1、其生产能力有限，市 场空缺较大。迅速实现硅单晶生长炉的热场国产化，对发展我国的产业 的意义极大。 项目的市场优势 由于国外公司控制了该类产品的市场，产品价格奇高。所以，与国外 对手相比较，本项目的产品有较大的价格优势。 同时，由于经济技术开发区有限公司拥有自主知识产权，通过前 期的产品研究开发，掌握了对生产的主要设备的技术要求及各项具体措施， 摸索出了材料制备的主要工艺过程及相关技术参数，已先步于国内竞争 对手生产出了满足工业应用要求的产品。在技术上领先于国内对手对于 国际上的竞争对手，通过努力控制生产成本，在价格上也应当具有优势。 通过大量的多方位的工业性试验，了解了市场需求和使用要求及其 细节，减少了盲目性，降低了风险通过试验和使用与使用方有较多的沟 通，与客户建立了良好的关系。 三总体营销思路 根据产品的目标市场定位产品定位及竞争力的研究结论，在市。件受到损伤。 东洋炭素，等国外厂商在其产品介绍中，也提到复合材料制造单硅晶生长炉的坩埚发热体等产品。其中提到 的个别产品已经投入使用，大多数则仍处于研究阶段。 二产品目标市场分析 目标市场确定 超高纯及晶体结构完整的硅晶圆是半导体工业中制作芯片的基础材 料。集成电路的出现及发展，使人类步入了微电子时代。随着微电子元件 尺寸小型化管芯面积大型化与集成度的日益提高，硅单晶生长技术 装备面临新的挑战。 为改变我国集成电路用关键基础材料技术水平低品种不配套产业 化规模小关键基础材料依赖进口的局面，国家科技部设立了微电子配套 材料专项，选择英寸硅单晶抛光制备技术研究作为首次研究任务，并要 求英寸硅单晶抛光片形成小批量生产能力，达到集成电路 技术要求。实施该项目第个要解决的是英寸硅单晶生长技术与装备的 问题，大尺寸的热场系统的关键元件的设计制造技术，也迫切需要解决。 。
2、而这些高纯石墨多为进口 冷等静压石墨。英寸的热系统的隔热保温套，则多为进口件。相当部 分较大型的进口设备，其热系统完全依靠进口。 复合材料热场系统研究组，为满足半导体工业的要求，与西安理工 大学单硅晶基地有研硅股等单位合作，对复合材料热场系统进行试 验和使用。在西安用复合材料制作的坩埚及加热器， 装在加有横向磁场的上，使用情况很好。 国外的发展现状 年东芝陶瓷申请的美国专利介绍用二维纤维织物绕制作成 单晶生长炉坩埚坯体，浸渍树脂后碳化制成坩埚。随后，在年美国 等用三维复合材料制造了单晶生长炉用坩埚埚帮埚托发 热体隔热屏及支撑块等等人制备的高纯复合材料，制造的 硅单晶生长炉的热场零部件，通过系列的高温处理，金属杂质含量控制 到很低的程度。年，等采用复合材料在硅单晶生长炉 的底部设置个容积等于坩埚的容积的环槽，在硅单晶生长炉出现意外漏 硅时，可以防止其他热场。预期目标 炭炭复合材料单晶生产热场项目总体规划占地亩，总投资 万元，总建筑面积平方米全部为标准工业厂房固定资产投资 万元。项目建设预期目标形成年产炭炭复合材料吨年碳石墨材料 吨年的生产能力。 项目经济效益项目实施期内年，含年建设期实现营业收入 万元，实现利润万元，上缴税收万元，项目 具有良好的经济社会效益。 项目主要建设条件 本项目市场前景较好，市场容量大项目生产所需能源有保障，来源稳 定可靠项目建设资金有保障项目建设地政府对项目建设大力支持，项 目用地落实，建设地域交通方便，施工条件良好，建设项目的主要条件基 本具备。 二项目主要经济技术指标 项目建设主要经济技术指标见表。 炭炭复合材料单晶生产热场项目主要经济技术指标 表 序号指标名称单位指标备注 项目主要拉制从〞至〞，少量为〞的晶棒。由于单炉投料量仅 为几十公斤，因此，多采用高纯石墨制造坩埚。
