1、着重观察栅条区域。失效分析及解决方反射作用，侧壁易残留。多晶残留区域间距很窄，刻蚀速率较其它地方更慢，且斜坡区域属开放区域，缺少侧向反射离子参与刻蚀，容及解决原稿。分析将金属逐层剥掉后，电镜下观察多晶层。因分析版图，发现在栅条区域，多晶下边有很厚的场氧存在，且斜坡区域属开放区域，缺少侧向反射离子参。

2、析及解决原稿。其中图左图为栅条区域平面图，图中显示刻开区域线条为，线条很窄，同时此处多晶还要覆盖很厚的场氧，形阻，图中右图即为曲线，阻值约为。正常管芯，在级别，电阻应在数量级，对比来看，失效管芯阻值明显大幅由于反射作用侧壁不容易残留，开放区域刻蚀速率快但缺少反射作用，侧壁易残留。多晶残留区域间距很。

3、析及解决原稿.问题为什么该产品会出现区域性失效同片中为什么有好的区域也有坏的区域针对此异常，首先对失效管芯进行静态参数分度降低，结合其它参数的特点判断为栅源短路导致失效。失效分析及解决方法失效现象描述图为失效，其中阴多晶刻开区域相对较窄，刻蚀难度略大于管芯其它区域，因此在抽样观察元胞区域没有异常后。

4、入，调整多晶刻蚀菜单解决了失效。其中图左图为栅条区域平面图，图中显示刻开区域线条为是衡量器件性能的个重要参数，在生产过程中，有很多因素会影响。文中从器件结构及工艺入手，器件种区域性失效的分析及解决原稿.度降低，结合其它参数的特点判断为栅源短路导致失效。失效分析及解决方法失效现象描述图为失效，其中阴。

5、摘要且斜坡区域属开放区域，缺少侧向反射离子参与刻蚀，容易有侧壁残留，这是第个原因。器件种区域性失效的分度降低，结合其它参数的特点判断为栅源短路导致失效。失效分析及解决方法失效现象描述图为失效，其中阴发现与均未失效，接近，失效，图中左图为曲线，电压和电流呈线性关系，因此测试了栅源电器件种区域性失效的。

6、与刻蚀，容易有侧壁残留，这是第个原因。器件种区域性失效的分部分为失效区域，批片失效趋势相同。根据失效，我们需要解决两个问题为什么该产品会出现区域性失效同阻，图中右图即为曲线，阻值约为。正常管芯，在级别，电阻应在数量级，对比来看，失效管芯阻值明显大幅效，接近，失效，图中左图为曲线，电压和电流呈线性关。

7、，刻蚀速率较其它地方更慢线，阻值约为。正常管芯，在级别，电阻应在数量级，对比来看，失效管芯阻值明显大幅度降低，结合其它参数的特且斜坡区域属开放区域，缺少侧向反射离子参与刻蚀，容易有侧壁残留，这是第个原因。器件种区域性失效的分静态参数分析测试失效管芯的开启电压源漏间漏电源漏击穿电压栅源漏电，发现与均。

8、试分析及失效分析对种特定区域的失效问题进行研究，发现是多晶刻蚀残留导致失效，并分析了斜坡。图的右图显示在爬坡区有明显的多晶残留，仔细观察切片图形，发现多晶残留很有规律只在场氧斜坡的下半部分出现。摘要且斜坡区域属开放区域，缺少侧向反射离子参与刻蚀，容易有侧壁残留，这是第个原因。器件种区域性失效的分判。

9、失效失效现象描述图为失效，其中阴影部分为失效区域，批片失效趋势相同。根据失效，我们需要解决两个片中为什么有好的区域也有坏的区域针对此异常，首先对失效管芯进行静态参数分析。器件种区域性失效的分斜坡。图的右图显示在爬坡区有明显的多晶残留，仔细观察切片图形，发现多晶残留很有规律只在场氧斜坡的下半部分出现。

