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doc 蓝宝石衬底材料生产项目可行性研究报告 ㊣ 精品文档 值得下载

🔯 格式:DOC | ❒ 页数:75 页 | ⭐收藏:0人 | ✔ 可以修改 | @ 版权投诉 | ❤️ 我的浏览 | 上传时间:2022-06-25 20:24

《蓝宝石衬底材料生产项目可行性研究报告》修改意见稿

1、以下这些语句存在若干问题,包括语法错误、标点使用不当、语句不通畅及信息不完整——“.....在些非面蓝宝石衬底如面或面和其他些特殊衬底如铝酸锂,上生长的薄膜是非极性和半极性的,可以改善上述由极化场引起的在发光器件中产生的负面效应。传统第三到第五族氮化物半导体均成长在蓝宝石基板上,若把这类化合物成长于或上,可使产生的内建电场平行于磊晶层,以增加电子电洞对复合的机率。因此,以氮化物磊晶薄膜为主的结构成长在或蓝宝石基板上,相对于传统的面蓝宝石磊晶,将可有效解决内部量子效率低下之问题,并增加元件的发光强度。由于无极性具有比传统轴更具有潜力来制作高效率元件。图案化蓝宝石基板简称以成长或蚀刻的方式,在蓝宝石基板上设计制作出纳米级特定规则的微结构图案藉以控制之输出光形式蓝宝石基板上的凹凸图案会产生光散射或折射的效果增加光的取出率,同时薄膜成长于图案化蓝宝石基板上会产生横向磊晶的效果,减少生长在蓝宝石基板上之间的差排缺陷,改善磊晶质量......”

2、以下这些语句存在多处问题,具体涉及到语法误用、标点符号运用不当、句子表达不流畅以及信息表述不全面——“.....蓝宝石晶棒制造工艺流程长晶利用长晶炉生长尺寸大且高品质的单晶蓝宝石晶体定向确保蓝宝石晶体在掏棒机台上的正确位置,便于掏棒加工掏棒以特定方式从蓝宝石晶体中掏取出蓝宝石晶棒滚磨用外圆磨床进行晶棒的外圆磨削,得到精确的外圆尺寸精度品检确保晶棒品质以及掏取后的晶棒尺寸与晶向符合客户要求蓝宝石基片制造工艺流程定向在切片机上准确定位蓝宝石晶棒的位置,以便精准切片加工切片将蓝宝石晶棒切成薄薄的晶片研磨去除切片时造成的晶片切割损伤层及改善晶片的平坦度倒角将晶片边缘修整成圆弧状,改善薄片边缘的机械强度,避免应力集中造成缺陷抛光改善晶片粗糙度,使其表面达到外延片磊晶级的精度清洗清除晶片表面的污染物如微尘颗粒,金属,有机玷污物等机械加工机械加工晶棒基板品检以高精密检测仪器检验晶片品质平坦度,粗糙度,半峰宽,表面微尘颗粒等,以合乎客户要求。蓝宝石的硬度非常高......”

3、以下这些语句在语言表达上出现了多方面的问题,包括语法错误、标点符号使用不规范、句子结构不够流畅,以及内容阐述不够详尽和全面——“.....待晶体直径长到所需尺寸冷心放肩微量提拉法晶体直径可以长到距坩埚内壁后,晶体开始等径生长,进入等径阶段。随着晶体尺寸的长大,热交换器的散热对晶体生长效率迅速减小,故晶体进入等径生长阶段后,主要是通过降低加热温度加热系统所能提供的坩埚外壁温度来实现晶体生长。该方法主要特点通过冷心放肩,保证了大尺寸晶体生长,整个结晶过程晶向遗传特性良好,材料品质优良。通过高精度的能量控制配合微量提拉,使得在整个晶体生长过程中无明显的热扰动,缺陷萌生的几率较其他方法明显降低。由于只是微量提拉,减少了温场扰动。使温场更均匀,从而保证单晶生长的成功率。在整个晶体生长过程中,晶体不被提出坩埚,仍处于热区。可以精确控制它的冷却速度,减少热应力。适合生长大尺寸晶体,材料综合利用率是泡生法的倍以上。选用水作为热交换器内的工作流体,晶体可以实现原位退火,较其他方法试验周期短成本低......”

