1、安全。本技术中其他生产安全标准，如化工品使用安全等都是常规标准，参照国家相关规定执行。火工品使用资格审批本技术涉及火工品使用资格审批与常规审批方式相同，依据民用爆炸物品安全管理条例到安全生产监督管理局和公安局办理。火工品使用与保管依据民用爆炸物品安全管理条例，负责本技术合成步骤生产工人可聘用具有火工品使用资格证人员，培训由技术方负责指导。技术方由资深爆炸力学专家组成，具有长期安全使用火工品资格和信誉，因此不存在安全生产隐患。火工品依据民用爆炸物品安全管理条例进行保管和运输，与常规民用爆炸物品保管和运输方式相同。项目环保噪声本技术在增加回收率和减少噪音污染方面有了长足进步。目前国内爆炸合成金刚石均在露天进行，噪声大，爆炸产物四处飞散，产品回收率不高。本技术采。
2、韧，冲击韧性可达到单晶金刚石倍，工业使用价值极高。但聚晶金刚石蕴藏在地下数百公里岩体里，只有火山喷发时才被带出地表，并且储量少发现困难，价值昂贵，不能满足生产需要。由于以半导体工业为基础微电子产业迅速发展，自年代以来美国公司就看到了硅片精加工中所蕴涵巨大商机和挑战，积极开展了静压法单晶金刚石在硅片加工应用方面研究。但单晶金刚石沿解理面脆断形成锋利刃口不可避免会划伤工件表面，而硅材料微电子性能对表面轻度损伤又极端敏感。在这种背景下逐渐发展了另种硅片加工工艺，即化学腐蚀抛光法。这工艺对于小尺寸硅片发挥了良好作用，现已成为硅片加工主流工艺。由于化学腐蚀抛光法无法保证硅片整体平整度，随着硅片尺寸越来越大，精度要求越来越高，这种工艺已不能满足需要，这就为在硅片超精细。
3、法激波法直接生成聚晶金刚石，这是目前国外采用生产方法，国内只有少部分企业掌握该技术。爆轰聚合法用爆轰法合成纳米金刚石微粉，年代始于前苏联科学院有关研究所。其原理是利用炸药爆炸时负氧反应，其中未氧化碳原子凝聚成碳液滴，在爆轰反应高温高压下转变成颗粒为纳米尺度金刚石微粉。该技术为俄罗斯专利。中国科学院兰州化目录第章项目概述项目名称项目背景项目内容项目产品特点及应用领域项目产品特点项目产品应用领域投资必要性和预期经济效益投资必要性预期经济效益本企业实施该项目优势第章技术可行性分析国内外发展现状本项目技术创新性项目承担单位在实施本项目中优势第章项目成熟度核准通过，归档资料。未经允许，请勿外传,技术可靠性产品及性能第章市场需求情况和风险分析产品应用前景硅片加工应用方。
4、会效益和经济效益。产品理化性能指标高，具有极强市场竞争力和广阔市场前景。本项目是以石墨为原料，在激波产生超高压万大气压高温约度下，合成纳米聚晶金刚石微粉新技术。采用本技术生产纳米聚晶金刚石，具有独特类球状形貌。这种金刚石各向同性，无解理面。它既具有超常硬度，又有纳米材料高强度和高韧性。作为超精细加工磨料，它不易划伤工件表面，能满足最苛刻加工要求。在磨削过程中，随着纳米晶粒适时自动剥落，不断出现新锋利微观刃口，这种性质被称为自锐性。自锐性使得磨削效率高工件表面平整件，通过大量计算和野外实验筛选出了工艺参数最佳组合，对技术方案和工艺流程做了重大改进和更新。目前军用高能炸药爆压不足以使石墨相变，所以需通过增压技术产生左右压力，才能使占石墨总量型石墨相变。欲使型石。
5、面碳化硅晶片加工方面巨磁阻磁头加工方面切削加工方面副产品纳米单晶金刚石应用纳米聚晶金刚石主要生产单位情况国外生产情况国内生产情况本项目产品在国内外市场地位超精细加工工艺路线发展趋势给本项目产品带来机遇与国际产品竞争市场预测第章项目投资估算及资金筹措项目投资估算投资规模主要设备概算生产占地生产人员资金筹措方案第章经济和社会效益分析经济效益分析产品成本分析经济效益项目盈亏平衡社会效益第章项目实施方案项目开发计划产能规划和实施步骤产品规划项目实施内容工艺流程原辅材料来源及供应渠道生产设备建设周期公用工程第章项目安全生产符合安全标准，则使用中不存在安全隐患。相对于其他民爆物品使用方式如采矿开放式作业，本技术安全生产审批更容易，民用爆炸品使用资格更好获得，工人生产更。
6、加工中使用纳米聚晶金刚石微粉提供了契机。由纳米聚晶金刚石微粉制成磨具或研磨剂，可用于各种坚硬材料制品精细加工和抛光，与单晶金刚石微粉相比，其加工效率高表面光洁度高，显示了优异性能。用纳米聚晶金刚石加工芯片在计算机领域以及传统支柱产业如汽车航空工业中有着广泛应用前景。爆炸合成聚晶金刚石已有多年历史，但规模并不大。这是由于其本身存在些未能克服缺点，主要表现为每公斤炸药产量不高操作不够简便，难以规模化。为了改善这种供不应求局面，中国科学院爆炸力学专家经过长期理论和时间研究对技术方案和工艺流程做了重大改进和更新，使纳米聚晶金刚石得以产业化生产。项目内容本项目引入中科院成熟技术，利用山西省丰富石墨资源，建成年产万克拉纳米聚晶金刚石生产高新技术企业。项目建成并达产后，。
