当芯片线宽由原来的减小到时，会出现镀 膜中的向片的原子扩散现象，为改变此现象，芯片镀膜工艺上 就采用了来作为防止向扩散的阻挡层材料，从而也使得溅 射靶材由原来的系列向系列发展，这也是半导体芯片镀 膜技术发展的必由之路，因此，半导体溅射用高性能钽靶材及环件产 品，就成为了计算机芯片镀膜的关键耗材之。 溅射用高性能钽靶材及环件的制备技术目前世界上只有美国和 日本两国拥有，与其相关的技术也极为保密，世界各地的溅射机台用 高性能钽靶材及环件也都由这两国提供，包含出口给中国。 钽业四分厂车间从年开始，进行高性能钽靶材内部组织 控制技术的研究和钽环件制造技术的研究，经过两年多的艰苦摸索， 已掌握了该技术。自年开始，分厂逐渐以高性能钽靶材坯料产 品的形式出口，并且此类产品成为了分厂主要产品之。年， 钽靶材扩散焊技术获得突破，同时型钽靶材加工制造 技术也获得突破，从而使我们现在也具备了加工高性能钽靶材和钽环 件成品的技术基础和能力。 年，我分厂生产加工成品钽靶材及环件套，各项检测指 标均达到客户要求，其中套成品靶材在上海先进材料公司进行上机宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 试验，试验结果同该公司使用其他供应商提供靶材使用结果致。 随着中国半导体制造产业的发展，国内对高性能钽靶材及钽环件 的需求也越来越大，目前国内市场的高性能钽靶材和钽环件全部依靠 进口，其中有部分成品钽靶材和钽环件的原材料坯料由我们提 供，这类产品的基本模式为宁夏生产钽坯料低价格出口到美 国美国完成成品加工出售给中国或其他国家芯片制造厂高价 格。这种模式不但增加了中国半导体行业的生产成本，更重要的是 严重阻碍了中国半导体行业的自主研发能力。所以，我们进行高性能 钽靶材和钽环件的成品加工，不但可以提升我们企业的技术水平，增 加利润，增强抵御市场的风险能力，完善钽材加工产业链，还可以为 中国的半导体产业发展提供坚实的材料基础，意义重大。 项目必要性 产品技术附加值大幅提高。 以同种型号靶材和环件市场价格举例出口块钽靶材坯料，售 价约块，而块成品钽靶材的售价是块出口套钽 环件散件，售价约套，而套成品钽环件的售价是套。 提升企业形象，稳定世界三强地位。 项目有限公司项目管理 取得的技术突破 化学成份和力学性能均符合标准，其中 纯度 晶粒度控制在之间，并且均匀致 再结晶度 平整度 粗糙度 结晶取向在厚度方向呈织构。 市场情况 通过该项目的研究，已确定出合理科学的溅镀膜用高性能钽靶材 生产工艺，产品质量执行美国哈尼威尔公司 标准，技术水平达到国际先进。制定了企业标准钽铌 靶材表面质量检测标准。产品已得到等国内外用 户的认可，填补国内空白。 产品质量得到等国际上大的半导体靶材提供商的认证，质量 稳定可靠，已形成批量销售。详细销售情况见表所有钽靶材 表年至年月钽靶材销售表 溅射钽环件生产工艺研究 溅射钽环件生产工艺研究年立题，年完成阶段性 成果，即完成溅射钽环件坯料的制备工艺研究。 取得的技术突破 项目时间合计 重量 销售额万元宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 溅射钽环件用钽条晶粒尺寸在，并均匀致 溅射钽环件用钽条同板差小于 溅射钽环件用钽凸结体的加工工艺，采用压力成型及精加工工 艺，保证钽凸结体对尺寸公差及形位公差的要求。 市场情况 产品研发成功后，产品质量得到国外多家用户认可，形成批量销 售。详细销售情况见表，表 表年至年月钽条销售表 项目时间合计 重量 销售额万元 表年至年月钽环件销售表 项目时间合计 重量 销售额万元 高性能能钽靶材和钽环件成品加工技术基础 通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材成品加工工艺研究和 公司科技攻关项目型钽靶材生产工艺研究溅射钽环件生产工 艺研究，获得成品钽靶材型钽靶材和钽环件的加工工艺。具体 取得的成果分述如下 高性能钽靶材成品加工工艺研究 取得的技术突破 钽靶材和铜铜背靶的扩散焊接技术，焊接结合率大于，结 合强度满足要求宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 成品钽靶材的机加工艺，产品尺寸及形位公差满足用户要求 成品钽靶材表面铝热喷涂工艺 成品钽靶材的清洗工艺。 靶材坯料成品靶材 市场情况 成品钽靶材工艺技术突破后，经多次工艺试验及改进，对靶材进 行破坏检测，各种检测指标都合格。成品靶材有块已经得到上海先 进材料公司上机测试，测试结果同国外提供的钽靶材结果致。现在 正在积极推进在其他的半导体公司进行上机测试。 型钽靶材生产工艺研究 取得的技术突破 型钽靶材坯料制备工艺保证拉深后内部组织 型钽靶材拉深工艺 型钽靶材机加工艺 型钽靶材焊接工艺。宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 靶材坯料同规格铜型靶材 市场情况 型钽靶材目前在国内没有应用，我们的图纸来源于公司， 他们希望我们加工成品提供，由于我们没有关键设备，前期试验都在 外协加工，工艺不稳定成熟，所以没有给用户提供样品。 溅射钽环件生产工艺研究 溅射钽环件生产工艺研究在年取得阶段性成果后，由 于市场的原因，课题在终止年后，于年完成总体工艺的研究。 