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doc 国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目资金申请报告 ㊣ 精品文档 值得下载

🔯 格式:DOC | ❒ 页数:28 页 | ⭐收藏:0人 | ✔ 可以修改 | @ 版权投诉 | ❤️ 我的浏览 | 上传时间:2022-06-24 08:39

《国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目资金申请报告》修改意见稿

1、以下这些语句存在若干问题,包括语法错误、标点使用不当、语句不通畅及信息不完整——“.....公司技术人员经过反复实验比较不断优化, 设计出了合理热场,优化了温度分布,为提高单晶生长成品率实现该工艺的产 业化创造了又个有利条件。本项目中,单晶生长采用两步法,即先合成多晶然后再次备料生长单 晶,备好的多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两 温区炉高温区温度为。中温区为。这种加热结构既 得到所需的温度分布,又可抑制生长过程中的污染。 污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单 晶中。抑制污染的机理是 在合成和晶体生长中,高温区发生熔体中的与石英反应 分别表示液固气相。 反应使进入,反应使部分与反应生成气相 逸出,二者差值,造成中的并入。 高温区的气相扩散到中温区发生如下反应 反应消耗了,使反应向右继续进行,加剧了向中 的并入。反应与温度关系密切,如将温度升到以上,反应基 本停止......”

2、以下这些语句存在多处问题,具体涉及到语法误用、标点符号运用不当、句子表达不流畅以及信息表述不全面——“.....也要经过反复 实验研究不断优化。经过几年的开发,本项目单位已在国内独家掌握了该项 技术,该项技术达到世界先进水平。 关键技术的先进性 本项目产品年月通过了中国有色金属工业协会组织的科技成果鉴定, 鉴定结论为该项目利用本单位独创的石英舟预处理技术生长系统设计和制造 技术,固液界面特种加热炉设计和制造技术,研究开发了本项目产品生长工艺技 术和晶片加工工艺技术。通过提高单晶单炉产量和成品率,提高晶片加工成品率, 实现了水平砷化镓单晶材料的产业化,达到了预期的目标。该项目的技术达到国 际先进水平,产品质量也达到国际先进水平,同类商品国际市场占有率接近。 该产品与日本住友电工相比,各项技术指标均达到或高于其产品。 产品技术性能水平与国内外同类产品的比较 单晶产品产品形式有单晶锭和单晶片两种,主要有型掺单 晶和型掺单晶两种......”

3、以下这些语句在语言表达上出现了多方面的问题,包括语法错误、标点符号使用不规范、句子结构不够流畅,以及内容阐述不够详尽和全面——“.....鉴定结果为该项目利 用本单位独创的石英舟预处理技术生长系统设计和制造技术,固液界面特种加 热炉设计和制造技术,研究开发了本项目产品生长工艺技术和晶片加工工艺技 术。通过提高单晶单炉产量和成品率,提高晶片加工成品率,实现了水平砷化镓 单晶材料的产业化,达到了预期的目标。该项目的技术达到国际先进水平,产品 质量也达到国际先进水平,同类商品国际市场占有率接近。具备进步扩大 生产规模的技术条件。 本项目产品近年来大量用于红外和高亮度,目前产品成功进入世 界上最大的水平砷化镓单晶应用厂商日本住友电工公司。国外另重要用户韩国 的认为该项目产品质量等同于日本住友电工公司的产品。国内的中科 镓英公司大量购买本项目产品经加工后亦成功进入国际市场。 产品质量价格性能等情况 该项目产品质量优良,价格低于国外同类产品......”

4、以下这些语句该文档存在较明显的语言表达瑕疵,包括语法错误、标点符号使用不规范,句子结构不够顺畅,以及信息传达不充分,需要综合性的修订与完善——“..... 第二章技术可行性分析 项目技术路线工艺设备的合理性和成熟性关键技术 的先进性 项目技术路线 多晶合成单晶生长晶体加工 工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多 晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天 熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试 工艺及设备的合理性和成熟性自行设计的单晶生长系统 本项目研发生产采用自行设计的水平砷化镓单晶生长系统,该生长系统在国 际上未见成型产品,本项目单位根据多年工艺技术积累,选用精密的温控仪表 欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组 合,可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度,炉体移动速度 最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石 英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径 扩大不超过......”

