1、“.....分子式为，沸点，常温时为无 色或微黄色的透明可燃液体，易挥发，易水解，易溶于醇醚卤化烃，为有机 溶剂......”。

2、“.....空气毒性级别 蒸气压 易燃性级别 易爆性级别 表格三氯氢硅物化性质 用途 三氯氢硅用作硅烷偶联剂 三氯氢硅是生产有机硅烷偶联剂的重要原料，将三氯氢硅与氯乙烯或氯丙烯 进行合成反应，再经精馏提纯，得到乙烯基或丙烯基系列硅烷偶联剂产品。硅烷 偶联剂几乎可与任何种材料交联，包括热固性材料热塑性材料密封剂橡 胶亲水性聚合物以及无机材料等，在太阳能电池玻璃纤维增强树脂精密 陶瓷纤维和光纤保护膜等方面扮演着重要角色，并在这些行业中发挥着不可或缺 的重要作用。 多晶硅的重要原料 三氯氢硅不仅是制造硅烷偶联剂和其它有机硅产品的重要中间体，还是制造 多晶硅的主要原料。多晶硅产品的主要用途可做成太阳能电池......”。

3、“.....最新的现代通信手段性能优异的硅有机化合 物。 三氯氢硅其它应用 三氯氢硅因带有氢键，并且含氯较多，常与其他有机官能团生成系列的有 机硅产品如氯丙基三氯硅烷，乙烯基氯硅烷，辛基氯硅烷等，以用于有机硅 烷和烷基芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单 体，也是生产半导体硅单晶硅的原料，也可用于制造硅酮化合物。 我国经济的飞速发展，尤其是精细化工有机硅产业电子产品光纤通讯 等行业的快速发展，为三氯氢硅的生产和下游产品的开发提供了巨大的市场空间 和机遇。随着有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求，生产量越来越大。 四氯化硅 性质 四氯化硅，别名氯化硅四氯化矽，分子式为 ，为无色或淡黄色发烟液体，可混溶于苯氯仿石油醚等多数有机溶剂， 性质稳定，有刺激性气味，易潮解。 序号性质参数 分子量 熔点 沸点 相对密度水 相对密度气体......”。

4、“.....每生产 吨三氯氢硅将联产四氯化硅约吨。 目前，四氯化硅国内主用于含硅防水涂料，氯相白炭黑，铸造粘结剂等。它 的制成品有硅酸酯有机硅油高温绝缘漆有机硅树脂硅橡胶和耐热垫衬材 料等。高纯的四氯化硅还是制造高纯二氧化硅无机硅化合物石英纤维以及光 导纤维的重要原料。 二市场概况当前世界上只有美国日本德国俄罗斯等少数国家能够以大工业规模生 产高纯，最大的生产商是德国的公司和美国的公司。 抗风险能力和市场竞争力是较强的。 三产品方案及生产规模 产品方案的选择 选择生产什么规格用在什么方面的三氯化硅 二产品品种及生产规模 项目单体规模，其中三氯氢硅产品规模，四氯化硅产品 规模基于合成气三氯氧硅与四氯化硅组成质量比约为。 产品规格及质量标准 年操作时间 年操作时间按小时考虑......”。

5、“.....主要用作半导体工业中制造 超纯多晶硅和高纯硅烷的原料及外延生长的硅源。 从成熟实用方面，仍使用国内外普通使用的工业纯硅在氯化氢气流下流态 氯化，再精溜提纯的工艺路线。现在国内般采用改良西门子法，三氯氢硅反应 炉中硅粉转化率可达以上。 装臵包括硅粉储存及输送合成反应及旋风除尘合成气冷却及冷凝产品 精制与氯化氢氧气回收尾气洗涤等元，以及导热油加热深冷等配套系统。 原料路线 电解槽送出氢气经除氧干燥，同氯气合成氯化氢气，进入反应炉同硅粉生成 粗三氯氢硅，经精馏得到合格的三氯氢硅，再分离出合格的四氯化硅，用干燥清 洁铁桶罐车包装出厂......”。

