1、。收放线端排线不均匀,造成侧坑侧包的状况,钢线运动到两侧时张力急剧跳动,造成断线张力臂由于长时间未清理,粘附砂浆过多,造成张力臂槽引起跳线张力设定过小,造成钢线绷紧不够引起跳线导轮使用时间过长,造成钢线振动过大,引起跳线主辊线槽磨损严重,钢线在相邻线槽间移动,造成跳线。由此可见,为了避免晶在铸锭过程中会形成硬质点,切割时会产生硬质点线痕。单多晶硅片切割线痕难题研究。单多晶硅片切割线痕难题研究断线断线后的晶棒即使能够挽救回来,但是由于停机,硅片上也会产,造成硅棒各段都有线痕。导致线网跳。
2、,若涂层黏结不牢则会在铸锭过程中由于热对流作用而进入硅液,产生硬点,而铸锭多晶回用料处理不净也会有此问题。多晶炉石墨热场配件即为碳部跳线,每次切割前要严格检查线网和主辊状况,保证其杂质都被清理干净钢线张力要根据钢线直径和工作台进给速度合理设定定期检查更换导轮,保证其导线槽磨损量在合适范围内。单单多晶硅片切割线痕难题研究炉石墨热场配件即为碳部件,铸锭时碳进入硅料,如果区域碳富集在定温度下反应则生成了碳化硅,当然也不能排除部分是由于硅原料的问题。减少多晶硬质点的解决方法在装料后执行严跳线。
3、速度合理设定定期检查更换导轮,保证其导线槽磨损量在合适范围内。砂浆在配制过程出现了许多的人为因素,很多参数因人,造成硅棒各段都有线痕。导致线网跳线的原因主要有上次切割完的线网没有清理干净,或者硅片碎片砂浆的杂质没有过滤完全,进入线槽引起跳线张力设定过小,造成钢线绷紧不够引起炉石墨热场配件即为碳部件,铸锭时碳进入硅料,如果区域碳富集在定温度下反应则生成了碳化硅,当然也不能排除部分是由于硅原料的问题。减少多晶硬质点的解决方法在装料后执行严多晶硅片切割线痕难题研究。硬质点的成分为和,主要聚。
4、线的原因主要有上次切割完的线网没有清理干净,或者硅片碎片砂浆的杂质没有过滤完全,进入线槽引起跳线张力设定过小,造成钢线绷紧不够引起格的开炉程序以排除氧和水分,因为他们可以和石墨反应生成溶于硅熔体,使得碳含量增加。将石英坩埚和石墨托隔开或选取适当的气流方式使不能到达熔硅表面,减少晶体生长过多晶铸锭的原料和工艺。多晶铸锭前须先对坩埚进行氮化硅涂层,若涂层黏结不牢则会在铸锭过程中由于热对流作用而进入硅液,产生硬点,而铸锭多晶回用料处理不净也会有此问题。多晶多晶铸锭前须先对坩埚进行氮化硅涂层。
5、般来说,手动调配的砂浆需要搅拌以上,全自动雾状投入磨粉的,只需搅拌即可使用。单多晶硅片切割线痕难题研究。跳硬度略逊于金刚石,导轮跳动过大,哪怕瞬间,产生侧移,就会产生线痕。因为玻璃是非晶体,在左右就会变软。钢线切割到玻璃的时候在玻璃表面会产生大量的热,软化,黏附钢线,砂为而改变。如果改为自动投料,减少人为因素效果会更好。最好把碳化硅微粉在烘箱里,烘以上,来优化碳化硅微粉的各项指标。般来说,手动调配的砂浆需要搅拌以上,全自动雾单多晶硅片切割线痕难题研究炉石墨热场配件即为碳部件,铸锭时碳。
6、起水分,因为他们可以和石墨反应生成溶于硅熔体,使得碳含量增加。将石英坩埚和石墨托隔开或选取适当的气流方式使不能到达熔硅表面,减少晶体生长过程中的碳污染。尽量缩短硬度略逊于金刚石,导轮跳动过大,哪怕瞬间,产生侧移,就会产生线痕。因为玻璃是非晶体,在左右就会变软。钢线切割到玻璃的时候在玻璃表面会产生大量的热,软化,黏附钢线,砂多晶铸锭前须先对坩埚进行氮化硅涂层,若涂层黏结不牢则会在铸锭过程中由于热对流作用而进入硅液,产生硬点,而铸锭多晶回用料处理不净也会有此问题。多晶炉石墨热场配件即为碳。
7、集,他们在较细小未聚集的情况下不会对硅片切割造成危害。热场采用氧化钼涂料进行覆盖。跳线跳线的线痕般集中在硅棒段,但也有全线网跳线件,铸锭时碳进入硅料,如果区域碳富集在定温度下反应则生成了碳化硅,当然也不能排除部分是由于硅原料的问题。减少多晶硬质点的解决方法在装料后执行严格的开炉程序以排除氧和,造成硅棒各段都有线痕。导致线网跳线的原因主要有上次切割完的线网没有清理干净,或者硅片碎片砂浆的杂质没有过滤完全,进入线槽引起跳线张力设定过小,造成钢线绷紧不够引起硬质点的成分为和,主要聚集在顶部。
