工艺研究溅射钽环件生产工艺研究年立题，年完成阶段性成果，即完成溅射钽环件坯料制备工艺研究。取得技术突破项目时间合计重量销售额万元溅射钽环件用钽条晶粒尺寸在，并均匀致溅射钽环件用钽条同板差小于溅射钽环件用钽凸结体加工工艺，采用压力成型及精加工工艺，保证钽凸结体对尺寸公差及形位公差要求。市场情况产品研发成功后，产品质量得到国外多家用户认可，形成批量销售。详细销售情况见表，表表年至年月钽条销售表项目时间合计重量销售化装备与技术实力，为拓展其它金属靶材技术开发奠定基础，如靶等，逐步可实现金属靶产业多元化，增强我们抵御市场风险能力。国家推动力。为推动我国集成电路制造产业发展，提升我国集成电路制造装备工艺及材料技术自主创新能力，年月日，国务院总理温家宝主持召开国务院常务会议，审议并通过核心电子器件高端通用芯片及基础软件产品和极大规模集成电路制造装备及成套工艺两个国家科技重大专项。中色东方集团已经以项目主承担单位身份，和其他八家企业和大学联合承担完成国家在超高纯大尺寸靶材产业技术开发项目。原材料优势。美国和日本制造企业，其制造钽靶材及环件原材料均需对外采购，而我们集团具备原料生产能力，从而使得产品致性能够得到充分保证，这是个很重要优势所在。地理位置优势。中国及亚洲是最大高性能能钽靶材及钽环消耗市场，并且将继续保持以较高速率发展，目前中国及亚洲市场钽靶材主要来自美国和日本。二项目技术基础高性能钽靶材和钽环件用坯料制备技术基础应用于半导体行业高性能钽靶材和钽环件，其中最重要技术要求是材料内部组织符合要求并能保持加工致性。在材料控制方面，我们通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材研制和公司科技攻关项目溅射钽环件生产工艺研究，获得稳定可靠高性能钽靶材坯料以及钽环件坯料加工工艺。具体取得成果分述如下高性能钽靶材研制高性能钽靶材研制被列入年度自治区科技攻关项目，该项目于年完成，并形成批量销售。取得技术突破化学成份和力学性能均符合标准，其中纯度晶粒度控制在之间，并且均匀致再结晶度平整度粗糙度结晶取向在厚度方向呈织构。市场情况通过该项目研究，已确定出合理科学溅镀膜用高性能钽靶材生产工艺，产品质量执行美国哈尼威尔公司标准，技术水平达到国际先进。制定了企业标准钽铌靶材表面质量检测标准。产品已得到等国内外用户认可，填补国内空白。产品质量得到等国际上大半导体靶材提供商认证，质量稳定可靠，已形成批量销售。详细销售情况见表所有钽靶材表年至年月钽靶材销售表溅射钽环件生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究年立题，年完成阶段性成果，即完成溅射钽环件坯料制备工艺研究。取得技术突破项目时间合计重量销售额万元技术突破钽环件内外表面滚花工艺，获得菱形花纹，并均匀钽环件端头滚花工艺，获得菱形花纹，和表面花纹致钽环件和钽凸结体焊接工艺，焊接满足标准清洗喷砂工艺，满足美国应用材料公司标准。钽棒和钽条成品钽环件市场情况钽环件加工工艺已基本成熟，件样品送美国公司进行检测认证。国内送到中芯国际样品等待上机测试。取得专利情况已申请国家发明专利已申请国家发明专利有项磁控溅射环件用环体表面柔性滚花方法及刀具，专利申请号磁控溅射环件用钽凸台结体生产方法及冲压模具，专利申请号磁控溅射环，专利申请号。正在申请发明专利正在申请发明专利有项钽靶材织构控制钽和铜铝钛异种金属扩散焊接溅射钽环件用钽条制备工艺。三建设方案项目规模及主要内容建设规模为钽靶材套年，钽环件套年。主要内容是厂房改造和部分关键设备购买，改造厂房面积约，购买关键设备如表表购买关键设备明细序号设备名称数量工艺要求用途电子束焊机台最大加速电压电子束功率焊接室容积。靶焊接及环件焊接数控车床大台回转直径通用卧式数控车床。焊接后靶材成品车削数控车床小台回转直径通用卧式数控车床。钽环用钽凸结体成品车削镗铣加工中心台工作台尺寸为通用镗铣加工中心。成品靶材铣削及环件焊接槽和端头滚花热喷涂设备套电弧喷涂机。靶材成品喷涂喷砂设备套吸入式干喷砂。钽环件成品喷砂和钽靶材喷