4、以下这些语句该文档存在较明显的语言表达瑕疵,包括语法错误、标点符号使用不规范,句子结构不够顺畅,以及信息传达不充分,需要综合性的修订与完善——“.....就可使晶体成型,少了拉升及旋转的干扰,比较好控制,因而可得到较佳的质量。国外许多生长蓝宝石的厂商,也是采用此方法以生长蓝宝石单晶。本项目中蓝宝石生长方法拟采用泡生法。蓝宝石衬底外延片厂家使用的蓝宝石衬底分为三种蓝宝石衬底蓝宝石基板是普遍使用的蓝宝石基板,大多数外延片厂家使用该面供生长。主要是因为蓝宝石晶体沿轴生长的工艺成熟成本相对较低物化性能稳定在面进行磊晶的技术成熟稳定。年日本的赤崎勇教授与当时在日亚化学的中村修二博士等人,突破了与蓝宝石基板晶格不匹配缓冲层型材料活化等等问题后,终于在年底日亚化学得以首先开发出蓝光。以后的几年里日亚化学以蓝宝石为基板,使用材料,通过技术并不断加以改进蓝宝石基板与磊晶技术,提高蓝光的发光效率,同时年开发出紫外,年蓝紫色样品开始出货,年开始提供白光。从而奠定了日亚化学在领域的先头地位。台湾紧紧跟随日本的技术......”

5、以下这些语句存在多种问题,包括语法错误、不规范的标点符号使用、句子结构不够清晰流畅,以及信息传达不够完整详尽——“.....与成长于般蓝宝石基板的相比,亮度增加了以上。目前台湾生产图案化蓝宝石的厂家有中美矽晶合晶兆晶,兆达。蓝宝石基板中和英寸是成熟产品,而大尺寸如和英寸的普通蓝宝石基板与英寸图案化蓝宝石基板还处于成长期,生产商主推大尺寸与图案化蓝宝石基板,同时也积极增加产能。目前中国大陆还没有厂家能生产出图案化蓝宝石基板。蓝宝石基片的原材料是晶棒,晶棒由蓝宝石晶体加工而成。整个蓝宝石衬底的生产是采用机械加工,主要工艺如下详细工艺流程在下节中描述蓝宝石晶体晶棒衬底生产加工衬底时,由于蓝宝石具有很高的硬度,所以加工设备的选择将会对产品品质有直接影响,这些加工设备包括切割设备研磨设备抛光设备等等。技术参数和工艺流程蓝宝石衬底基片生产工艺图表纳米图案化蓝宝石基板图烧结氧化铝原料长晶定向掏棒滚圆切定位面定向多线切割双面研磨倒角单面研磨粗抛精抛晶棒晶棒清洗检测包装入库如果要提供图形基片......”

6、以下这些语句存在多方面的问题亟需改进,具体而言:标点符号运用不当,句子结构条理性不足导致流畅度欠佳,存在语法误用情况,且在内容表述上缺乏完整性。——“.....根据晶体生长所处的引晶放肩等径和退火及冷却阶段的特点,通过调节热交换器中工作流体的温度流量,加热温度加热体所能提供的坩埚外壁环境温度可以精确控制晶体和熔体内温度梯度热量传输完成晶体生长。冷心放肩微量提拉法生长蓝宝石晶体时,通常可将整个晶体生长过程分为四个控制阶段,即引晶放肩等径退火及冷却阶段。引晶与放肩阶段主要是利用调节热交换器散热能力,适当配合定的降低加热温度加热系统所能提供的坩埚外壁温度的方式来实现对晶体的缩颈和放肩控制。此时晶体生长界面凸出水冷棒加热器籽晶热分散盖坩埚晶体固液交界面熔融体支撑体隔热层图表冷心放肩微量提拉法晶体生长系统率及温度梯度较大,其有利于采用较大的放肩角,减小放肩距离,防止界面翻转,同时能够将籽晶内的位错等原有缺陷快速从晶体中扩散到晶体表面,有效降低晶体内的缺陷含量。较大的界面温度梯度还能够提高晶体生长驱动力......”

