度与拉速，使得晶体直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度不断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固定部分称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。等径结束后，必须将晶棒直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完晶棒被升至上炉室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒生长过程。硅棒准备圆棒切方硅片清洗烘干硅片脱胶取样线锯切片晶棒粘接滚磨准方棒腐蚀或超声清洗成品测试入库拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。断头尾目是切除单晶硅棒头部尾部及超出客户规格部分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理长度。测试取样测试氧碳含量及电阻率等。圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角圆弧滚磨光滑。超声波清洗将方棒清洗干净。晶棒粘接将准方形单晶硅棒粘接在专用工作台上。线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片，切片结束后，从多线切片机卸下工作台。硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。样片测试测试合格，包装入库。产品目标市场本项目产品全部内销。主要设备选型主要设备仪器选择本项目工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究发展前提下，选择性价比高工艺设备。主要设备和仪器本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套，共计万元。其中进口设备仪器台套，进口费用万元国产设备仪器台套，费用万元。详细各期设备清单如下表期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机日本切片机日本全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表二期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切片机全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表二期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测提供冷源。蒸汽及空调热水系统本项目蒸汽主要为空调系统纯水系统等提供热源。自来水系统生活用水人升人天生产用自来水纯水站补水冷却水补水洗涤塔补水采用纯水站浓缩水，不消耗自来水消耗量最大使用量约新鲜水年消耗量约万水源与水池本项目水源来自开发区市政给水管网。场区内设置生产消防水池和冷却水池，供消防及生产使用。生活水水源直接取自开发区市政给水管网。消防系统消防水量消火栓给水系统室内外消火栓给水采用独立临时高压系统，由消防蓄水池电消火栓加压电泵高位消防水箱消火栓管网和室内外消火栓组成。消防蓄水池采用地下式钢筋混凝土水池消火栓泵采用消防专用泵，为自灌式吸水。除消防水箱设在最高处屋面上，其余设备均设于地下水泵房内。平时室内外消火栓给水管网压力由消防水箱保证，消火栓泵可以就地启停，也可在消防控制中心手动启停，同熔体中，然后将籽晶快速向上提升，使长成籽晶直径缩小到定大小，产生零位错晶体，这样，长完细颈之后，降低温度与拉速，使得晶体直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度不断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固定部分称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。等径结束后，必须将晶棒直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完晶棒被升至上炉室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒生长过程。硅棒准备圆棒切方硅片清洗烘干硅片脱胶取样线锯切片晶棒粘接滚磨准方棒腐蚀或超声清洗成品测试入库拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。断头尾目是切除单晶硅棒头部尾部及超出客户规格部分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理长度。测试取样测试氧碳含量及电阻率等。圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角圆弧滚磨光滑。超声波清洗将方棒清洗干净。晶棒粘接将准方形单晶硅棒粘接在专用工作台上。线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片，切片结束后，从多线切片机卸下工作台。硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。样片测试测试合格，包装入库。产品目标市场本项目产品全部内销。主要设备选型主要设备仪器选择本项目工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究发展前提下，选择性价比高工艺设备。主要设备和仪器本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套，共计万元。其中进口设备仪器台套，进口费用万元国产设备仪器台套，费用万元。详细各期设备清单如下表期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机日本切片机日本全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表二期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切片机全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表二期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表三期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切片机全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表三期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计配套工程设计方案总平面布置本项目采用次规划，分期实施原则建设，总规划用地亩，总建筑面积平方米。其中期工程用地亩，总建筑面积平方米，位于规划用地东侧二期工程用地亩，总建筑面积平方米，位于规划用地中部三期工程用地亩，位于规划用地西侧，总建筑面积平方米。项目用地内设置个出入口，其中主入口位于期用地北面，为主要人流出入口，另外四个出入口分别位于三块用地交界路上，为主要货物出入口。在厂房四周设计环形道路，供消防和物流使用。综合楼等相关生活设施位于用地西南角，与生产设施相对隔离。变电站位于期用地西北角，靠近市政供电线路。废水处理站位于二期用地西北角，靠近黄太路，离主要废水排放点洗料厂房和切片厂房较近，便于废水就近排放和综合治理。各期分设动力中心动力站及水池，并靠近各期负荷中心，节约能源。综合仓库位于二期用地东侧，靠近主要物流出入口，且与生产车间较近，有利于物料传输。土建主要建筑物洗晶车间栋洗晶车间为单层钢筋混凝土框架结构建筑，层高米。长，宽。单晶厂房栋单晶厂房均为二层钢筋砼框架结构，钢筋混凝土屋顶，层层高米，二层米建筑火灾危险类别为丁类层主要为单晶炉下半部分以及变压器泵等，建筑面积为主生产区层为单晶炉炉体放置区，二楼为单晶炉上半部分操作区。除生产区外，还布置有生产管理更衣，以及生产配套空调机房车间变配电等。另外，车间还考虑有般物品库，包括暂存间物料入口等，以利于物料传输暂存。切片厂房及仓库栋切片厂房及仓库为单层钢结构厂房，层高米建筑火灾危险类别为戊类，其中两栋建筑面积为，另外栋建筑面积为主生产区放置开方切片清洗等生产设备。除生产区外，还布置有生产管理更衣，以及生产配套空调机房车间变配电等。另外，车间还考虑有般物品库，包括暂存间物料入口等，以利于物料传输暂存。动力厂房动力厂房为单层钢筋砼框架结构，钢筋混凝土屋顶，层高米建筑火灾危险类别为戊类主要包括变电站冷冻机空压机等纯水站控制室和值班室等，建筑面积为。办公综合楼及宿舍办公综合楼为五层，总建筑面积。宿舍设置栋，为六层，每栋总建筑面积。其它其它辅助建筑如门卫岗亭氩气罐区高压变电站甲类库化学品库综合仓库砂浆回收和废水处理设施等。建筑服务系统空调及采暖系统单晶厂房生产区硅料处理车间切片厂房综合楼各建筑辅助办公室等区域设置空调，温湿度要求为，系统采用新风机组诱导风机使气流均匀。通风排烟系统单晶厂房部分辅助房间硅料处理车间等设置全室通风，通风方式为机械进风变配电站泵房空压冷冻站设置全室通风，根据房间不同风量设置相应通风机各建筑辅助办公室等设置卫生通风，满足卫生要求卫生间设全室通风，各主要生产区设置局部通风系统。冷冻水系统在动力厂房内设置低温水冷离心式冷冻机组，使用冷媒为空调系统冷却水系统等设施提供冷源。蒸汽及空调热水系统本项目蒸汽主要为空调系统纯水系统等提供热源。自来水系统生活用水人升人天生产用自来水纯水站补水冷却水补水洗涤塔补水采用纯水站浓缩水，不消耗自来水消耗量最大使用量约新鲜水年消耗量约万水源与水池本项目水源来自开发区市政给水管网。场区内设置生产消防水池和冷却水池，供消防及生产使用。生活水水源直接取自开发区市政给水管网。消防系统消防水量消火栓给水系统室内外消火栓给水采用独立临时高压系统，由消防蓄水池电消火栓加压电泵高位消防水箱消火