6、“.....反应方程式如下 第二章三氯氢硅的生产工艺 三氯氢硅生产方法氯化氢合成 三氯氢硅合成 三氯氢硅合成。将硅粉卸至转动圆盘，通过管道用气体输送至硅粉仓，再加入硅 粉干燥器，经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。在三氯氢硅合成炉内， 温度控制在，硅粉和氯化氢发生反应，生成三氯氢硅和四氯化硅。生 成的三氯氢硅和四氯化硅气体经沉降器旋风分离器和袋式过滤器除去粉尘及高 氯硅烷，经水冷后经隔膜压缩机加压，再用冷媒冷凝为液体。不凝性气体 通过液封罐进入尾气淋洗塔，经酸碱淋洗达标后排放。 三氯氢硅分离 三氯氢硅分离。三氯氢硅和四氯化硅混合料三氯氢硅含量为进入加 压塔，采用两塔连续提纯分离，通过控制定的回流比......”。

7、“..... 含尘废气处理 含尘废气主要是输送硅粉的氮气，先经布袋除尘回收硅粉，然后经水洗涤，洗涤 废水经沉淀后循环使用，尾气洗涤后排入大气。布袋除尘器除尘率为，洗 涤除尘率按计，总除尘效率达到，经处理后达标排放。不凝气体主 要含有保护气体，其余还含有少量的氯硅烷氯化氢等。 经过低温冷凝后剩余的不凝气送废气处理装臵，氯硅烷系列遇水迅速分解成硅酸 和氯化氢，氯化氢气体先被稀盐酸循环吸收为浓盐酸回收使用，微量部分被碱液 吸收反应。废气主要成份有氮气，废气经淋洗处理后，通过车间排气筒达标排 放。在满足要求的前提下尽量选用转速低噪声小的设备同时对鼓风机设 的隔声间，与所在的楼层分开，以减轻振动而产生的噪声对空压机鼓风机 泵等进气管装消音器，并设隔声操作室，减少室内噪声污染，改善工人作业环境。 烟筒设臵足够的高度，使烟气的排放符合国家大气污染物综合排放标准二级 标准的要求......”。

8、“.....硅粉和氯化氢主要按下列反应生成三氯氢硅 并伴随有如下副反应 在合成反应中，温度氯化氢量硅粉粒度氯化氢中氧和水份等，都对合成产 物中三氯氢硅含量有很大影响。因此，必须严格控制操作条件。 由反应式可得 即 同理，由反应式可得 两式相乘并整理得 由于两反应处于同平衡体系中，则得 式中是平衡常数分别是 的平衡分压。 由此得出适当加入氢气，系统中氯化氢浓度相应降低，比值增大， 其摩尔比也相应增大，则三氯氢硅含量增加。 又由反应式可知此反应是平衡可逆反应，在合成系中，适当加入四氯 化硅产出量，降低硅粉消耗，提高三氯氢硅产出量。传统工艺及问题 其合成工艺流程示意图如下图所示 存在问题 在合成氯化氢过程中，由于水份不能除净，并被带入沸腾炉，使合成三 氯氢硅含量降低，并随其水量的增加而更加严重，见图 由于水份的带入......”。

9、“.....造成设备腐蚀， 降低了设备寿命。 由于水份进入，与系统中的三氯氢硅水解成氧化硅，容易发生管道堵塞 等，从而影响生产。 沸腾炉中温度分布不均，如果温度大于，则发生如下反应 ，从而造成三氯氢硅含量降低。 传统工艺并没有考虑化学平衡及如何减少副产物四氯化硅产生， 从而降低硅粉消耗高等问题。 改进型三氯氢硅合成工艺 工艺流程 改进型三氯氢硅合成工艺流程如图所示 总论 项目名称主办单位名称企业性质及法人 项目名称年产吨三氯氢硅项目 主办单位河南神马氯碱发展有限责任公司 企业性质有限责任公司 法人代表 二编制依据和原则 编制依据 国家有关法律法规及工程设计的有关规范与规定。 编制原则 认真贯彻执行国家基本建设的各项方针政策和有关规定，执行国家及各部 委颁发的现行标准和规范。 结合企业实际状况，选用技术和设备先进适宜，经济合理，安全可靠......”。