1、.和超长的磨损周期百万周期，为了实现这些良好的摩擦学特性，沉淀期间的喷溅条件必须依靠足够的膜衣服适当的膜结构形态学和适当的膜成分来实现。.介绍二硫化膜的喷溅成膜显示了非凡的摩擦特性，摩擦系数可以达度冷冻温度基质上时，非静态组织就会形成.非晶态膜非常脆并且没有任何润滑性能，基本上就是磨料。大多数二硫化钼溅射膜会在高温或温度持续升高条件下沉积并且根据晶体生长特点表现出典型柱状结构，此种情况下，低剪切力平面排成行并垂直于基质表面。正常情况下，柱状膜密度要低于原始辉钼矿密度.。膜表面旦发生滑动，对于基质面，合计面相平行系列平面就会在滑移方向上移动。在滑移过程中晶粒内部或晶粒与晶粒之间剪切是否会发生，目前还不得而知。前面研究,已经表明在滑移过程中，柱状结构很容易破裂并且大多数膜会被磨掉。只有部分厚度约.纳米残余连接在起薄膜留在表面断裂后这些薄剩余膜决定润滑效果二硫化钼溅射膜在柱状区域内都有断裂可能，如图中扫描电镜所示。因为膜断。
2、摩擦磨损行为相当关键。.依附性和接触面改性固体润滑膜粘附力很强是实现耐久生命力关键，因此在镀膜之前衬底表面制备对附着力大小有很大影响。在种程度上，它还会影响膜形核和长大特性，这就决定了柱状膜结构紧实密度，在沉积之前，最常用表面预处理是溅射刻蚀法清洗，这是靠在特定时间内辉光放电挤压基质完成。在或轴承钢表面上进行二硫化钼溅射成膜已经被深入研究，并且这些基质显示出超凡附着力,。增加基质表面密度并增加形核点预处理般可以增加膜对基质附着力。时下正开展更加广泛研究来了解决定依附力大小界面改性。在二硫化钼沉积实验之前图,由薄埃硬耐火材料化合物层例如，和发现了在界面改性过程中个显著特点这种薄硬中间层能够使粗糙界面变得平整并且在粗糙面变形时能够充当阻碍层。因此，导致会失效金属与金属直接接触得以避免。当用于滚动元件接触时，这些双层膜在持久寿命上有显著增长。对于持久寿命增长个可被接受解释就是因为有前面提到更小赫兹接触面。通过表面硬化氮化或。
3、.和超长的磨损周期百万周期，为了实现这些良好的摩擦学特性，沉淀期间的喷溅条件必须依靠足够的膜衣服适当的膜结构形态学和适当的膜成分来实现。.介绍二硫化膜的喷溅成膜显示了非凡的摩擦特性，摩擦系数可以达度冷冻温度基质上时，非静态组织就会形成.非晶态膜非常脆并且没有任何润滑性能，基本上就是磨料。大多数二硫化钼溅射膜会在高温或温度持续升高条件下沉积并且根据晶体生长特点表现出典型柱状结构，此种情况下，低剪切力平面排成行并垂直于基质表面。正常情况下，柱状膜密度要低于原始辉钼矿密度.。膜表面旦发生滑动，对于基质面，合计面相平行系列平面就会在滑移方向上移动。在滑移过程中晶粒内部或晶粒与晶粒之间剪切是否会发生，目前还不得而知。前面研究,已经表明在滑移过程中，柱状结构很容易破裂并且大多数膜会被磨掉。只有部分厚度约.纳米残余连接在起薄膜留在表面断裂后这些薄剩余膜决定润滑效果二硫化钼溅射膜在柱状区域内都有断裂可能，如图中扫描电镜所示。因为膜断。
4、示。因为膜断裂发生在柱状区域内并且会产生不必要磨屑，在不同柱状晶形成之前，溅射过程中膜厚度应保持在定范围内，而且当膜暴露或储存在潮湿空气中柱状结硫化钼溅射膜化学计量变化范围很广，从硫过量到硫不足硫钼比例从.,。值得注意是普通辉钼矿中硫和钼比率低至.，这种结构辉钼矿很适合做膜。最近研究表明在溅射过程中，少量水蒸汽存在对膜晶格类型形态和化学计量有很大影响,。二硫化钼溅射膜对湿度非常敏感并且容易被氧化，氧可以以很多种化学形态存在然而像这样氧化产物旦形成对于摩擦性能是非常不利，因为它是劣等润滑剂。研究也指出，氧可以替换硫，或者可以形成种新乡。然而，摩擦性能对于这些化学计量数改变非常敏感。当大多数溅射膜力求最好摩擦特性并用于商业化时这些溅射膜就会应用亚化学计量数，此时硫和钼比为.左右。.环境条件影响目前为止，环境条件是二硫化钼膜摩擦性能最大影响因素，在真空条件下优化后二硫化钼溅射膜显示出超低摩擦系数图。有非常低磨损率持久寿命达。