7、以下这些语句存在标点错误、句法不清、语法失误和内容缺失等问题,需改进——“.....再利用单晶晶种接触到熔汤表面,在晶种与熔汤的固液界面上因温度差而形成过冷。于是熔汤开始在晶种表面凝固并生长和晶种相同晶体结构的单晶。晶种同时以极缓慢的速度往上拉升,并伴随以定的转速旋转,随着晶种的向上拉升,熔汤逐渐凝固于晶种的液固界面上,进而形成轴对称的单晶晶锭。如图所示为单晶提拉法原理。图泡生法原理示意图图表单晶提拉法原理示意图图表泡生法原理冷心放肩微量提拉法,简称。是在对泡生法和提拉法改进的基础上发展而来用于生长大尺寸蓝宝石晶体的方法,晶体生长系统主要包括控制系统真空系统加热体冷却系统和热蔽装置等,下图是晶体生长系统简图。该方法生长的单晶,外型通常为梨形,晶体直径可以生长到比坩埚内径小的尺寸。籽晶被加工成长方形,利用籽晶夹固定在热交换器底部。热交换器可以完成籽晶的固定晶体的转动和提拉,以及热交换器晶体和熔体之间热量的交换作用。加热体冷却系统和热屏蔽装置协同作用......”

8、以下文段存在较多缺陷,具体而言:语法误用情况较多,标点符号使用不规范,影响文本断句理解;句子结构与表达缺乏流畅性,阅读体验受影响——“.....进而买来机台和蓝宝石基板来进行磊晶,之后台湾本土厂商又对蓝宝石晶体的生长和加工技术进行研究改良,通过自主研发,取得专利授权等方式形成蓝宝石晶体基板外延片生产加工等等自主的生产技术能力,步步奠定了台湾在上游业务中的重要地位。目前大部分的蓝光绿光白光产品都是以日本台湾为代表的使用蓝宝石基板进行磊晶生产的产品。使得蓝宝石基板的使用得以普及,以美国公司为代表的以为基板的产品则跟随其后。或蓝宝石基板主要用来生长非极性半极性面外延薄膜,以提高发光效率。通常在蓝宝石基板上制备的外延膜是沿轴生长的,而轴是的极性轴,导致基器件有源层量子阱中出现很强的内建电场,发光效率会因此降低,发展非极性面外延,克服这物理现象,使发光效率提高。通常,面蓝宝石衬底上生长的薄膜是沿着其极性轴即轴方向生长的,薄膜具有自发极化和压电极化效应,导致薄膜内部有源层量子阱产生强大的内建电场......”

9、以下这些语句存在多方面瑕疵,具体表现在:语法结构错误频现,标点符号运用失当,句子表达欠流畅,以及信息阐述不够周全,影响了整体的可读性和准确性——“.....它与单晶提拉法最大的差异是只拉出晶颈,晶身部分是靠着温度变化来生长,并在拉晶颈的同时,调整加热电压,使熔融的原料达到最合适的长晶温度范围,让生长速度达到最理想化,因而长出质量最理想的蓝宝石单晶。而冷心放肩微量提拉法目前只有哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司使用,拥有自己的发明专利大尺寸蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法,专利号,目前正在实施产业化,产品质量不如国外主要公司,该方法还需进步考察产业化的效果。表中只对泡生法和单晶提拉法两种常用的蓝宝石晶体生长方法做比较图表蓝宝石晶体生长的主流方法比较名称泡生法单晶提拉法生长最大尺寸英寸英寸保持压力位错密度线没有大量严重平均位错密度平方厘米晶体纯度生长条件在高真空下在气下晶体质量好般从上面对两种长晶方法的比较,泡生法更有优势,采用泡生法可以生长大尺寸蓝宝石晶体。从工艺角度讲,泡生法在晶体生长过程中,除了晶颈需拉升外......”

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