1、以下这些语句存在若干问题，包括语法错误、标点使用不当、语句不通畅及信息不完整——“.....得到各种材料表面阵列圆形微凸起单超声加工微凹坑圆孔直径与加工深度对比如图所示。图阵列圆形微凸起单超声加工微凹坑圆孔直径与加工深度对比图由图可知阵列圆形凹坑加工效果与单微细孔加工效果相似，但加工深度较小，原因是阵列圆形微凹坑加工接触应力较小，另外工作液及磨料供给受到阵列圆形微凸起工具电极的限制。阵列正方形微凹坑单超声加工试验选用阵列正方形微凸起工具电极，加工参数工件与工具间静压力加工时间磨料碳化硼磨料悬浮液浓度试件材料选用硬质合金和不锈钢单晶硅压电陶瓷玻璃钢，取加工后材料表面微凹坑局部放大图。图阵列正方形微凸起单超声加工微凹坑将加工件置于体视测量显微镜下进行观察测量，得到各种材料表面阵列正方形微凸起单超声加工微凹坑正方形边长与加工深度对比如图所示。图阵列正方形微凸起单超声加工微凹坑正方形边长与加工深度对比图由图可知阵列正方形凹坑加工效果与单微细孔加工效果相似。加工中......”。

2、以下这些语句存在多处问题，具体涉及到语法误用、标点符号运用不当、句子表达不流畅以及信息表述不全面——“.....单晶硅片的加工效果也很明显，和压电陶瓷样微形状的边缘也出现了轻微塌边，可能因为材料脆性很高，是工具头在振动时对入口边缘瞬间的应力太大所致。通过试验现象及结果发现硬质合金不锈钢的加工精度和表面质量比加工压电陶瓷单晶硅片等硬脆材料要好，原因是硬质合金不锈钢硬度高的同时还具有定的韧性。从而说明材料的加工精度表面质量及加工效率都和材料的力学性能有很大关系，在同样的加工条件下，材料的强度和断裂韧性越高，在超声波高频振动撞击及空化作用下，表层去除脆裂较小，加工精度和表面质量越高，加工速度和加工效率越低相反被加工材料越脆，则承受冲击载荷的能力越低，也就越容易被去除。但是，硬质合金不锈钢的加工效率很低，在内只在工件表面加工出结构痕迹，深度仅几十。在微孔加工中，由于工具头端部能量集中且形状简单，加工效率稍高，而外形复杂阵列工具头端面如阵列圆形正方形菱形微凸起不利于磨料悬浮工作液的流动，影响加工效率......”。

3、以下这些语句在语言表达上出现了多方面的问题，包括语法错误、标点符号使用不规范、句子结构不够流畅，以及内容阐述不够详尽和全面——“.....以充分发挥各种加工方法的优点。作为微细超声复合加工的技术基础，将超声加工电火花加工电解加工分别与微细加工有机地融合在起，综合利用不同的优点，从而获得单方法所达不到的技术优势。微细超声加工超声加工简称有时也称超声波加工。电火花加工和电化学加工都只能加工金属导电材料，不易加工不导电的非金属材料，然而超声加工不仅能加工硬质合金淬火钢等硬脆金属材料，而且更适合加工玻璃陶瓷半导体锗和硅片等不导电的非金属硬脆材料，同时还可以用于清洗焊接和探伤等。微细超声加工原理超声加工是利用工具端面作超声频振动，通过磨料悬浮液加工硬脆材料的种特种加工方法，超声加工的基本原理如图所示。超声加工时，在工具和工件之间加入水或油等和磨料混合的悬浮液，并使工具以适当的压力轻轻压在工件上。超声换能器产生高达以上的超声频率作纵向振动，由于弹性杆弹性杆使振幅产生定的放大变化，通常称其为变幅杆的作用，振幅被放大到左右......”。

4、以下这些语句该文档存在较明显的语言表达瑕疵，包括语法错误、标点符号使用不规范，句子结构不够顺畅，以及信息传达不充分，需要综合性的修订与完善——“.....磨料悬浮液通过不断更新，带走被粉碎下来的材料微粒。随着加工工具逐渐伸入到被加工材料中，加工工具的形状便复现在工件上了。由此可见，超声加工是磨粒在超声振动作用下的机械撞击和抛磨作用以及超声空化作用的综合结果，其中，磨粒的机械撞击作用是占主导地位的。由于超声加工基于局部撞击作用，所以当受到撞击作用时，越是硬脆的材料，其受破坏的程度越大，越容易进行超声加工。相反，脆性和硬度不大的韧性材料，由于它对撞击能量的吸收缓冲作用而难以实施超声加工，或者说加工效果很不理想。所以，这性质常利用在工具材料选择上，要求它既能撞击磨粒，又不至于使自身受到很大的破坏，般选择塑性较好的材料，通常采用钢或弹簧钢等材料作为工具材料较合适。加工特点超声加工的主要特点有不受材料是否导电的限制工具对工件的宏观作用力小热影响小，因而可加工薄壁窄缝和薄片工件被加工材料的脆性越大越容易加工......”。