取得的技术突破 钽环件内外表面滚花工艺，获得菱形花纹，并均匀 钽环件端头滚花工艺，获得菱形花纹，和表面花纹致 钽环件和钽凸结体焊接工艺，焊接满足标准 清洗喷砂工艺，满足美国应用材料公司标准。 钽棒和钽条成品钽环件 目录 项目的意义和必要性„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 项目意义„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 项目必要性„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 二项目的技术基础„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 高性能钽靶材和钽环件用坯料制备技术基础„„„„„„„ 高性能钽靶材和钽环件成品加工技术基础„„„„„„„„ 取得的专利情况„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 三建设方案„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 项目规模及主要内容„„„„„„„„„„„„„„„„„ 实施的工艺路线„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 建设工期和进度安排„„„„„„„„„„„„„„„„„ 四项目投资„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 总投资规模„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 投资使用方案„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 五经济效益分析„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 成本计算„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 产品预计销售价格„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 盈亏平衡分析„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 项目完成后可实现新增产值„„„„„„„„„„„„„„ 六市场切入情况„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 目前计划切入的市场基本情况„„„„„„„„„„„„„ 核准通过，归档资料。 未经允许，请勿外传,宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 销售策略„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 合作销售商简介„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 希望推进的使用商简介„„„„„„„„„„„„„„„„ 切入市场价格情况„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 七安全与环境评价„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 八项目风险分析„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 附件主管部门签字„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 附件靶材厂房规划平面示意图„„„„„„„„„„„„„„ 宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 项目的意义和必要性 项目意义 随着半导体技术的不断进步，计算机芯片集成化程度越来越高， 当芯片线宽由原来的减小到时，会出现镀 膜中的向片的原子扩散现象，为改变此现象，芯片镀膜工艺上 就采用了来作为防止向扩散的阻挡层材料，从而也使得溅 射靶材由原来的系列向系列发展，这也是半导体芯片镀 膜技术发展的必由之路，因此，半导体溅射用高性能钽靶材及环件产 品，就成为了计算机芯片镀膜的关键耗材之。 溅射用高性能钽靶材及环件的制备技术目前世界上只有美国和 日本两国拥有，与其相关的技术也极为保密，世界各地的溅射机台用 高性能钽靶材及环件也都由这两国提供，包含出口给中国。 钽业四分厂车间从年开始，进行高性能钽靶材内部组织 控制技术的研究和钽环件制造技术的研究，经过两年多的艰苦摸索， 已掌握了该技术。自年开始，分厂逐渐以高性能钽靶材坯料产 品的形式出口，并且此类产品成为了分厂主要产品之。年， 钽靶材扩散焊技术获得突破，同时型钽靶材加工制造 技术也获得突破，从而使我们现在也具备了加工高性能钽靶材和钽环 件成品的技术基础和能力。 年，我分厂生产加工成品钽靶材及环件套，各项检测指 标均达到客