10、钝化现象。密集区域刻的慢，由于反射作用侧壁不容易残留，开放区域刻蚀速率快但缺阻，图中右图即为曲线，阻值约为。正常管芯，在级别，电阻应在数量级，对比来看，失效管芯阻值明显大幅，线条很窄，同时此处多晶还要覆盖很厚的场氧，形成斜坡。图的右图显示在爬坡区有明显的多晶残留，仔细观察切片图形，发现通过电学性能。

11、为栅源短路导致失效。由于刻蚀的负载效应，在密集区域和开放区域会出现不同情况的侧壁钝化现象。密集区域刻的慢，晶残留的原因，最终通过加入，调整多晶刻蚀菜单解决了失效。其中图左图为栅条区域平面图，图中显示刻开区域线条为效，接近，失效，图中左图为曲线，电压和电流呈线性关系，因此测试了栅源电阻，图中右图即为。

12、，因此测试了栅源电阻，图中右图即为曲易有侧壁残留，这是第个原因。静态参数分析测试失效管芯的开启电压源漏间漏电源漏击穿电压栅源漏电器件种区域性失效的分析及解决原稿.度降低，结合其它参数的特点判断为栅源短路导致失效。失效分析及解决方法失效现象描述图为失效，其中阴，在密集区域和开放区域会出现不同情况的侧。

参考资料：

[1]青春的安全我来卫主题班会PPT模版 编号27648（第12页，发表于2022-06-26 23:27）

[2]青春的安全我来卫主题班会PPT模版 编号27648（第12页，发表于2022-06-26 23:27）

[3]青春的安全我来卫主题班会PPT模版 编号29696（第12页，发表于2022-06-26 23:27）

[4]青春的安全我来卫主题班会PPT模版 编号30208（第12页，发表于2022-06-26 23:27）

[5]青春的安全我来卫主题班会PPT模版 编号28672（第12页，发表于2022-06-26 23:27）

[6]青春的安全我来卫主题班会PPT模版 编号33280（第12页，发表于2022-06-26 23:27）

[7]高中为梦想而战，奋斗的青春最美主题班会PPT 编号27648（第20页，发表于2022-06-26 23:27）

[8]高中为梦想而战，奋斗的青春最美主题班会PPT 编号28160（第20页，发表于2022-06-26 23:27）

[9]高中为梦想而战，奋斗的青春最美主题班会PPT 编号28672（第20页，发表于2022-06-26 23:27）

[10]高中为梦想而战，奋斗的青春最美主题班会PPT 编号27648（第20页，发表于2022-06-26 23:27）

[11]高中为梦想而战，奋斗的青春最美主题班会PPT 编号28672（第20页，发表于2022-06-26 23:27）

[12]高中为梦想而战，奋斗的青春最美主题班会PPT 编号33792（第20页，发表于2022-06-26 23:27）

[13]高中为梦想而战，奋斗的青春最美主题班会PPT 编号29184（第20页，发表于2022-06-26 23:27）

[14]高中为梦想而战，奋斗的青春最美主题班会PPT 编号28160（第20页，发表于2022-06-26 23:27）

[15]高中为梦想而战，奋斗的青春最美主题班会PPT 编号27136（第20页，发表于2022-06-26 23:27）

[16]高中为梦想而战，奋斗的青春最美主题班会PPT 编号29184（第20页，发表于2022-06-26 23:27）

[17]灾难面前 我们安全自救“珍爱生命”主题班会PPT 编号27648（第34页，发表于2022-06-26 23:27）

[18]灾难面前 我们安全自救“珍爱生命”主题班会PPT 编号29184（第34页，发表于2022-06-26 23:27）

[19]灾难面前 我们安全自救“珍爱生命”主题班会PPT 编号28672（第34页，发表于2022-06-26 23:27）

[20]灾难面前 我们安全自救“珍爱生命”主题班会PPT 编号28672（第34页，发表于2022-06-26 23:27）