5、裂发生在柱状区域内并且会产生不必要磨屑，在不同柱状晶形成之前，溅射过程中膜厚度应保持在定范围内，而且当膜暴露或储存在潮湿空气中柱状结种类型微晶取向基底平面平行或垂直于衬底,如图所示，基地平面当平行于衬底时，表现出最低剪切力和摩擦力。.选择合适建设条件通过改变溅射条件如射频功率和氩气压力不同化学计量法密度形态附着力会生产出固体润滑膜，因此溅射生成膜表现出不同摩擦性能。因此对于每个特定溅射系统决定出能够生产最优溅射膜溅射条件是至关重要。例如用射频磁控溅射系统溅射值从毫托不等，射频功率也从不等，生产出所需膜密度形态和附着力需要氩气压力值是毫托射频功率为。在真空条件下销对盘摩擦机上这些优化薄膜显示出较低摩擦系数。.二硫化钼溅射膜特性因为非常薄二硫化钼润滑膜经常用于摩擦操纵装置，理解溅射条件和与之相对应薄膜性能摩擦磨损行为之间关系是非常重要，为了获得超低摩擦系数二硫化莫溅射膜，了解二硫化钼微观结构依附性结构以及化学成分是如何影。
6、几百万次.目前摩擦系数介于,.还不能得到精确解释然而，研究发现在溅射沉积过程中，渗入膜内少量氧会以水形式存在，这会影响膜化学和结构性能。当在潮湿环境中进行膜摩擦测试时相对湿度，摩擦系数最小为.并且有非常有限持久寿命。因此，在潮湿环境中，和真空条件下相比原始摩擦系数成倍增大。例如，含有二硫化钼涂层太空机械装置已经被组装，这种湿度敏感性也非常重要，因此，在发射之前必须要储存段时间。所以认识到储存环境必须是在真空或惰性气体条件下非常重要。前面所讨论各项异性晶体结构，可以表现出两种类型晶格取向。因此，不同化学性质基质或基面边缘都会是各向异性气体吸附反应更容易进行。水蒸气吸附反应典型特点就是受特定晶格取向影响很大。几面基本上不会发生化学反应或气体吸附，然而它们边缘平面容易发生氧化反应。因此，二硫化钼膜退化会从边缘开始逐渐向心部扩展，如果二硫化钼膜内相对基面有垂直取向并且保持相对较高湿度这种效应就会加速。因为边缘点很容易被氧化，。
7、碳或用氮或碳质材料进行离子注入来增加表面硬度也可达到相同效果。.结晶度晶体取向和晶体形态在溅射过程中仅仅通过改变基质温度就可使二硫化钼溅射膜晶体形态从晶态转变为非晶态。当二硫化钼被溅射到温度从摄氏度下降到摄氏度冷冻温度基质上时，非静态组织就会形成.非晶态膜非常脆并且没有任何润滑性能，基本上就是磨料。大多数二硫化钼溅射膜会在高温或温度持续升高条件下沉积并且根据晶体生长特点表现出典型柱状结构，此种情况下，低剪切力平面排成行并垂直于基质表面。正常情况下，柱状膜密度要低于原始辉钼矿密度.。膜表面旦发生滑动，对于基质面，合计面相平行系列平面就会在滑移方向上移动。在滑移过程中晶粒内部或晶粒与晶粒之间剪切是否会发生，目前还不得而知。前面研究,已经表明在滑移过程中，柱状结构很容易破裂并且大多数膜会被磨掉。只有部分厚度约.纳米残余连接在起薄膜留在表面断裂后这些薄剩余膜决定润滑效果二硫化钼溅射膜在柱状区域内都有断裂可能，如图中扫描电镜所。
8、示。因为膜断裂发生在柱状区域内并且会产生不必要磨屑，在不同柱状晶形成之前，溅射过程中膜厚度应保持在定范围内，而且当膜暴露或储存在潮湿空气中柱状结硫化钼溅射膜化学计量变化范围很广，从硫过量到硫不足硫钼比例从.,。值得注意是普通辉钼矿中硫和钼比率低至.，这种结构辉钼矿很适合做膜。最近研究表明在溅射过程中，少量水蒸汽存在对膜晶格类型形态和化学计量有很大影响,。二硫化钼溅射膜对湿度非常敏感并且容易被氧化，氧可以以很多种化学形态存在然而像这样氧化产物旦形成对于摩擦性能是非常不利，因为它是劣等润滑剂。研究也指出，氧可以替换硫，或者可以形成种新乡。然而，摩擦性能对于这些化学计量数改变非常敏感。当大多数溅射膜力求最好摩擦特性并用于商业化时这些溅射膜就会应用亚化学计量数，此时硫和钼比为.左右。.环境条件影响目前为止，环境条件是二硫化钼膜摩擦性能最大影响因素，在真空条件下优化后二硫化钼溅射膜显示出超低摩擦系数图。有非常低磨损率持久寿命达。
