十五重大 技术专项国家集成电路光刻设备项目等任务。 公司现有占地面积平方米，已建建筑和目前另设项目正在建设的 新建工业中试研发楼建筑面积合计平方米。 公司现有职工人数约人，其中具有中高级技术职称的技术人员和管理人 员约人，技术工人约人。 项目建设背景和必要性 高端光刻机是微电子装备中系统最复杂技术难度最大单台价值最高国 外限制最严的关键设备，目前世界上仅有荷兰和日本等少数国家具备制造高端光 刻机的能力，且仅有三家公司制造高端光刻机。 高端光刻机融合了精密光学精密机械精密控制计算机软件精密测量 特种材料微环境控制等科技领域的最新成就，代表了高科技制造领域的最高水 平。 自成立以来，直致力于大规模工业生产的投影光刻机研发生产 销售与服务，公司产品可广泛应用于制造与先进封装 等制造领域。公司自主研发的首台高端封装步进投影式光刻机已经交付客户使 用，成为国内唯的家具备步进投影式光刻机研发制造集成调试能力的 企业，也是世界上为数不多的掌握此类产品开发制造的企业之。 是场所均安 装自动喷淋系统各层均设室内消火栓保护各机房走廊和固定人员值班场所， 按规范要求配备手提式灭火器。 厂区内已建有消防泵房，本项目的室内外消火栓由原消防泵房内消火栓泵供 应稳高压，无需另设屋顶水箱，项目室内喷淋系统通过原消防泵房内的喷淋 泵供应稳高压，无需另设屋顶水箱。 空调净化和通风 千级洁净室气流组织采用上送下侧回，万级洁净室气流组织采用上送上回。 各层车间内采用风冷热泵空调系统，室内机为吊顶式空调处理机组加高效过滤 器，室外机放置于车间屋面新风采用新风处理机组，与吊顶式空气处理机组共 用室外机，新风由新风机房外侧墙百叶引入。 生产辅助区域和行政生活区域采用变频多联空调系统，室内机为四面出风式 空调，室外机放置于屋面，新风采用全热交换式换气机，新风由侧墙百叶引入。 车间内安装集中排风系统，排风机安装于车间屋顶。卫生间按次小时换 气次数设计机械排风，采用排风扇将空气排至室外。 电气 预计新建厂房内未来可能的工艺测试和研发设备用电量约，其他 包括照明插座，空调净化和动力，给排水系统，新建厂房 预计用电量。项目用电由公司现有系统提供。 低压配电采用树干式与放射式相结合的形式，干线电缆沿桥架敷设，引至配 电箱时局部穿钢管保护。 车间行政生活区生产辅助区均采用嵌入式雾面隔栅荧光灯具在主要出 入口及主要通道设疏散指示及诱导照明，应急放电时间不小于分钟。 消防 厂区内主要单体建筑四周均设有环形消防车道，建筑之间的距离均控制在 米以上。 设室内外消火栓系统和室内自动喷淋系统，消火栓及喷淋给水系统为与生活 供水系统分开的系统，消防系统采用稳高压给水系统。消防泵房为厂区内现 有，消防设备为双电源供电，消防水泵日常为电动泵做为应急备用。 室内设应急照明，应急照明灯具内自带蓄电池，应急时间不小于分钟。 在建筑的主要出入口处疏散走道楼梯间设置诱导标志灯作为疏散照明，其地 面照度值不低于，疏散路线上的诱导标志灯带方向指示，出口的诱导标志灯 安装在门的上方，诱导标志灯带蓄电池，应急时间不小于分钟。 空调净化系统的风管采用不燃材料镀锌钢板制作。冷热水的保温材料采用难 燃闭孔橡塑海绵材料凝结水管道的保温材料采用不燃离心玻璃棉保温管壳。 风管穿越防火分区隔墙处穿越空调机房隔墙或楼板处垂直风管与每层水 平风管支接处等均设防火阀，并与该系统的风机联锁，防火阀关闭则风机停运， 防火阀也可根据消防中心发出的信号动作。防火阀可在度时自动关闭。 厂房生产车间设置排烟系统，排烟量按照每平方米立方米小时设计靠 外墙的房间采用自然排烟，设置不小于房间面积的可开启外窗。 环保 本项目不涉及生产工艺，其影响环境的主要因素为生活污水固体废料和 废物工业噪声等各种污染。 目录 申报单位概况 项目建设背景和必要性 项目建设地点 工程建设方案 消防 环保 劳动安全和职业卫生 节能措施 工程实施计划 投资规模和资金筹措 项目主要指标 核准通过，归档资料。 未经允许，请勿外传, 需要说明的内容 申报单位概况 申报单位 企业名称 企业性质 有限公司 公司地址 上海市浦东 法人代表 注册资金 公司注册资本万元人民币。 公司经营目的经营范围和主导产品 公司主要从事微电子装备的开发设计制造销售及技术服务，经营本企业自 产产品的出口业务和本企业所需要的机械设备零配件原辅材料的进口业务。 经营期限 经营期限自年月日至年月日 建设单位简介 以下简称公司，成立于年月，是由上海电气集团总公 司上海科技投资公司上海工业投资公司等多家单位投资组建的有限责任公司。 公司凭借上海电气集团总公司丰富的机电仪设计制造能力，集中了光 学精密机械精密控制软件方面从事微电子装备研究的团队，进行微电子装 备的研究开发和产业化制造。公司承担了国家科技部十五十五重大 技术专项国家集成电路光刻设备项目等任务。 公司现有占地面积平方米，已建建筑和目前另设项目正在建设的 新建工业中试研发楼建筑面积合计平方米。 公司现有职工人数约人，其中具有中高级技术职称的技术人员和管理人 员约人，技术工人约人。 项目建设背景和必要性 高端光刻机是微电子装备中系统最复杂技术难度最大单台价值最高国 外限制最严的关键设备，目前世界上仅有荷兰和日本等少数国家具备制造高端光 刻机的能力，且仅有三家公司制造高端光刻机。 高端光刻机融合了精密光学精密机械精密控制计算机软件精密测量 特种材料微环境控制等科技领域的最新成就，代表了高科技制造领域的最高水 平。 自成立以来，直致力于大规模工业生产的投影光刻机研发生产 销售与服务，公司产品可广泛应用于制造与先进封装 等制造领域。公司自主研发的首台高端封装步进投影式光刻机已经交付客户使 用，成为国内唯的家具备步进投影式光刻机研发制造集成调试能力的 企业，也是世界上为数不多的掌握此类产品开发制造的企业之。 是种新型平板显示技术，具有自发光清晰亮丽轻薄响应速度 快视角宽低功耗操作温度范围大等特点，已被公认为最理想的显示技术。 按照发光方式的不同，可将分为被动矩阵和主动矩阵 两大类。易于制造，但是它需要外部电路，因此耗电量 大于其他类型的。具有完整的阴极层有机分子层以及阳