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(小型真空系统及其加热装置的设计) (小型真空系统及其加热装置的设计)

格式:word 上传:2025-08-18 16:33:56

《(小型真空系统及其加热装置的设计)》修改意见稿

1、“.....确定气体沿管道的流动状态。真空室工作压力为时,扩散泵入口压力很低,所以管口的压力可以忽略,管路中的平均压力,第页此时,所以,管道中为分子流管道流导为插板阀的流导查表得冷阱的流导所以,总流导精算主泵抽速考虑管道流导,主泵对真空室的有效抽速所得结果与初算时的抽速相差很小,所以选择的主泵符合要求。前级泵的计算扩散泵的前级压力为,所以,根据第机械工业部制定的标准所推荐的前级泵选取型机械泵。流导的计算选取排气口管道为直径的管道,长约为,因为扩散泵出口压力,机械泵进口压力要比低得多,计算管道中平均压力此时所以,管道中为粘滞流。流导第页前级泵抽速的粗算主泵名义抽速为时的最大工作压强大主泵出口的最大排气压强反主泵的最大排气量大前级泵抽速前级泵抽速的粗算所得结果与粗算中相差很少,所以说明所选的前级泵符合要求......”

2、“.....旦接通系统立即进入低压抽空直至所需真空度,小容器中的气体由管道入口端向管道出口端迅速扩散,小容器被快速抽空。因此管道中的压强分布不但是管道长度的函数,而且是抽气时间的函数。所以初抽时间为式中容器的体积包括管道的体积在内反反管容第页容器中所要达到的压强容器的初始压强泵的抽速粘滞流时管道的系数为空气自由程与所用气体的自由程的比值为分子流时管道的流导插板阀的流导计算扩散泵的抽气时间扩散泵对电离规真空计处的有效抽速为管道流导冷阱的流导第页有机玻璃的放气率为步详细具体的研究了。谢辞大学中的最后堂大课毕业设计,马上就要落下帷幕了,这是我迈出校门走向社会的最后课......”

3、“.....通过这次毕业设计,自己进步温习了真空系统设计及真空相关的专业知识,同时弥补了很多之前的不足之处,在学习设计之余也结识了很多优秀的老师学长和同学,对于这次设计自己收获颇多,相信这次设计对于我以后的发展有重要的意义。在整个设计过程中,方老师对我们要求严格,给我们自己思考发挥的机会,让我们对专业知识更加了解,激发我们的创新思维,就是为了让我们运用所学知第页识系统的考虑问题,掌握设计的整个过程。对于我们不懂或者有疑问的地方,老师都是耐心听,认真指导,在设计细节上也为我层层把关,这才使我能顺利完成这次毕业设计。在此,谨向方老师致以最诚挚的感谢和最崇高的敬意。其次,要感谢研究生学长和同组的同学们,在这次设计过程中,学长给了我无私的帮助和指导,对于每个设计图纸中的细节和不足之处,学长都耐心的指出并为我讲解其中的要点......”

4、“.....在设计过程中遇到许多的问题,与同组的同学之间的相互讨论,他们给了我许多很好的建议,在设计中给了我很大的帮助,谢谢你们陪我上完大学里的最后堂课。在这三个月的时间里,在老师学长同学的帮助下顺利的完成了我的毕业设计,同时自己扩大了知识面,增加了视野。再次真诚的感谢方老师学长以及在本次设计中帮助我的同学朋友们,谢谢,参考文献冀建华等真空镀膜技术与设备合肥合肥工业大学出版社合工大真空教研室真空系统设计与计算合肥合肥工业大学出版社杨乃恒真空获得设备北京冶金工业出版社达道安真空设计手册第三版兰州兰州物理研究所干蜀毅超高真空技术合肥合肥工业大学出版社宋云涛超导托卡马克装置真空室热烘烤结构数值模拟与分析合肥中国科学院等离子体物理研究所艾尔斯段方强真空材料的放气Ⅱ真空年期骐毅国内外真空镀膜技术及设备的基本现状及国内真空镀膜设备发展的几点建议国投南光有限公司......”

