度。测试取样测试氧碳含量及电阻率等。圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角圆弧滚磨光滑。超声波清洗将方棒清洗干净。晶棒粘接将准方形单晶硅棒粘接在专用工作台上。线锯切片将工作台装到多线切片机上,多线切片机进行切片,切片结束后,从多线切片机卸下工作台。硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。样片测试测试合格,包装入库。产品目标市场本项目产品全部内销。主要设备选型主要设备仪器选择本项目工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究发展前提下,选择性价比高工艺设备。主要设备和仪器本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套,共计万元。其中进口设日本全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表二期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切片机全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表二期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表三期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切片机全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表三期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计配套工程设计方案总平面布置本项目采用次规划,分期实施原则建设,总规划用地亩,总建筑面积平方米。其中期工程用地亩,总建筑面积平方米,位于规划用地东侧二期工程用地亩,总建筑面积平方米,位于规划用地中部三期工程用地亩,位于规划用地西侧,总建筑面积平方米。项目用地内设置个出入口,其中主入口位于期用地北面,为主要人流出入口,另外四个出入口分别位于三块用地交界路上,为主要货物出入口。在厂房四周设计环形道路,供消防和物流使用。综合楼等相关生活设施位于用地西南角,与生产设施相对隔离。变电站位于期用地西北角,靠近市政供电线路。废水处理站位于二期用地西北角,靠近黄太路,离主要废水排放点洗料厂房和切片厂房较近,便于废水就近排放和综合治理。各期分设动力中心动力站及水池,并靠近各期负荷中心,节约能源。综合仓库位于二期用地东侧,靠近主要物流出入口,且与生产车间较近,有利于物料传输。土建主要建筑物洗晶车间栋洗晶车间为单层钢筋混凝土框架结构建筑,层高米。长,宽。单晶厂房栋单晶厂房均为二层钢筋砼框架结构,钢筋混凝土屋顶,层层高米,二层米建筑火灾危险类别为丁类层主要为单晶炉下半部分以及变消防系统消防水量消火栓给水系统室内外消火栓给水采用独立临时高压系统,由消防蓄水池电消火栓加压电泵高位消防水箱消火栓管网和室内外消火栓组成。消防蓄水池采用地下式钢筋混凝土水池消火栓泵采用消防专用泵,为自灌式吸水。除消防水箱设在最高处屋面上,其余设备均设于地下水泵房内。平时室内外消火栓给水管网压力由消防水箱保证,消火栓泵可以就地启停,也可在消防控制中心手动启停,同时室内消火栓泵可由室内消火栓箱内按钮远距离启动,消防时主泵启动前室内消防用水由消防水箱保证。火栓泵组两路出水至室外环状消防管路,环网上均匀设置室外消火栓。设置室内消火栓各建筑物均从该环状管路上引两路接至其室内环状消防管路。灭火器配置根据建筑灭火器配置设计规范规定,本工程灭火器配置场所危险等级为中危险级,可能火灾种类为类类和带电火灾,采用磷铵干粉灭火器。工艺服务系统
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