的质量，产品质量达 到国际标准。
国内外工艺流程的对比 德国默克流程图 产品可达级。
国内生产企业 由于工艺技术设备材料的限制，产品顼级为级。
县化工有限公司工艺流程 产品可以达到级 黄磷 高纯 合成蒸馏 馏 合成精馏精馏 精馏精馏在千级超净环境下 在百级超净环境 下 工业级精馏 在通风厨里包装，包 装瓶用焰或乙炔 封口 精馏 工业级精馏净化包装升华回收 对行业技术进步的重要意义和作用 掌握核心技术，打破国外产品对我国的市场垄断 公司经过多年的研究开发已掌握了高纯黄磷电子级红磷电子级 三氯氧磷的核心技术。
目前，在我国微电子行业使用的电子级红磷和三氯氧 磷，几乎全部是美国日本德国等国家的产品。
项目成受性和可靠性论述 项目的成熟性和可靠性见附件用户使用报告和权威机构分析报告 技术方案 技术特点 电子级三氧氧化磷技术特点 本技术的创新点在于从基础原材料高纯磷开始严格控制各道工序 的提纯以及防止杂质元素的二次污染，能有效的保证产品质量的稳定性，保 证产品质量达到国际标准。
产品纯度高，稳定性好达到国际标准其单项杂质最高含量为 。
原材料可以是黄磷，也可以是红磷。
但其纯度必须为 三氯氧磷的精馏在石英塔板精馏器中进行，其设备便于保持蒸馏过程 的干净及使用后便于清洗。
④原材料利用率高过程无环境污染过程副产品稀盐酸和磷酸采用氢 氧化钠和生石灰中和处理。
产品包装要求条件高，必须在超净环境下进行。
第四章工艺技术方案 工艺技术路线 电子级三氯氧磷工艺技术路线 三氯化磷是合成三氯氧磷的过程品。
三氯化磷的生产必须以级的黄 磷或红磷为原料与经过处理的高纯氯气反应，主要包括氯气黄磷的生产 提纯分离蒸馏等操作单元。
得到的产品是生产三氯氧磷的原料。
用高 纯的三氯化磷为原料合成三氯氧磷，同样经过处理的氯气和符合标准的纯 净水合成。
此工艺成熟安全产率高且不污染环境，主要包括合成回流 蒸馏精馏过滤等操作单元。
得到的产品纯度高，稳定性好，达到国际 标准其单项杂质最高含量为。
产品可以达到级。
三氯氧磷生产工艺流程图 反应方程式 ， ↑ 三氯氧磷生产工艺流程图 合成合成合成 活性碳 回流工业黄磷 工业氯气 过滤 气化干燥干吸蒸馏吸附 精馏储存超净过滤 石英源瓶外包装 内包装 成品除油王水浸泡 超纯水洗超纯水洗 超净包装 超纯水 设备选型表 设备名称规格单位数量备注 高纯风柜台 尾气处理系统套 石英塔套美国制造 高纯适应配件耐高温套 高纯氯气处理 系统 套 高纯货架个 烘箱个 玻璃制品套 高纯四氟制品套 源瓶阀门套 源瓶产品包装套 软板 运输车箱式台 叉车台 纯水机组套 检验设备 气象色 谱仪等 套 黄磷提纯系统套 变压器台 产品原辅材料方案及拟建规模表 序号产品名称生产规模备注 三氯氧磷 盐酸或者氯化钠等副产品中和 原辅材料名称最大用量 液氯汽车运输 黄磷汽车运输 氢氧化钠汽车运输 石灰汽车运输 第章总论 项目名称及建设单位 项目名称 高纯三氯氧磷工程 项目建设单位 县化工有限公司 法人代表 项目主管部门 江苏经济开发区工业园区经济发展局 可行性研究编制的依据和原则 编制依据 县化工有限公司提供的设计基础资料。
化工建设项目可行性研究报告内容和深度的规定修订本。
编制原则 项目技术和设备立足国内。
节约用地，节省基建投资，加快建设进度。
主体工程与环境保护安全和工业卫生消防同时考虑，以消除 工厂生产对周围环境及职工健康的影响。
优化设计方案，提高企业经济效益和社会效益。
贯彻工厂布置体化，生产装置露天化，建构筑物轻型化，设备 技术国产化的原则。
设计中遵守国家法律法规及有关标准规范。
项目提出的背景投资必要性和经济意义 企业概况 核准通过，归档资料。
未经允许，请勿外传，县化工有限公司是县人民政府招商局招商引资项目。
该公司 自立项以来直得到县政府江苏经济开发区工业园区管委会 的大力支持和协助。
该公司各项工作进展顺利。
项目提出的背景 随着经济的迅猛发展。
以微电子计算机通讯和网络技术为代表的 信息技术，是现代科学进步中发展最快渗透性最强应用最广泛的关键 技术现已成为世界各国科技经济军事政治竞争的焦点，成为各国 综合国力较量的个重要方面，加快信息产业的发展，早已成为我国的 项重要国策。
近年来，由于我国国民经济持续健康发展，尤其是电子信 息产品的巨大需求，吸引了世界上些著名企业和太阳能电池生产厂商 对中国大陆的投资。
目前我国已初步形
高纯三氯氧磷工程项目立项可行性分析