9、裂发生在柱状区域内并且会产生不必要磨屑，在不同柱状晶形成之前，溅射过程中膜厚度应保持在定范围内，而且当膜暴露或储存在潮湿空气中柱状结种类型微晶取向基底平面平行或垂直于衬底,如图所示，基地平面当平行于衬底时，表现出最低剪切力和摩擦力。.选择合适建设条件通过改变溅射条件如射频功率和氩气压力不同化学计量法密度形态附着力会生产出固体润滑膜，因此溅射生成膜表现出不同摩擦性能。因此对于每个特定溅射系统决定出能够生产最优溅射膜溅射条件是至关重要。例如用射频磁控溅射系统溅射值从毫托不等，射频功率也从不等，生产出所需膜密度形态和附着力需要氩气压力值是毫托射频功率为。在真空条件下销对盘摩擦机上这些优化薄膜显示出较低摩擦系数。.二硫化钼溅射膜特性因为非常薄二硫化钼润滑膜经常用于摩擦操纵装置，理解溅射条件和与之相对应薄膜性能摩擦磨损行为之间关系是非常重要，为了获得超低摩擦系数二硫化莫溅射膜，了解二硫化钼微观结构依附性结构以及化学成分是如何影。
10、摩擦磨损行为相当关键。.依附性和接触面改性固体润滑膜粘附力很强是实现耐久生命力关键，因此在镀膜之前衬底表面制备对附着力大小有很大影响。在种程度上，它还会影响膜形核和长大特性，这就决定了柱状膜结构紧实密度，在沉积之前，最常用表面预处理是溅射刻蚀法清洗，这是靠在特定时间内辉光放电挤压基质完成。在或轴承钢表面上进行二硫化钼溅射成膜已经被深入研究，并且这些基质显示出超凡附着力,。增加基质表面密度并增加形核点预处理般可以增加膜对基质附着力。时下正开展更加广泛研究来了解决定依附力大小界面改性。在二硫化钼沉积实验之前图,由薄埃硬耐火材料化合物层例如，和发现了在界面改性过程中个显著特点这种薄硬中间层能够使粗糙界面变得平整并且在粗糙面变形时能够充当阻碍层。因此，导致会失效金属与金属直接接触得以避免。当用于滚动元件接触时，这些双层膜在持久寿命上有显著增长。对于持久寿命增长个可被接受解释就是因为有前面提到更小赫兹接触面。通过表面硬化氮化或。
11、几百万次.目前摩擦系数介于,.还不能得到精确解释然而，研究发现在溅射沉积过程中，渗入膜内少量氧会以水形式存在，这会影响膜化学和结构性能。当在潮湿环境中进行膜摩擦测试时相对湿度，摩擦系数最小为.并且有非常有限持久寿命。因此，在潮湿环境中，和真空条件下相比原始摩擦系数成倍增大。例如，含有二硫化钼涂层太空机械装置已经被组装，这种湿度敏感性也非常重要，因此，在发射之前必须要储存段时间。所以认识到储存环境必须是在真空或惰性气体条件下非常重要。前面所讨论各项异性晶体结构，可以表现出两种类型晶格取向。因此，不同化学性质基质或基面边缘都会是各向异性气体吸附反应更容易进行。水蒸气吸附反应典型特点就是受特定晶格取向影响很大。几面基本上不会发生化学反应或气体吸附，然而它们边缘平面容易发生氧化反应。因此，二硫化钼膜退化会从边缘开始逐渐向心部扩展，如果二硫化钼膜内相对基面有垂直取向并且保持相对较高湿度这种效应就会加速。因为边缘点很容易被氧化，。
12、碳或用氮或碳质材料进行离子注入来增加表面硬度也可达到相同效果。.结晶度晶体取向和晶体形态在溅射过程中仅仅通过改变基质温度就可使二硫化钼溅射膜晶体形态从晶态转变为非晶态。当二硫化钼被溅射到温度从摄氏度下降到摄氏度冷冻温度基质上时，非静态组织就会形成.非晶态膜非常脆并且没有任何润滑性能，基本上就是磨料。大多数二硫化钼溅射膜会在高温或温度持续升高条件下沉积并且根据晶体生长特点表现出典型柱状结构，此种情况下，低剪切力平面排成行并垂直于基质表面。正常情况下，柱状膜密度要低于原始辉钼矿密度.。膜表面旦发生滑动，对于基质面，合计面相平行系列平面就会在滑移方向上移动。在滑移过程中晶粒内部或晶粒与晶粒之间剪切是否会发生，目前还不得而知。前面研究,已经表明在滑移过程中，柱状结构很容易破裂并且大多数膜会被磨掉。只有部分厚度约.纳米残余连接在起薄膜留在表面断裂后这些薄剩余膜决定润滑效果二硫化钼溅射膜在柱状区域内都有断裂可能，如图中扫描电镜所。
参考资料：
（外文翻译）二硫化钼润滑膜的溅射_原理、具体操作、局限性（外文+译文）