5、以下这些语句存在多种问题，包括语法错误、不规范的标点符号使用、句子结构不够清晰流畅，以及信息传达不够完整详尽——“.....正方形微凹坑深度稍小于圆形。阵列菱形微凹坑单超声加工试验选用阵列菱形边长微凸起工具电极，加工参数工件与工具间静压力加工时间磨料碳化硼磨料悬浮液浓度试件材料选用硬质合金和不锈钢单晶硅压电陶瓷玻璃钢，取加工后材料表面微凹坑局部放大图。图阵列菱形微凸起单超声加工微凹坑将加工件置于体视测量显微镜下进行观察测量，得到各种材料表面阵列菱形微凸起单超声加工微凹坑菱形边长与加工深度对比如图所示。图阵列菱形微凸起单超声加工微凹坑菱形边长与加工深度对比图由图可知阵列菱形凹坑加工深度最小，是由于阵列菱形微凸起与工件的接触面积远大于阵列圆形与正方形微凸起。此外，如图所示菱形微凹坑超声加工圆角效应明显，这是由于尖角处易于被超声磨粒撞击磨损。试验结果分析比较各组加工图和测量数据可知，工件尺寸比工具尺寸有所扩大，扩大量理论上约为磨粒直径的两倍。磨粒越细，加工成形精度越高。压电陶瓷的加工效率最高，尺寸精度可达到，表面粗糙度......”。

6、以下这些语句存在多方面的问题亟需改进，具体而言：标点符号运用不当，句子结构条理性不足导致流畅度欠佳，存在语法误用情况，且在内容表述上缺乏完整性。——“.....直接去除或增加材料以达到加工的目的，般没有宏观的切削力作用，且多数属于非接触式加工，因此在微小尺度零件的加工中有着不可替代的优越性。特种加工的具体方法有电火花加工超声加工电解加工电子束加工离子束加工激光束加工等。目前，微细加工技术的研究大多集中在半导体制造工艺光刻技术蚀刻技术和技术上，并且取得了相当大的实用进展。但是，这些技术只能用来加工结构简单的二维或准三维微机械，尚不适于致动器的制作。如将这类微机械作为致动器，只能靠静电力驱动，驱动力太小。另外，这些加工方式的设备普遍昂贵，次性投入较大，只适合大规模批量生产，对于复杂的三维微机械结构，采用以上技术就难以实现或根本无法实现，小规模的微机械生产也不宜采用以上方法，限制了其应用范围。特种加工技术在微小型三维立体结构致动器的制作上有独到之处，批量制作也可通过模具加工电铸注塑等方法实现......”。

7、以下这些语句存在标点错误、句法不清、语法失误和内容缺失等问题，需改进——“.....设计合适的加工系统，并对微细超声复合加工的加工装置进行构建与完善由流体润滑理论，设计了圆形截面微凹坑，在此基础上将截面形状拓展为正方形菱形，成阵列分布时，微凹坑尺寸与间距应成定比例根据微凹坑形状，对微凹坑加工的微细工具微凸起进行外形设计，选择单体截面为圆形正方形三角形的微细轴并将其推广为阵列圆形正方形菱形微凸起作为微细工具电极的典型代表，利用现有的精密慢走丝线切割机床精密电火花成型机进行工艺组合加工各种微凸起工具电极确定试验方案，在多种材料表面选用不同加工参数进行微凹坑单超声与超声复合加工对比实验，利用数字存储示波器及机进行加工过程中各类参数的检测和加工状态的评估，调整优化参数总结各种加工参数下微凹坑单超声与超声复合加工试验中精度效率表面质量的改善程度及原因，针对加工试验中存在的问题，进行工艺的完善本章小结本章阐述了微凹坑结构的研究及应用背景，进而提出本论文研究工作内容......”。

8、以下文段存在较多缺陷，具体而言：语法误用情况较多，标点符号使用不规范，影响文本断句理解；句子结构与表达缺乏流畅性，阅读体验受影响——“.....磨料的硬度应比被加工材料的硬度高，而工具的硬度可以低于工件材料可以与其他多种加工方法结合应用，如超声振动切削超声电火花率易受外界因素如工具损耗工作压力变化加工深度改变螺纹联接松动等的影响，共振频率点会发生漂移，为保证加工过程的稳定，需及时调节超声发生器的输出信号频率，使系统始终保持在共振状态下。图系统共振时采集的超声发生器输出的超声频交变电压波形微细超声加工试验试验采用精密超声加工机，使用双通道数字存储示波器检测超声发生器输出超声频交变电信号，如图所示为超声输出功率为时超声发生器输出的电压波形。图超声加工系统共振时采集的超声发生器输出超声频交变电压波形阵列圆形微凹坑单超声加工试验选用阵列圆形微凸起工具电极，加工参数工件与工具间静压力加工时间磨料碳化硼磨料悬浮液浓度试件材料选用硬质合金和不锈钢单晶硅压电陶瓷玻璃钢，取加工后材料表面微凹坑局部放大图......”。

9、以下这些语句存在多方面瑕疵，具体表现在：语法结构错误频现，标点符号运用失当，句子表达欠流畅，以及信息阐述不够周全，影响了整体的可读性和准确性——“.....迫使工作液中悬浮磨料的磨粒以很大的速度和加速度不断地撞击抛磨被加工工件表面，把被加工工件表面的材料粉碎成很细的微小颗粒，从工件上被打击下来。虽然每次打击下来的材料很少，但每秒打击的次数高达次与超声频率有关以上，所以仍有定的加工速度。图超声加工原理图工具工件磨料悬浮液，变幅杆换能器超声波发生器与此同时，工作液受工具端面超声振动作用而产生的高频交变的液压正负冲击波和空化作用，迫使工作液进入被加工材料的微细缝隙处，从而更加剧了机械破坏作用。所谓空化作用，是指当工具端面以很大的加速度离开工件表面时，加工间隙内形成较大的负压和局部真空，使得工作液内瞬间形成很多微空腔，当工具端面以很大的加速度接近工件表面时，空泡又重新闭合，又引起较强的液压冲击波，上述作用迅速反复地施加在工具与工件之间微小间隙内的工作液里，可以大大强化加工过程。此外，正负交变的液压冲击也使悬浮工作液在加工间隙中强迫循环，带动磨料运动......”。