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A0总装图.dwg
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A2X轴方向微调机构.dwg
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A2Z轴方向调节机构.dwg
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A2仰角调节机构.dwg
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A3 导轨.dwg
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A3横向齿条.dwg
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A3横向调节杆.dwg
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A3立式支架.dwg
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A3联接套.dwg
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A3器件保持架(手工图).dwg
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A3图纸 支盖架.dwg
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A3图纸 纵向支架.dwg
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A3轴盖.dwg
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任务书.doc
（其他）
四维微调工作台结构设计说明书.doc
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四维微调工作台总装图.dwg
1、火。前者硬度为,后者硬度。初选齿轮齿条基本参数根据设计要求传动精度高，尺寸空间小，使用类比法，初选齿轮的模数，齿数，压力角。则分度圆直径。又根据机械原理，为满足齿轮齿条能正确的啮合且能连续传动，齿条的模数，压力角。依据轴方向运动的范围，并考虑整个机构的对称性，齿条的理论长度应为。而齿距，.则齿条的齿数，.取。为了满足行程条件及齿轮齿条的完整啮合，应齿数上留有余量，初定此条的齿数。所以齿条实际啮合的长度。圆整取强度的校核接触强度校核接触强度校核的基点是齿轮节点处的计算接触应力应不小于其许用的接触应力。即.或接触强度计算安全系数应小于接触强度的最小安全系数。即.此设计的齿轮采用第种方法校核。根据赫茨公式，可以导出。
2、的设计.本章小结第章示数装置的设计.示数装置设计要求.示数装置的分类.轴方向粗调示数装置的设计类型的选择标尺与指针的选择分度尺寸的选择.轴微调示数装置的设计设计原理设计计算.本章小结结论参考文献致谢第章绪论.课题背景及研究意义随着科学技术的发展，在电子光学机械制造等众多技术领域中迫切需要高精度高分辨率能够灵活控制的微动系统用以直接进行工作或配合其它仪器设备完成高精度的定位和测量。正是这种需要极大地促进了高精密定位和测量技术发展。高精度和高分辨率的超精密工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。它直接影响精密超精密切削加工水平精密测量水平及超大规模集成电路生产水平。同时,它的各项技术指标是。
3、的重视。日本东京工大研究的精密工作台的定位精度达到，韩国汉城大学研制的宏微结合的行程精密工作台，以激光干涉仪作为位置反馈元件，定位精度达到。这类叠加式宏微组合的精密工作台，更具有实用性，现已成为研制大行程精密定位技术的热点。英国的国家物理研究所所研制的微形貌纳米测量仪器的测量范围是.。美国些大学在电子行业和计算机行业的些大公司支持下,开展了纳米精度的位移测量和定位工作的研究,也取得了令人瞩目的成就。.直线电机式超精密工作台东京工业大学研制了具有纳米级分辨率的维直线电机驱动超精密工作台。它采用气浮导轨导向，行程,导轨的垂直刚度，水平刚度。工作台重.，全部采用氧化铝陶瓷材料。直线电机驱动力,最大加速度.,最大速度。
4、度的工作台系统和大行程高精度的工作台系统。小行程极高精度工作台大多采用压电元件或电磁元件作为驱动装置。行程多在数十微米的范围内，但位移分辨率可高达。大行程高精度工作台是指行程达毫米级以上，但定位精度略低于小行程系统的工作台系统。它大多采用直线电机或摩擦式驱动方式，运动分辨率大多在左右。微调工作台的驱动方式摩擦传动具有正反空程小传动平稳噪声小等优点，适合精密定位。其不足之处是负载能力小，不能够产生太大的驱动力，否则传动过程容易产生打滑现象，因此限制了摩擦驱动的应用范围。与传统机床进给驱动相比，直线电机驱动具有以下优点省略了中间转换机构，减少了机械磨损，系统运行时可以保持高增益，实现精确的进给前馈，对给定的加工路。