5、“.....成大先机械设计手册第五版第卷北京化学工业出版社,玻璃真空室的内表面积为由公式将起始压强为代入将终止压强代入故高真空抽气时间加热时间的计算玻璃真空室吸热量的计算查表得玻璃的密度为玻璃真空室的体积为第页玻璃玻璃真空管的质量为查表得玻璃的比热容为玻璃管从室温上升至时吸收的热量为玻中间空气吸收的热量查表得空气的密度为中间空气的体积为中间空气的质量为空气的比热容为第页图积分环计算空气吸热量如图所示......”

6、“.....取厚度为,温度为的环形薄壁,内部玻璃真空管温度为,外部加热灯管表面温度。将玻璃管至灯管的温度看成线性分布,则积分环的空气吸收的热量为第页中间总空气的吸热量为从内部玻璃管积分到灯管外表面计算加热时间根据加热箱结构,内壁上有隔热棉以及反射热量的金属层,所以灯管所释放出的热量向外扩散少,为左右,内部空气和玻璃真空管吸收的热量为。灯管产生的热量为则从室温加热至所需时间为系统概况如图为系统设计情况,根据要求设计加热烘烤箱体以及系统装置的支架等,具体尺寸见装配图及零件图。室积空总玻空总第页图整体设计系统设计系统的操作流程通水开总电源......”

7、“.....所设计的加热烘烤箱有自己的定特色,其中的结构,内部支架的形状,灯管位置的选取和安装,都是自己构思设计的,设计具有定的创新性。在设计的加热烘烤箱的基础上,结合真空系统设计的要求及方法进行了系统的选配。选取了扩散泵和机械泵组成抽气系统,并且选择了相关的阀门管道冷阱规管等系列维持温度,烘烤小时真空度达到进行相关实验关闭主阀,主泵关闭机械泵关闭加热箱电源关闭总电源,停止通水第页的系统所需的真空器件,也按照所需选取了充气阀热电偶传感器等部件,组成了个能够完成工作需求的真空系统。在设计过程中,对于玻璃真空室的壁厚加热灯管的安装位置进行了合理的布局和计算,在系统选配泵的过程中按照真空设计的要求做了合理的计算和安排,设计的系统基本可以满足真空玻璃管所需的测试任务。不过在设计的过程中也还有些问题......”

8、“.....由于时间关系就没有进,随着中国进入以后,中国将逐步成为世界最大工业产品的加工基地,中国范围内就有巨大的市场发展空间。还有研制和制造成本上的优势,国内的主要真空镀膜设备生产企业,同国外厂家相比都具备低的人工成本和低的加工设备和工作场地的租金成本或资产占用费,这也许是国外许多同类企业无法比拟的优势。所以我们要发展我们的优势,自主创新,及时地响应市场发展的需求变化,积极跟踪国外的先进工艺技术及设备的进展,采用引进部分先进技术和生产模式,同国外著名真空镀膜厂家的合作方式,推行关键部件国际化采购的方式,提高我国真空镀膜设备的质量及整体的技术水平,以真正能适应市场发展的需求。近年来,随着表面和薄膜科学,微电子器件及纳米技术等迅速发展......”

9、“.....它是微电子器件的下代,有自己的理论,技术和材料。现有微电子器件的主要材料是极纯的硅,锗等晶体半导体。纳米电子器件可能是以有机或无机复合晶体薄膜为主要原理,要求纯度更高,结构更完善,真空制备的清洁环境,有希望加工组装出纳米电子器件所要求的结构。真空加热烘烤的重要性在真空镀膜的过程中,镀膜系统的好坏对膜的影响非常大,镀膜室是个真空度要求比较高,环境要求比较严格的空间。台好的镀膜机,要保证镀膜室有个良好的高真空环境,就需要有个稳定的加热系统,真空系统的加热装置,属于真空系统中密不可分的个部分。如果所使用的加热方式不当,很可能达不到镀膜所要求的高真空度,这会对镀膜造成影响,使所镀膜的性能不符合要求,第页造成极大的损失。所以,需要对真空加热装置进行设计改进......”

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