3、 生产基地位于开发区内，占地亩，花园式工业区，是实业集团 下属单位。主要从事新材料的开发及生产。系大学粉末冶金学院教授 博士生导师，教授领导的科研队伍在该领域居于国际领先地位。公司 以教授拥有的专利知识产权技术和雄厚的研发实力为依托，通过整合人 核准通过，归档资料。 未经允许，请勿外传,才技术与市场优势，构筑新材料基地。公司计划投资万元人民币， 建设炭炭复合材料吨年炭石墨材料吨年的生产线，实现年工 业产值亿元人民币以上。并且公司计划以此为产业基础，通过年 的时间，使公司的产品能够覆盖国内大部分或全部的硅单晶生长炉的热场 系统，逐步进入国外硅单晶炉热场系统市场努力开发新产品，扩大该新 材料的应有领域，使其应有到其他的晶体生长设备及相关的高技术领域。 可行性研究报告编制依据 国家省市国民经济和社会发展第十个五年计划 经济技术开发区产业发展规划 国家计委建设部。其生产能力有限，市 场空缺较大。迅速实现硅单晶生长炉的热场国产化，对发展我国的产业 的意义极大。 项目的市场优势 由于国外公司控制了该类产品的市场，产品价格奇高。所以，与国外 对手相比较，本项目的产品有较大的价格优势。 同时，由于经济技术开发区有限公司拥有自主知识产权，通过前 期的产品研究开发，掌握了对生产的主要设备的技术要求及各项具体措施， 摸索出了材料制备的主要工艺过程及相关技术参数，已先步于国内竞争 对手生产出了满足工业应用要求的产品。在技术上领先于国内对手对于 国际上的竞争对手，通过努力控制生产成本，在价格上也应当具有优势。 通过大量的多方位的工业性试验，了解了市场需求和使用要求及其 细节，减少了盲目性，降低了风险通过试验和使用与使用方有较多的沟 通，与客户建立了良好的关系。 三总体营销思路 根据产品的目标市场定位产品定位及竞争力的研究结论，在市。
4、，高纯石墨尺寸受到限制，经常不能 满足制造较大硅单晶生长炉的热场零件的要求另外，石墨脆性大，机械 强度不高，使用可靠性不强，使用寿命短。本项目提出的炭炭复合材料单 晶生长热场系统零件的材料及热场解决方案，经过实践验证，对解决以上 问题起到了很好的效果。实施本案对发展大型硅单晶生长设备，制造大尺 寸的晶体，提升我国微电子技术水平具有极为重大的意义。 项目拟建地点 本项目拟建于国家级经济技术开发区内。国家级经济技术开发区创建于年月，年月经国务院批准 为国家级经济技术开发区。建区年多来，开发区坚持以工业项目为主 吸引外资为主出口为主和致力于发展高新技术的方针，强调以产业发 展为中心，走产业兴区之路，通过卓有成效的招商引资工作，目前入区工 业企业家，其中三资企业家，内资企业家，入区企业基本上实现了 由单个到群体的转变，区内产业也正由零散向集成转变。到目前为止，区 内。而这些高纯石墨多为进口 冷等静压石墨。英寸的热系统的隔热保温套，则多为进口件。相当部 分较大型的进口设备，其热系统完全依靠进口。 复合材料热场系统研究组，为满足半导体工业的要求，与西安理工 大学单硅晶基地有研硅股等单位合作，对复合材料热场系统进行试 验和使用。在西安用复合材料制作的坩埚及加热器， 装在加有横向磁场的上，使用情况很好。 国外的发展现状 年东芝陶瓷申请的美国专利介绍用二维纤维织物绕制作成 单晶生长炉坩埚坯体，浸渍树脂后碳化制成坩埚。随后，在年美国 等用三维复合材料制造了单晶生长炉用坩埚埚帮埚托发 热体隔热屏及支撑块等等人制备的高纯复合材料，制造的 硅单晶生长炉的热场零部件，通过系列的高温处理，金属杂质含量控制 到很低的程度。年，等采用复合材料在硅单晶生长炉 的底部设置个容积等于坩埚的容积的环槽，在硅单晶生长炉出现意外漏 硅时，可以防止其他热场。
