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齿轮腔A1.dwg
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螺杆腔A0.DWG
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阳转子A2.dwg
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阴转子A2.dwg
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装配图A0.dwg
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左端盖A2.dwg
1、头双边对称圆弧型线转子型线要素转子型线设计原则多头双边对称圆弧型线方程螺杆双头干式真空泵工作原理.吸气过程.压缩过程.排气过程螺杆双头干式真空泵设计计算.螺杆基本尺寸.排气量理论排气量实际排气量.进排气孔口轴向进气口轴向排气口.极限真空度功率及冷却水量.轴的强度计算.同步齿轮的设计计算齿轮尺寸计算齿轮强度校核结论与展望参考文献致谢毕业设计论文独创性毕业设计论文知识产权声明绪论.概述年德国人沃尔夫岗.盖德发明了油封式旋片泵，从此各种以油为工作液润滑剂密封液的真空泵如雨后春笋般迅速普及，统治了真空设备市场近百年。从真空工业的视角来看，如果说世纪是有油真空泵的世纪，那么世纪将是双头干式真空泵的世纪。因为，各种形式的有油真空泵在工作过程中不可避免的随同排出的气体起排出了大量的油污，这些油污能够严重的污染环境。随着利学技术的发展，。
2、手段，从而使成本变得极其昂贵。如膜式泵，真空度不高，抽速小吸附泵，不仅抽速小，液氮的费用也很大。所以可以这样说，在当时能直接排入大气和高真空机绍相连接的泵类各有其缺憾，因此导致了双头干式泵不适宜大工业的应用。.课题背景及研究意义双头干式螺杆真空泵是双头干式泵家族中的员。所谓双头干式真空泵，般认为是能在大气压到的压力范围内工作在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵，也称无油真空泵。双头干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。总的来说是两种不同的需求推动开发出两种类型的干式泵。类是以半导体行业为代表，要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。清洁条件下的抽气，只。
3、头双边对称圆弧型线转子型线要素转子型线设计原则多头双边对称圆弧型线方程螺杆双头干式真空泵工作原理.吸气过程.压缩过程.排气过程螺杆双头干式真空泵设计计算.螺杆基本尺寸.排气量理论排气量实际排气量.进排气孔口轴向进气口轴向排气口.极限真空度功率及冷却水量.轴的强度计算.同步齿轮的设计计算齿轮尺寸计算齿轮强度校核结论与展望参考文献致谢毕业设计论文独创性毕业设计论文知识产权声明绪论.概述年德国人沃尔夫岗.盖德发明了油封式旋片泵，从此各种以油为工作液润滑剂密封液的真空泵如雨后春笋般迅速普及，统治了真空设备市场近百年。从真空工业的视角来看，如果说世纪是有油真空泵的世纪，那么世纪将是双头干式真空泵的世纪。因为，各种形式的有油真空泵在工作过程中不可避免的随同排出的气体起排出了大量的油污，这些油污能够严重的污染环境。随着利学技术的发展，。
4、转速高旋片型.怕抽带颗粒的气体螺杆型.加工比较困难涡轮型多级串联.转速高螺杆式双头干式真空泵特点如下可靠性高。螺杆式双头干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。操作维护方便。动力平衡性好。螺杆式双头干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。适应性强。螺杆式双头干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响.多相混输。由于螺杆式双头干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性有毒含有粉尘可凝性蒸汽等多种气体。尽管螺杆型双头干式真空泵具有这么多的优点，然而，由于目前国内些公司正在使用的螺杆型双头干式真空泵均是从国外进口，价格非常昂贵，每台螺杆泵价格要三四十万元人民币，所以螺杆型真空泵在我国的使用并不广泛。造成这现象的主要原因是由于螺杆泵转子型线较。
5、要求提供比较清洁真空环境的真空工艺越来越多，甚至近于达到苛刻的要求，如微电子化学冶金医疗核聚变领域以及宇航新材料的开发等技术领域.都要求提供比较洁的内真空环境。传统的有油泵很难满足这些要求，无油泵的概念便自然而然的在此基础上提出。有些工业过程，如低压气相沉积，会产生些微小颗粒，这些颗粒在工作液中难以排除，它们可以使泵油污染，同样也会影响泵的抽气系统性能及使用寿命。而有些工业过程在运转中可能会使工作液冷凝成粘状物质，这样可能使泵卡住，甚至导致运转失效。又如对于食品工业为代表的些特殊行业，这种污染更是非常不可取的。对于这些少数有着特殊需要的工业来说，就只能采用无油污的无油泵或水环式泵类湿式泵，但这类泵的真空度不高，耗水耗能严重，而且相应的工作时带有大量的水汽，因此对于有双头干式要求的，又不得不采用繁琐的物理化学吸附，冷凝低温。
6、复杂，加工难度大，需用特制的刀具在专用机床上进行加工。另外，对螺杆型双头干式真空泵泵体的加工精度也有较高的要求，而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。螺杆式双头干式真空泵广泛应用于电子核能化工医药食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片制造液晶显示器蚀刻生产的制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂食品工业中用于香料香精浓缩，食品包装等。应用范围极为广泛。.螺杆泵的应用及特点常见的泵可以分为容积式泵和动力式泵两大类。容积式泵包括往复泵转子泵和齿轮泵等，离心泵和轴流泵等则属于动力式泵。本文所研究的双螺杆泵属于容积式泵，它与离心泵往复泵齿轮泵滑片。
