国激光产业平均行业复合成长市场需求严重脱节，装备大量依赖进口，如果装备业不能靠自主创新赶上来，只能是代代引进，代代落后，受制于人。中国装备制造业发展是中国产业进步发展力量源泉。装备制造业快速发展迫切需求为我国硅片传输机器人产业化发展提供了契机。根据国际半导体设备与材料协会预测，年全球半导体设备销售收入为亿美元，虽然比年下降了大约，但是中国半导体生产设备销售额将比年增长。并且中国新设备市场在年将超过欧洲和世界其他地区市场。国内半导体设备市场迅猛发展，对晶圆输送自动化部件大气和真空机械手，半导体设备前端模块需求在不断地增大，大气真空机械手是速平稳控制控制器小型化晶圆位臵检测等关键技术。目前有单臂和双臂两种产品，已经完成了在沈阳芯源公司机上示范应用，并通过了辽宁省新产品投产鉴定和科技成果鉴定。真空机械手真空机械手主要应用于生产中真空腔室内部各工位间晶圆片传送。新松机器人自动化股份有限公司已经完成核准通过，归档资料。未经允许，请勿外传,了第代和第二代基于磁流体密封真空机械手开发。目前已解决真空机械手平滑控制问题润滑问题传动问题密封问题材料问题安全问题。目前产品样机已经在北方微电子公司进行了测试和示范应用，各项测试指标高端装备与激光技术创新及产业化项目可行性分析报告完全满足要求。洁净镀膜机器人新松公司开发完成了洁净镀膜搬运机器人生产线系统。该系统主要用于光导鼓打印机关键零部件镀膜和搬运，适用于在洁净环境下工作，已经着重攻克了洁净润滑及材料表面加工技术和机器人平稳控制技术。目前洁净镀膜机器人在苏州恒久光电科技有限公司已经成功应用于生产。超薄玻璃洁净搬运机器人超薄玻璃广泛应用于生产电脑显示器笔记本电脑手机和掌上电脑等平板显示器。沈阳新松机器人自动化股份有限公司与中国洛阳浮法玻璃集团合作，攻克了超薄玻璃洁净搬运机器人本体设计技术平稳控制技术和真空吸附技术，研制出了直角坐标型超薄玻璃洁净搬运机器人。目前该产品已经成功应用于中国洛阳浮法玻璃集团生产。激光产业产品激光器件激光器件主要包含激光电源泵浦源模块传输光纤激光模组激光加工头送粉器冷却系统等。新松公司致力于激光封装技术激光器件技术研发和产业化，为此整合国内外资源攻关相关产品关键技术。我们研发和制造产品主要包含激光电源半导体模块激光模组激光光纤激光熔覆头激光焊接头激光切割头负压式送粉器半导体激光器光电探测器半导体泵浦激光单管各种系列冷水机等等。目前，半导体激光器件封装生产线正在建设，激光加工头送粉器冷水机等激光相关产品已经得到了广泛应用，产生了近千万元产值。激光器激光器是光电信息产业和装备制造产业关键部件，市场规模巨大，目前我国主要依靠进口。新松公司率先研制了国内首台大功率模块化激光器，并形成和系列产品承担了国家科技部十五重点项目大功率全固态激光器及焊接成套装备，形成了工业级全固态激光器系列产品并与国外知名激光公司建立了全面合作伙伴关系。目前，公司激光器产品主要包含激光器全固态激光器半导体激光器和光纤激光器，其中激光器和全固态激光器已经推向市场，半导体激光器和光纤激光器正在联合国外公司高端装备与激光技术创新及产业化项目可行性分析报告和科学院研究所共同研制，打算在年推向市场。激光装备及应用新松公司在数控加工系统自动化生产线设计开发技术机器人周边设备设计开发技术机器人系统集成技术和机器人工程应用技术等方面，开发了具有自主产权多功能激光加工系统激光焊接机器人系统激光钎焊机器人系统便携式激光加工机器人系统柔性激光切割系统等等自动化激光加工成套装备和生产线。在成套装备设计制造项目管理方面，积累了丰富工程设计经验，建立了整套系统工程管理制度，具备了强大集成能力和创新能力，先后为汽车冶金电力军工等行业提供多台套机器人自动化加工成套装备和激光加工成套装备系统，引领了国内自动化激光加工成套装备集成制造发展。目前，各种自动化激光加工装备形成年产值超过亿元。激光加工工艺新松公司在激光再制造激光表面改性激光冲击处理激光远程焊接激光钎焊激光复合焊接激光塑料焊接激光打标激光切割激光打孔等激光加工工艺方面都累积了大量工艺技术和工程实施经验，先后为长春汽集团航黎明发动机股份有限公司沈阳鼓风机集团沈阳机床集团鞍山钢铁