5、以下这些语句存在多种问题,包括语法错误、不规范的标点符号使用、句子结构不够清晰流畅,以及信息传达不够完整详尽——“.....年建成了国内第个有台单晶生长系统的生产线, 年产单晶,使我国单晶年产量首次突破,我国单晶材料 研究由长期实验室阶段向产业化迈出了第大步。国瑞电子材料有限责任公司 年月注册成立,由北京有色金属研究总院和有研半导体材料股份有限公 司共同出资组建。注册资金万元,有研总院占股份,对该公司有绝对 控股权,原有研总院该项目研发人员全部转入国瑞公司继续水平砷化镓项目的研 究与开发工作。 目前企业拥有单晶生产系统台及相应的晶片加工切片机磨 片机划园机倒角机抛光机等性能检测设备,因此,承担本项目,国瑞公 司具有人员和技术优势。第三章项目成熟程度 产品检测鉴定及用户使用情况 本项目产品技术成熟,年通过了中科镓英半导体有限公司质量管理部 所做的测试报告,报告显示国瑞公司向本公司提供的型单晶和掺 型单晶与国瑞公司所提供的产品所有参数完全致......”

6、以下这些语句存在多方面的问题亟需改进,具体而言:标点符号运用不当,句子结构条理性不足导致流畅度欠佳,存在语法误用情况,且在内容表述上缺乏完整性。——“.....本项目单位国瑞公司生产的这两种单晶各项技术指标与国际同 类产品致,完全达到了国际同类产品先进水平,本产品与日本住友电工 公司各项指标对比如下 北京有研总院国瑞公司日本住友电工 产品类型 技术指标 型掺 晶片直径 产品类型 技术指标 型掺 晶片直径, 项目承担单位在实施本项目中的优势 研发能力强是本单位的固有优势,企业前身是北京有色金属研究总院化合物 半导体材料研究室。成立于年,从成立之日起就开始水平单晶研究, 年底研制成功国内第根水平单晶,先后承担多项国家科技攻关项目 和军工配套项目,取得国家及部级科研成果项,这些成果均达到国际上同类产 品技术水平或填补国内空白。年原国家计委选定北京有研总院组建国家半 导体材料工程研究中心,作为国家半导体材料工程化研发基地,加快了 单晶材料的产业化步伐。年在国内首次拉制重......”

7、以下这些语句存在标点错误、句法不清、语法失误和内容缺失等问题,需改进——“.....因此首先要 解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利,不出 多晶孪晶。生长完成后,晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体完整 性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长的个较 严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳,碳舟虽可避免粘接问题,但 碳易大量掺入晶体成为有害杂质,从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞 公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法,成为本公司项 独特的专有技术石英舟预处理技术,该项技术主要是在适当的溶剂中进行 热处理,它可保证在长达天的单晶连续生长中,熔体与舟不粘接,单晶生长 完成后,单晶顺利脱舟。 纵向温度分布技术 通过中高温热场的合理配置,提高晶片的纵向均匀性,有利于提高成品率。 本项目所设计的水平单晶炉是种多段式两温区炉......”

8、以下文段存在较多缺陷,具体而言:语法误用情况较多,标点符号使用不规范,影响文本断句理解;句子结构与表达缺乏流畅性,阅读体验受影响——“.....为使所切晶片上电学参数尤其是载流子 浓度均匀分布,固液界面也必须与生长方向成定角度。因为杂质主要是掺 杂剂的分凝是以固液界面为界线的,如果单晶生长过程中固液界面与生长 方向之间角度和所切晶片晶向与单晶生长方向之间角度不致,所切晶片上的载 流子浓度会形成浓度梯度,即得不到均匀分布,这会对在晶片上生长 外延材料及器件的成品率和性能造成不良影响。角度不致还有可能在晶体内部 出现热应力而导致晶体完整性差,使增大,从而降低成品率。国内外在水平 单晶研究开发中,多年来都是使用管状加热炉。因此,固液界面只能与生 长方向垂直,无法得到所需要的偏角。 管状加热炉除了无法得到所需偏角以外,还很难调制固液晶生长方向之间的夹角致。同时,采用这特种加热炉,通 过高温区中温区和固液界面区温度分布的控制,很容易调平固液界面。当 然......”

9、以下这些语句存在多方面瑕疵,具体表现在:语法结构错误频现,标点符号运用失当,句子表达欠流畅,以及信息阐述不够周全,影响了整体的可读性和准确性——“..... 我们对多段炉的设计,各段炉温的单独控制及其协调配合控制也进行 了反复实验研究并不断进行了优化,对提高单晶生长成品率发挥了重要作用。 单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热 炉的相对移动速度是另个重要的技术参数因为熔体结晶的快慢与结晶潜 热的产生,正常传递密切相关,结晶速度控制不当,会严重干扰内加热炉所形 成的温度分布,进而影响单晶正常生长,本项目在对热场配置进行优化时,兼 顾了采用合适的结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉 可很好调整固液界面形状,这对生长不同晶向晶体降低位错密度,提高 成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状的控制是提高成品率的关键技 术。在水平单晶生长过程中,无法完全按器件制造所要求的晶向生长,即晶体生 长方向与晶片的晶向有定的夹角,这导致了水平单晶的切片......”

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