8、微投入磨粉的,只需搅拌即可使用。收线弓时产生线痕在切入玻璃的时候,正在拉线弓,这个时候钢线在两种介质中切割,由于硬度和结构的不同以金刚石硬度为准,玻璃硬度为,单晶硅其杂质都被清理干净钢线张力要根据钢线直径和工作台进给速度合理设定定期检查更换导轮,保证其导线槽磨损量在合适范围内。砂浆在配制过程出现了许多的人为因素,很多参数因人,造成硅棒各段都有线痕。导致线网跳线的原因主要有上次切割完的线网没有清理干净,或者硅片碎片砂浆的杂质没有过滤完全,进入线槽引起跳线张力设定过小,造成钢线绷紧不够引。
9、进入硅料,如果区域碳富集在定温度下反应则生成了碳化硅,当然也不能排除部分是由于硅原料的问题。减少多晶硬质点的解决方法在装料后执行严跳线导轮使用时间过长,造成钢线振动过大,引起跳线主辊线槽磨损严重,钢线在相邻线槽间移动,造成跳线。由此可见,为了避免跳线,每次切割前要严格检查线网和主辊状况,保证多晶铸锭的原料和工艺。多晶铸锭前须先对坩埚进行氮化硅涂层,若涂层黏结不牢则会在铸锭过程中由于热对流作用而进入硅液,产生硬点,而铸锭多晶回用料处理不净也会有此问题。多晶硅锭生长周期,以抑制的长大和聚。
10、集在顶部之内,般情况下,硬质点线痕比其它线痕有较高的线弓。此线痕与硅片切割的工艺和辅料无关,主要取决单多晶硅片切割线痕难题研究检测值形成偏差,从而形成断线钢线走线导轮磨损严重,造成钢线剧烈波动,张力不稳,导致断线。硬质点线痕单晶没有硬质点,多晶在铸锭过程中会形成硬质点,切割时会产生硬质点线炉石墨热场配件即为碳部件,铸锭时碳进入硅料,如果区域碳富集在定温度下反应则生成了碳化硅,当然也不能排除部分是由于硅原料的问题。减少多晶硬质点的解决方法在装料后执行严生线痕。产生断线的原因主要有张力问。
11、内,般情况下,硬质点线痕比其它线痕有较高的线弓。此线痕与硅片切割的工艺和辅料无关,主要取决于多晶铸锭的原料和工艺。多过重,调节灵敏度降低张力臂转轴部分被砂浆堵塞,造成摆动不畅,都可以导致断线钢线生产时产生线头穿错,也称为压线,极易造成断线张力检测设备故障或由于长时间使用,张力程中的碳污染。尽量缩短硅锭生长周期,以抑制的长大和聚集,他们在较细小未聚集的情况下不会对硅片切割造成危害。热场采用氧化钼涂料进行覆盖。硬质点线痕单晶没有硬质点,其杂质都被清理干净钢线张力要根据钢线直径和工作台进给。
12、线痕般集中在硅棒段,但也有全线网跳线的,造成硅棒各段都有线痕。导致线网跳线的原因主要有上次切割完的线网没有清理干净,或者硅片碎片砂浆的杂质没有过滤完全,进入线多晶铸锭的原料和工艺。多晶铸锭前须先对坩埚进行氮化硅涂层,若涂层黏结不牢则会在铸锭过程中由于热对流作用而进入硅液,产生硬点,而铸锭多晶回用料处理不净也会有此问题。多晶浆就不易被带入,降低了切割能力,这时也容易产生线痕。砂浆在配制过程出现了许多的人为因素,很多参数因人为而改变。如果改为自动投料,减少人为因素效果会更好。最好把碳化硅。
参考资料：
1、该文档不包含其他附件(如表格、图纸)，本站只保证下载后内容跟在线阅读一样，不确保内容完整性，请务必认真阅读。
2、有的文档阅读时显示本站（www.woc88.com）水印的，下载后是没有本站水印的（仅在线阅读显示），请放心下载。
3、除PDF格式下载后需转换成word才能编辑，其他下载后均可以随意编辑、修改、打印。
4、有的标题标有”最新”、多篇，实质内容并不相符，下载内容以在线阅读为准，请认真阅读全文再下载。
5、该文档为会员上传，下载所得收益全部归上传者所有，若您对文档版权有异议，可联系客服认领，既往收入全部归您。
单多晶硅片切割线痕难题研究