5、转动调节架防转调节杆，以及连接螺杆水平转动套转轴套组成。当进行大角度粗调时，放松防转调节杆，装置以水平支架可进行度的大范围调节。当角度选定时锁紧防转调节杆，然后调节水平调节杆进行水平方向小角度的调节。该角度调节的精度主要依靠水平调节杆螺纹的精度，即螺纹每旋转周的导程。垂直仰角调节机构如图.，垂直仰角和水平转角的调节原理基本相似，垂直仰角调节机构的主要部分由立式支架垂直调节片垂直压紧簧套器件保持架垂直止推杆垂直调节杆组成。当需要对垂直仰角进行调节时，转动垂直调节杆进行垂直方向上的小角度的调节。该垂直角度调节的精度主要依靠垂直调节杆上螺纹的精度，即螺纹每旋转周的导程。图.水平转角调节机构图.垂直仰角调节机构.本章。
6、各国高技术发展水平的重要标志。.国内外研究现状大行程超精密工作台主要的类型有直线电机式驱动摩擦式驱动，也有采用两级进给的方式，即采用粗动与精动两套系统，以同时兼顾大行程高响应速度和高定位精度。高精度和高分辨率的超精密工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。它直接影响精密超精密切削加工水平精密测量水平及超大规模集成电路生产水平。同时，它的各项技术指标是各国高技术发展水平的重要标志。超精密工作台系统的定位精度和行程范围直接影响生产加工的精度。同时，工作台的速度加速度及启停过程的稳定时间则影响设备的效率，成为系统的重要指标。这些次定位的精密工作台系统可以按精度高低和行程大小分为两类小行程极高。
7、接触应力基本值的计算式.式中，节点区域系数弹性系数重合度系数螺旋角系数分度圆上的名义切向载荷最小工作齿宽齿轮的分度圆直径齿数比。根据接触应力的基本值，再乘以四个与负载有关的修正系数，即可获得计算接触应力。即.式中，使用系数动载系数接触强度计算的齿向载荷分布系数接触强度计算的齿间载荷分布系数。而许用接触应力可依据试验齿轮的接触疲劳极限接触强度计算的最小安全系数及六个修正系数确定。即.式中，接触强度计算的寿命系数速度系数粗糙度系数工作硬化系数润滑剂系数接触强度计算的尺寸系数。综上所述，查现代机械传动手册，对于标准直齿轮，取查表知.对于直齿轮.式中，端面重合度。根据齿数和模数查表知.则螺旋角系数.根据各零件的初估重。
8、量及滑动导轨的摩擦系数，取，。则.初选齿轮的齿宽，齿条的齿宽。则因为齿条的分度圆直径为无穷大，.所以据式.，可得又查表知使用系数动载荷系数接触强度计算的齿向载荷分布系数，据齿轮的布置为对称布置.式中，为齿宽系数为齿宽。取由式.，计算有接触强度计算的齿间载荷分布系数所以由式.，根据齿轮的材料查表有接触疲劳极限接触强度计算的最小安全系数因的精确定量较为四维微调工作台结构设计摘要微调,工作台,结构设计,毕业设计,全套,图纸目录摘要第章绪论.课题背景及研究意义.国内外研究现状微调工作台的驱动方式国外研究现状我国的研究现状.微调精密定位工作台的发展前景.系统组成及工作原理.本文的主要工作第章四维微调工作台的总体方案设计。
9、四维微调工作台结构设计摘要节机构的主要部分由轴盖锁紧螺钉直槽螺套立柱螺杆轴套组成。直槽螺套相当于螺母，立柱和螺杆的组成相当于螺杆，轴套是为了防止螺杆的转动，从而实现立柱在轴方向上的平稳运动，轴盖是为了防止直槽螺套的上下窜动。当转动直槽螺套时，螺杆会沿着旋转螺套内的螺旋槽螺旋上升，但由于轴套的限制而消除了立柱和螺杆螺旋上升中的转动，只剩下在轴方向上的平动，从而实现了在轴方向上的上下调节。当调好高度时，可用锁紧螺钉加以固定。为保证达到设计精度要求直槽螺套内螺旋上升的螺旋槽的高度不小于，并且保证螺旋槽内壁的光滑整洁。图.方向调节机构水平转角调节机构如图.，水平转角调节机构的主要部分由水平支架水平止推杆水平调节杆水平。
10、小结本章主要对微调工作台的整体设计进行了初步设想，确定了工作台的基本尺寸和主要参数，叙述了工作台的用途结构特点机体主要材料的选取及工作台的导轨形式的选择。还从四维微调工作台的方向粗调方向微调方向粗调方向调节水平转角调节垂直仰角调节六大调节机构对四维微调工作台的组成及工作原理进行了详细而系统的阐述。使四维微调工作台的整体设计具体结构设计确定下来。第章四维微调工作台的结构设计.微调工作台的传动设计计算轴方向粗调结构设计.参数的选择和计算精度的选择微调工作台属于精密机械，齿轮齿条传动速度低，精度高，选定精度为级。材料的选择查机械传动设计手册，根据使用要求，选用齿轮的材料为号钢渗碳后淬火，齿条的材料选用号钢调质后表面。
11、径可以用高速进行准确跟踪，从而保证了机床的高精度和使用寿命。运行时，直线电机不像旋转电机那样会受到离心力作用，因此其直线速度不受限制。直线驱动的惯性主要存在于滑台，因此加工时可以有很高的加速度。直线电机靠电磁推力驱动，故系统噪声很小，改善了工作环境。过去应用直线电机驱动主要集中在高速进给领域，利用了它可以有很高的加速度和运行速度的优点，但随着电机技术的发展，直线电机驱动开始向精密定位发展，如日本研制的几款超精密工作台都应用了直线电机驱动。与传统的进给方式相比，在精密定位领域，直线电机驱动拥有更广阔的应用前景。国外研究现状目前，国外在精密定位技术方而的研究成果较多，世界上各发达国家对高精密技术的发展都给予了足够。
12、微调工作台的结构设计及特点机身结构设计应满足下列要求四维微调工作台的设计特点.微调工作台机体主要材料的选择.微调工作台导轨设计形式的选择.四维微调工作台的组成及工作原理方向粗调机构方向微调机构方向粗调机构方向调节机构水平转角调节机构垂直仰角调节机构.本章小结第章四维微调工作台的结构设计.微调工作台的传动设计计算轴方向粗调结构设计轴方向的粗调机构设计轴方向的粗调机构设计轴方向微调机构设计仰角调节机构设计.导轨的设计作用力方向和作用点位置对导轨工作的影响分析导轨主要尺寸的确定导轨的误差分析.弹簧的设计轴方向微调机构的弹簧设计绕轴旋转微调机构的弹簧设计仰角调节机构的弹簧设计.微调工作台的支撑和基座设计支承的设计基座。
参考资料：
（答辩稿）四维微调工作台结构设计（CAD图纸+DOC论文）