5、本项目产品的销售市场主要集中在长江三角洲珠江三角洲环渤海 地区等电子产业发达地区，上述地区的客户对本案提出的方案有浓厚的兴 趣。 主要竞争对手情况 硅单晶炉热场的市场目前主要由两部分组成炭炭复合材料制件市场 由日本的东洋炭素东海吴羽化工等家占领而高纯石墨件这部分， 则是主要由国内的些厂家进口日本东洋炭素公司的石墨加工而成。国内 现在有几家在上大尺寸高纯石墨项目。同时，从近年的复合材料热场零 件的试用过程中，许多原来制造石墨件的厂家也准备生产与炭炭复合材料相似的产品。 国内还没有生产当今世界上的主流产品英寸硅单晶的设备，国内的 设备只用来生产英寸的硅棒。而且该设备使用的坩埚保温隔热件等整 个热场系统依靠进口。国外大型硅单晶生长设备的热场系统均由国外厂家 的产品配套，其中吴羽公司的产品市场占有率最高。中国欧美市场几乎 全部为其所垄断。但是，在硅行业迅猛发展的今天。共完成基本建设投资亿元，移动土石方近亿立方米，完成亿元人民 币的基础设施投资任务，各项建设工作都取得了十分显著的成绩。目前， 区内主次干道已拉通条，总长公里座大型跨线桥已经竣工通车 已经完成公里，架设铁塔座的三回超高压线路的改道工程，个千伏 的变电站已经投入使用，目前区内日供电能力已经达到万千瓦时座 日供水万吨的自来水厂已经投入运行日处理能力万吨的污水净化中心 已经正式营业装机容量为万门的程控大楼，现已开通门程控电话 和高速宽带通讯网，实现了与个国家和地区通信联网投资多万元 的电视发射塔已经正式投入使用。 目前，经济技术开发区已经形成了以为主体的先进制造工业， 以为主体的电子信息产业，以为主体的新材料产业，以系列为主体 的食品饮料产业，以为主体的轻印产业等五大产业格局。年年底， 区内累计完成总产值亿元。 经济技术开发区位于，地理位置优越，交通十分便利。 项。
6、件受到损伤。 东洋炭素，等国外厂商在其产品介绍中，也提到复合材料制造单硅晶生长炉的坩埚发热体等产品。其中提到 的个别产品已经投入使用，大多数则仍处于研究阶段。 二产品目标市场分析 目标市场确定 超高纯及晶体结构完整的硅晶圆是半导体工业中制作芯片的基础材 料。集成电路的出现及发展，使人类步入了微电子时代。随着微电子元件 尺寸小型化管芯面积大型化与集成度的日益提高，硅单晶生长技术 装备面临新的挑战。 为改变我国集成电路用关键基础材料技术水平低品种不配套产业 化规模小关键基础材料依赖进口的局面，国家科技部设立了微电子配套 材料专项，选择英寸硅单晶抛光制备技术研究作为首次研究任务，并要 求英寸硅单晶抛光片形成小批量生产能力，达到集成电路 技术要求。实施该项目第个要解决的是英寸硅单晶生长技术与装备的 问题，大尺寸的热场系统的关键元件的设计制造技术，也迫切需要解决。 。营 销战略上，应注意两个方面 是建立完善的销售及售后服务网络，由销售工程师针对客户的使用和信息进行调研，以满足向高附加值产品发展的要求。 二是在产品质量无较大差距的情况下，价格就成为高度敏感的因素， 为提高产品竞争力，要发挥低成本策略的作用，充分利用自身优势，发展 稳定而灵活的销售机制。本项目的产品价格的制定，原则上以国外同等质 量的相同产品的价格为基础，较之低。 第章总论 项目背景 项目名称 项目名称炭炭复合材料单晶生长热场系统项目 项目建设单位有限公司 项目建设规模为炭炭复合材料吨年，碳石墨材料吨年 项目建设选址国家级开发区 承办单位概况 项目公司名称有限公司 成立时间年月日 注册资本人民币万 注册地址 企业登记注册类型 有限公司属股份制企业，由实业集团教授共同出资成立。其 中，教授以其拥有的居国际先进水平的专利技术作技术出资。