7、模为万克拉年纳米聚晶金刚石生产技术项目，分前后二期建设上马。该项目总投资万元，年产值万元，年税后利润万元，项目达产后投资回收期为年。项目建成并达产后，企业将成为国内最大纳米聚晶金刚石生产企业。院将派出在应用激波法制备纳米聚晶金刚石领域研究多年专家亲自承担项目规划及指导培训本企业员工。本企业技术力量雄厚，现有专业技术人员人，其中正高级工程师人，副高级工程师人，工程师人，助理工程师人。第章技术可行性分析国内外发展现状纳米聚晶金刚石是人造金刚石种，由大量纳米金刚石聚集而成，按照纳米聚晶金刚石结构特点，目前国内外有两种途径制备纳米聚晶金刚石。条是利用静压法或者爆轰法生产纳米金刚石，然后通过高压和粘合剂作用下聚合生成聚晶金刚石，这是目前国内常用生产方法另种是利用爆炸。
8、企业将成为国内最大纳米聚晶金刚石生产企业。为我国芯片太阳能光伏机床刀具等产业发展奠定基础。项目产品特点及应用领域项目产品特点本项目生产纳米聚晶金刚石，具有独特类球状形貌，各向同性，无解理面。它既具有超常硬度，又有纳米材料高强度和高韧性。作为超精细加工磨料，它不易划伤工件表面，能满足最苛刻加工要求。在磨削过程中，随着纳米晶粒适时自动剥落，不断出现新锋利微观刃口，这种性质被称为自锐性。自锐性使得磨削效率高工件表面平整度高损伤层浅，最适合应用于高档硅片研磨和抛光。在高新技术产业和传统支柱产业中均有重要应用。项目产品应用领域纳米聚晶金刚石广泛应用于集成电路硅片碳化硅晶片太阳能光伏电池硅片以及磁头等产业制品超精细加工中。在集成电路硅片领域，纳米聚晶金刚石微粉用作研磨。
9、用是封闭式爆炸设施，基本可以做到回收。与敞开式相比，距爆炸中心米处，噪音低于分贝，降低了噪音污染，降低了选址难度。在封闭式爆炸设施设计理论上，突破了国内外第代和第二代设计思想，采用激波冲量代替激波压力进行强度设计。设计合理性得到了实验验证。废液和废气在金刚石提纯过程中要用强酸强碱。化学反应后废液中主要含硫酸锰硫酸钾碳酸钠碳酸钾，不含重金属和有毒物质。其中碳酸钾可以用作叶面喷施肥料。硫酸钾是钾肥，还可用为制造钾盐原料。硫酸锰是重要微量元素肥料之。排出气体经过冷凝塔喷淋塔中和。排入大气废气每立方米含酸量小于毫克，低于每立方米毫克国家标准。将实现密封反应釜和管道化化学处理流程，实现零污染排放。第章结论与展望激波法合成纳米聚晶金刚石项目符合国家产业政策，具有良好社。
10、，因而无需经过破碎和浑圆化处理，可以直接进入分级和悬浮工序。本项目技术与专利对比见下表。表本技术与美国杜邦公司专利对比次用炸药量公斤爆炸工序周期每公斤炸药得金刚石克拉粒度形貌成本售价克拉专利数天小于微米为主，需破碎砾石状，需整形高美元本项目技术小于分钟亚微米为主，无需破碎类球状，无需整形低成本元人民币项目承担单位在实施本项目中优势第章项目成熟度技术可靠性中科院力学所和物理所于年在国内首先联合开展了爆炸合成金刚石实验研究。七十年代初，国内先后有多家开展了此项工作，但由于缺乏改进和持续发展能力而先后停止。中科院力学所多位科学家坚持研究，完成了批颇具特色成果，发表后获得国内外同行好评。年力学所专家为有关公司创建了中国第家规模化生产爆炸合成金刚石厂。每公斤炸药金刚。
11、墨相变，通常用掺金属粉办法提高压力。在公司专利中金属粉甚至掺到试样总重，能转变金刚石石墨只剩了。即使型石墨参与了相变，每公斤炸药产出也不足克拉。高达以上金属需用化学方法除去，不仅增加了成本也带来环保沉重压力。本项目增压装臵，可在少掺或不掺金属粉情况下也可使型石墨相变，使每公斤炸药产出克拉以上，从而大大降低了成本。本项目爆炸装臵操作方便安全。爆炸场地建设投资少。爆炸工序周期短，可以连续作业，为规模化生产创造了条件。用公司方法生产纳米聚晶金刚石为砾石状，粒度在微米量级，用于超精细加工时需经过破碎和整形两道工序才能使用见图和表。本项目生产金刚石微粉自然呈类球状见图，能胜任最苛刻硅片超精细加工要求。其粒度主要分布在亚微米量级，粒度恰与目前半导体超精细加工要求相吻合。
12、石产量约为克拉，年产能力为万克拉，其产品直接供应给军方。近年来中国科学院力学所专家，对合成纳米聚晶金刚石技术方案和工艺流程做了重大改进和发展，形成了本项目技术成果。日本公司采用我们类球状聚晶金刚石和国际驰名品牌公司聚晶金刚石研磨铁氧体时，对磨削效率和平整度进行了比较。试件原始表面划痕深度均。年内达到年产万克拉规模。其中第年度与环保项目生产安全生产安全标准火工品使用资格审批火工品使用与保管项目环保噪声废液和废气第章结论与展望第章项目概述项目名称纳米聚晶金刚石安全高效生产技术项目背景金刚石是世界上最坚硬物质，它有两种形态，种是单晶金刚石，它具有无可比拟硬度，但性脆不耐冲击另种是聚晶金刚石，其外表呈灰黑色，被称作，天然是种名贵聚晶金刚石，各向同性，质地非常致密坚。
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