1、经分析，合格的精制三氯氢硅进入精三氯氢硅储槽， 不合格的则返回三氯氢硅储槽。二级全凝器的尾气进入尾气缓冲罐， 再经尾气洗涤塔洗涤达标排空。洗涤水进入中和池进行处理。精馏的 釜底残液及轻组分三氯氢硅则进入高低沸物槽，装车外卖。 还原系统及尾气回收系统 精制的三氯氢硅经过鼓泡气化后与精制氢气。
2、会核准， 期前期年产吨多晶硅项目正式开工建设。至目前，土建已基本 完工，大部分设备已进厂，现正安装并调试。 为抓住绝佳的市场机遇，使项目能尽快按期规模建成投产，完 成公司生产能力在最短的时间内迅速达到年产多晶硅吨的既定 目标，公司决策层决定立即增资扩建以完善期工程。 核准通过，归档资料。
3、技术服 务等。硅材料有限公司在樟树盐化工业基地征地亩，利用 蓝恒达化工有限公司其厂址就在樟树盐化工业基地内，并与 硅材料有限公司仅路之隔氯气和氢气的原料优势和公司本身技术 和资金优势投资建设多晶硅生产线中间产品为三氯氢硅，根据公 司发展规划，整个项目拟分四期建设第期先上吨，待生产稳 定。
4、在还原炉内，在以硅芯作为载体的表面，在高温下还原沉积为多晶硅。通过调节电流强度， 控制载体温度，使炉内载体直径变粗，达到供直拉单晶硅所需直径要 求的多晶硅。 还原尾气经两级螺旋板换热器降温后进入尾气回收器，未凝气体 与还原尾气经换热后进入水喷淋洗涤塔洗涤，再经丝七月，经宜春市发展和改革委员。
5、如下表 期前期工程土建高三氯氢硅的转化率，降低其消耗，同时极大地解决 尾气排放造成的污染问题。 本项目选择改良西门子法生产多晶硅。 该工艺流程采用三氯氢硅和氢气分别经过精制，进入还原炉，在 高温下进行还原，获得的多晶硅棒经过后处理而获得高纯度的多晶硅。同时对还原尾气进行处理，回收三氯氢硅。
6、理，再进入氢气净化装臵净化，得到高 纯氢气供还原车间等生产使用。 三氯氢硅精制工序 自制的三氯氢硅放入三氯氢硅储槽，再经泵送往高位槽，经控制 流量后进入精馏塔釜，从塔顶出来的气相经全凝器二级进行冷凝 得到的冷凝液再经过滤器，路返回精馏塔顶作为回流液，路作为 产品流入计量槽。经分析，合格。
7、水器硅胶干燥器， 再进入二次氢气净化器进行净化得到精制氢气。 该项目同时建设有电解水制氢系统。采用纯化水经电解槽电解， 制氢装臵分离氢氧等初步处理，再进入氢气净化装臵净化，得到高 纯氢气供还原车间等器及氢气冷却器 带经济器螺旋杆盐水机开启式螺杆冷水机组 空压机 轴流风机 。
8、法 又称西门子法这两种。 硅烷法是采用精制后的硅烷进行热分解反应，析出硅，从而获得 多晶硅棒，再经进步处理后而获得多晶硅产品除氧器冷却器冷冻除水器硅胶干燥器， 再进入二次氢气净化器进行净化得到精制氢气。 该项目同时建设有电解水制氢系统。采用纯化水经电解槽电解， 制氢装臵分离氢氧等初步处。
9、，四氯化硅和氢气。回 收的三氯氢硅四氯化硅氢气经精制后再进入还原炉中生产多晶硅。 多晶硅的产品质量达到的要求。 工艺流程简述 氢气精制工序 由该公司相临的蓝恒达化工管道送来的氢气及回收氢气进 入氢气气柜，经水环泵加压后的氢气经分离器氢气冷却器片碱干 燥器活性碳吸附器除氧器冷却器冷冻除。
10、后陆续上二三四期每期产能吨，公司最终规模为年产 多晶硅吨。二七年等生产使用。 三氯氢硅精制工序 自制的三氯氢硅放入三氯氢硅储槽，再经泵送往高位槽，经控制 流量后进入精馏塔釜，从塔顶出来的气相经全凝器二级进行冷凝 得到的冷凝液再经过滤器，路返回精馏塔顶作为回流液，路作为 产品流入计量槽。。
11、 申报单位及项目概况 项目申报单位概况 硅材料有限公司是由美国通用硅材料有限公司与南昌赣宇 有机硅有限公司于年月日办理企业法人营业执照并合资组 建的中外合资股份制企业，法人代表，注册资本万美元折 合人民币万元，实收资本万美元，公司类型为有限责 任公司中外合资，经营范围多晶硅开发生产销售。
12、。 未经允许，请勿外传,项目概况 项目名称合资硅材料有限公司年产吨多晶硅 增资扩建至吨建设项目 建设单位硅材料有限公司 法人代表 建设地点樟树市盐化工业基地 建设规模年扩产多晶硅吨，使年总产能达到多晶硅 吨 工艺技术方案简述 目前多晶硅的主要生产方法分别为硅烷法和三氯氢硅氢还原。
参考资料：
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（定稿）由原年生产百吨多晶硅增资扩建至百吨工程项目实施计划方案（完整版）