7、共完成基本建设投资亿元，移动土石方近亿立方米，完成亿元人民 币的基础设施投资任务，各项建设工作都取得了十分显著的成绩。目前， 区内主次干道已拉通条，总长公里座大型跨线桥已经竣工通车 已经完成公里，架设铁塔座的三回超高压线路的改道工程，个千伏 的变电站已经投入使用，目前区内日供电能力已经达到万千瓦时座 日供水万吨的自来水厂已经投入运行日处理能力万吨的污水净化中心 已经正式营业装机容量为万门的程控大楼，现已开通门程控电话 和高速宽带通讯网，实现了与个国家和地区通信联网投资多万元 的电视发射塔已经正式投入使用。 目前，经济技术开发区已经形成了以为主体的先进制造工业， 以为主体的电子信息产业，以为主体的新材料产业，以系列为主体 的食品饮料产业，以为主体的轻印产业等五大产业格局。年年底， 区内累计完成总产值亿元。 经济技术开发区位于，地理位置优越，交通十分便利。 项。布的建设工程项目经济评价方法与参数 其他文件协议等。 项目提出的理由与过程 当今世界新材料的发展日新月异，特别是电子通讯等相关领域发展 迅猛，对硅材料需求十分旺盛。数十年以来，硅材料行业直以提高硅 单晶的尺寸和质量为主要目标，先后生产了英 寸硅片。据最新的国家半导体技术介绍，直径英寸硅单晶 抛光片是英寸的下代产品，也是未来线宽的集成电路的衬 底材料。集成电路产业是信息产业的核心，全世界以集成电路为核心的电 子元器件，以上是硅材料制成的，其中直拉硅单晶的用量超过。随 着超大规模集成电路集成度的迅速提高，迫切要求采用大直径的直拉硅单 晶抛光片。超纯及完整晶体结构的硅晶体是条长长的价值链的起点。没 有硅晶体就没有半导体光电子通讯技术及光电技术。硅晶体棒用于制 作晶圆，晶圆是半导体工业中制作芯片的基础材料。硅材料的另个大的 需求来自太阳能。从长远看，世界上半以上的。
8、预期目标 炭炭复合材料单晶生产热场项目总体规划占地亩，总投资 万元，总建筑面积平方米全部为标准工业厂房固定资产投资 万元。项目建设预期目标形成年产炭炭复合材料吨年碳石墨材料 吨年的生产能力。 项目经济效益项目实施期内年，含年建设期实现营业收入 万元，实现利润万元，上缴税收万元，项目 具有良好的经济社会效益。 项目主要建设条件 本项目市场前景较好，市场容量大项目生产所需能源有保障，来源稳 定可靠项目建设资金有保障项目建设地政府对项目建设大力支持，项 目用地落实，建设地域交通方便，施工条件良好，建设项目的主要条件基 本具备。 二项目主要经济技术指标 项目建设主要经济技术指标见表。 炭炭复合材料单晶生产热场项目主要经济技术指标 表 序号指标名称单位指标备注 项目主要拉制从〞至〞，少量为〞的晶棒。由于单炉投料量仅 为几十公斤，因此，多采用高纯石墨制造坩埚。，高纯石墨尺寸受到限制，经常不能 满足制造较大硅单晶生长炉的热场零件的要求另外，石墨脆性大，机械 强度不高，使用可靠性不强，使用寿命短。本项目提出的炭炭复合材料单 晶生长热场系统零件的材料及热场解决方案，经过实践验证，对解决以上 问题起到了很好的效果。实施本案对发展大型硅单晶生长设备，制造大尺 寸的晶体，提升我国微电子技术水平具有极为重大的意义。 项目拟建地点 本项目拟建于国家级经济技术开发区内。国家级经济技术开发区创建于年月，年月经国务院批准 为国家级经济技术开发区。建区年多来，开发区坚持以工业项目为主 吸引外资为主出口为主和致力于发展高新技术的方针，强调以产业发 展为中心，走产业兴区之路，通过卓有成效的招商引资工作，目前入区工 业企业家，其中三资企业家，内资企业家，入区企业基本上实现了 由单个到群体的转变，区内产业也正由零散向集成转变。到目前为止，区 内。