7、抽干空气或含少许水蒸汽的空气中等条件下的抽气，抽除工艺过程的反应气体，但无固体颗粒物恶劣条件下的抽气，抽除化学反应物有毒甚至致癌及固体颗粒物。另类是以石化行业为代表，要求真空泵能大量抽除可凝性气体，或腐蚀性气体，或有毒气体，或含有微尘的气体。传统油封真空泵在石化领域所面对的难题人们往往通过选用水蒸汽喷射泵水喷射泵水环泵水环罗茨机组等途径加以解决。但往往系统过于庞大，噪声也很大，同时工作过程中会产生很多的废水和其他的排放物，处理排出废物的投资也很昂贵。干泵的种类很多，目前已开发出来的有罗茨泵爪型泵祸旋泵往复活塞泵螺旋泵等.表是几种典型的干式泵性能的比较.表.几种典型的干泵性能的比较泵型般级数单级压缩比极限压力备注大气端真空端罗茨泵.易发热，需冷却爪形.加工装配有难度活塞型.怕抽带颗粒的气体涡旋型.间隙小难装调螺旋型.间隙小。
8、转速高旋片型.怕抽带颗粒的气体螺杆型.加工比较困难涡轮型多级串联.转速高螺杆式双头干式真空泵特点如下可靠性高。螺杆式双头干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。操作维护方便。动力平衡性好。螺杆式双头干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。适应性强。螺杆式双头干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响.多相混输。由于螺杆式双头干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性有毒含有粉尘可凝性蒸汽等多种气体。尽管螺杆型双头干式真空泵具有这么多的优点，然而，由于目前国内些公司正在使用的螺杆型双头干式真空泵均是从国外进口，价格非常昂贵，每台螺杆泵价格要三四十万元人民币，所以螺杆型真空泵在我国的使用并不广泛。造成这现象的主要原因是由于螺杆泵转子型线较。
9、要求提供比较清洁真空环境的真空工艺越来越多，甚至近于达到苛刻的要求，如微电子化学冶金医疗核聚变领域以及宇航新材料的开发等技术领域.都要求提供比较洁的内真空环境。传统的有油泵很难满足这些要求，无油泵的概念便自然而然的在此基础上提出。有些工业过程，如低压气相沉积，会产生些微小颗粒，这些颗粒在工作液中难以排除，它们可以使泵油污染，同样也会影响泵的抽气系统性能及使用寿命。而有些工业过程在运转中可能会使工作液冷凝成粘状物质，这样可能使泵卡住，甚至导致运转失效。又如对于食品工业为代表的些特殊行业，这种污染更是非常不可取的。对于这些少数有着特殊需要的工业来说，就只能采用无油污的无油泵或水环式泵类湿式泵，但这类泵的真空度不高，耗水耗能严重，而且相应的工作时带有大量的水汽，因此对于有双头干式要求的，又不得不采用繁琐的物理化学吸附，冷凝低温。
10、手段，从而使成本变得极其昂贵。如膜式泵，真空度不高，抽速小吸附泵，不仅抽速小，液氮的费用也很大。所以可以这样说，在当时能直接排入大气和高真空机绍相连接的泵类各有其缺憾，因此导致了双头干式泵不适宜大工业的应用。.课题背景及研究意义双头干式螺杆真空泵是双头干式泵家族中的员。所谓双头干式真空泵，般认为是能在大气压到的压力范围内工作在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵，也称无油真空泵。双头干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。总的来说是两种不同的需求推动开发出两种类型的干式泵。类是以半导体行业为代表，要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。清洁条件下的抽气，只。
11、复杂，加工难度大，需用特制的刀具在专用机床上进行加工。另外，对螺杆型双头干式真空泵泵体的加工精度也有较高的要求，而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。螺杆式双头干式真空泵广泛应用于电子核能化工医药食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片制造液晶显示器蚀刻生产的制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂食品工业中用于香料香精浓缩，食品包装等。应用范围极为广泛。.螺杆泵的应用及特点常见的泵可以分为容积式泵和动力式泵两大类。容积式泵包括往复泵转子泵和齿轮泵等，离心泵和轴流泵等则属于动力式泵。本文所研究的双螺杆泵属于容积式泵，它与离心泵往复泵齿轮泵滑片。
12、抽干空气或含少许水蒸汽的空气中等条件下的抽气，抽除工艺过程的反应气体，但无固体颗粒物恶劣条件下的抽气，抽除化学反应物有毒甚至致癌及固体颗粒物。另类是以石化行业为代表，要求真空泵能大量抽除可凝性气体，或腐蚀性气体，或有毒气体，或含有微尘的气体。传统油封真空泵在石化领域所面对的难题人们往往通过选用水蒸汽喷射泵水喷射泵水环泵水环罗茨机组等途径加以解决。但往往系统过于庞大，噪声也很大，同时工作过程中会产生很多的废水和其他的排放物，处理排出废物的投资也很昂贵。干泵的种类很多，目前已开发出来的有罗茨泵爪型泵祸旋泵往复活塞泵螺旋泵等.表是几种典型的干式泵性能的比较.表.几种典型的干泵性能的比较泵型般级数单级压缩比极限压力备注大气端真空端罗茨泵.易发热，需冷却爪形.加工装配有难度活塞型.怕抽带颗粒的气体涡旋型.间隙小难装调螺旋型.间隙小。
参考资料：
LWZ150双头螺杆型干式无油真空泵设计