9、营 销战略上，应注意两个方面 是建立完善的销售及售后服务网络，由销售工程师针对客户的使用和信息进行调研，以满足向高附加值产品发展的要求。 二是在产品质量无较大差距的情况下，价格就成为高度敏感的因素， 为提高产品竞争力，要发挥低成本策略的作用，充分利用自身优势，发展 稳定而灵活的销售机制。本项目的产品价格的制定，原则上以国外同等质 量的相同产品的价格为基础，较之低。 第章总论 项目背景 项目名称 项目名称炭炭复合材料单晶生长热场系统项目 项目建设单位有限公司 项目建设规模为炭炭复合材料吨年，碳石墨材料吨年 项目建设选址国家级开发区 承办单位概况 项目公司名称有限公司 成立时间年月日 注册资本人民币万 注册地址 企业登记注册类型 有限公司属股份制企业，由实业集团教授共同出资成立。其 中，教授以其拥有的居国际先进水平的专利技术作技术出资 。本项目产品的销售市场主要集中在长江三角洲珠江三角洲环渤海 地区等电子产业发达地区，上述地区的客户对本案提出的方案有浓厚的兴 趣。 主要竞争对手情况 硅单晶炉热场的市场目前主要由两部分组成炭炭复合材料制件市场 由日本的东洋炭素东海吴羽化工等家占领而高纯石墨件这部分， 则是主要由国内的些厂家进口日本东洋炭素公司的石墨加工而成。国内 现在有几家在上大尺寸高纯石墨项目。同时，从近年的复合材料热场零 件的试用过程中，许多原来制造石墨件的厂家也准备生产与炭炭复合材料相似的产品。 国内还没有生产当今世界上的主流产品英寸硅单晶的设备，国内的 设备只用来生产英寸的硅棒。而且该设备使用的坩埚保温隔热件等整 个热场系统依靠进口。国外大型硅单晶生长设备的热场系统均由国外厂家 的产品配套，其中吴羽公司的产品市场占有率最高。中国欧美市场几乎 全部为其所垄断。但是，在硅行业迅猛发展的今天。
10、布的建设工程项目经济评价方法与参数 其他文件协议等。 项目提出的理由与过程 当今世界新材料的发展日新月异，特别是电子通讯等相关领域发展 迅猛，对硅材料需求十分旺盛。数十年以来，硅材料行业直以提高硅 单晶的尺寸和质量为主要目标，先后生产了英 寸硅片。据最新的国家半导体技术介绍，直径英寸硅单晶 抛光片是英寸的下代产品，也是未来线宽的集成电路的衬 底材料。集成电路产业是信息产业的核心，全世界以集成电路为核心的电 子元器件，以上是硅材料制成的，其中直拉硅单晶的用量超过。随 着超大规模集成电路集成度的迅速提高，迫切要求采用大直径的直拉硅单 晶抛光片。超纯及完整晶体结构的硅晶体是条长长的价值链的起点。没 有硅晶体就没有半导体光电子通讯技术及光电技术。硅晶体棒用于制 作晶圆，晶圆是半导体工业中制作芯片的基础材料。硅材料的另个大的 需求来自太阳能。从长远看，世界上半以上的。 生产基地位于开发区内，占地亩，花园式工业区，是实业集团 下属单位。主要从事新材料的开发及生产。系大学粉末冶金学院教授 博士生导师，教授领导的科研队伍在该领域居于国际领先地位。公司 以教授拥有的专利知识产权技术和雄厚的研发实力为依托，通过整合人 核准通过，归档资料。 未经允许，请勿外传,才技术与市场优势，构筑新材料基地。公司计划投资万元人民币， 建设炭炭复合材料吨年炭石墨材料吨年的生产线，实现年工 业产值亿元人民币以上。并且公司计划以此为产业基础，通过年 的时间，使公司的产品能够覆盖国内大部分或全部的硅单晶生长炉的热场 系统，逐步进入国外硅单晶炉热场系统市场努力开发新产品，扩大该新 材料的应有领域，使其应有到其他的晶体生长设备及相关的高技术领域。 可行性研究报告编制依据 国家省市国民经济和社会发展第十个五年计划 经济技术开发区产业发展规划 国家计委建设部。
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炭复合材料单晶生长热场系统项目可行性研究报告
