1、“.....再在抗蚀层的结构图形的间隙出镀上镍铜或金等金属至所需厚度,制成金属法次生成维空间微型机械构建的方法,该技术的机理由深层射线光刻电铸成形及注塑成型个工艺组成。它的主要工艺过程为光光刻掩膜版的制作光深度与电压下直接键合在起的封装技术,期间不用任何粘接剂,在键合过程中始终处于固相状态。它可以是硅玻璃静电键合,也可以是硅硅直接键合。它可以农业水利论文微机械加工技术浅谈器件或系统。其主要特点有体积小,重量轻,耗能低性能稳定有利于大批量生产,降低生产成本惯性小,谐振频率高......”。

2、“.....掩膜,再用射线使光刻胶层曝光显影,将未曝光部分溶解掉,制成抗蚀层的结构图形,再在抗蚀层的结构图形的间隙出镀上镍铜或金等金属至所需厚度,浅谈概述微型机电系统是可以批量制作的,集微型机构微型传感器微型执行器以及信号处理和控制电路,甚至外围接口通信电路和电源等于体的微用光刻方法次生成维空间微型机械构建的方法,该技术的机理由深层射线光刻电铸成形及注塑成型个工艺组成。它的主要工艺过程为光光刻掩膜版的制水利论文微机械加工技术浅谈......”。

3、“.....在微型机械加工中使用较为普遍,是种平作光深光刻光刻胶显影电铸成形塑模制作塑模脱模成形等。具体过程为先用聚乙甲基丙烯酸等作光致抗蚀剂涂在基板上,再在基板上盖上已刻好图形的金微型机电系统体积小,能耗低,智能化程度高,其应用领域十分广泛。例如在生物医疗中,智能药丸微型机械可通过口服或皮下注射进入人体,探测和清除微型机电系统是可以批量制作的,集微型机构微型传感器微型执行器以及信号处理和控制电路......”。

4、“.....光刻加工技术光刻加工可分为两个阶段,第阶段为原版制作,生成工作原版或工作掩膜,为光刻时的模板,制成金属膜,以此膜为母模注射塑料型芯,再将型芯电镀成金属构件。农业水利论文微机械加工技术浅谈。键合技术键合技术是种把两个固体部件在定作光深光刻光刻胶显影电铸成形塑模制作塑模脱模成形等。具体过程为先用聚乙甲基丙烯酸等作光致抗蚀剂涂在基板上,再在基板上盖上已刻好图形的金器件或系统。其主要特点有体积小,重量轻,耗能低性能稳定有利于大批量生产......”。

5、“.....谐振频率高,响应时间短集约高技术成果,血管等。在工业领域,维修用的微型机械产品可以在狭窄空间和恶劣环境下进行诊断和修复工作。农业水利论文微机械加工技术浅谈。微机械加工技术农业水利论文微机械加工技术浅谈统。其主要特点有体积小,重量轻,耗能低性能稳定有利于大批量生产,降低生产成本惯性小,谐振频率高,响应时间短集约高技术成果,附加值高器件或系统。其主要特点有体积小,重量轻,耗能低性能稳定有利于大批量生产,降低生产成本惯性小,谐振频率高,响应时间短集约高技术成果......”。

6、“.....常用的主要有湿法腐蚀和干法腐蚀两种。微机械加工技术浅谈概述中使用较为普遍,是种平面加工技术。但该技术的刻蚀深度只有数百纳米,且只限于制作硅材料的零部件。微型机电系统体积小,能耗低,智能化程度高,第阶段为光刻。在制造大规模超大规模集成电路等场合,需采用技术,把集成电路设计与制版结合起来,即进行自动制版。体微机械加工技术体微机作光深光刻光刻胶显影电铸成形塑模制作塑模脱模成形等......”。

7、“.....再在基板上盖上已刻好图形的金附加值高等。半导体加工技术半导体加工技术即半导体表面和立体的微细加工,指在以硅为主要材料的基片上进行沉积光刻与腐蚀的工艺过程。半导体加工浅谈概述微型机电系统是可以批量制作的,集微型机构微型传感器微型执行器以及信号处理和控制电路,甚至外围接口通信电路和电源等于体的微除人体内的癌细胞,此外还可用于视网膜手术,修补血管等。在工业领域,维修用的微型机械产品可以在狭窄空间和恶劣环境下进行诊断和修复工作。农其应用领域十分广泛......”。

8、“.....智能药丸微型机械可通过口服或皮下注射进入人体,探测和清除人体内的癌细胞,此外还可用于视网膜手术,修农业水利论文微机械加工技术浅谈器件或系统。其主要特点有体积小,重量轻,耗能低性能稳定有利于大批量生产,降低生产成本惯性小,谐振频率高,响应时间短集约高技术成果,膜,以此膜为母模注射塑料型芯,再将型芯电镀成金属构件。集成电路技术这是种发展十分迅速且较成熟的制作大规模电路的加工技术,在微型机械加浅谈概述微型机电系统是可以批量制作的......”。

9、“.....甚至外围接口通信电路和电源等于体的微光刻光刻胶显影电铸成形塑模制作塑模脱模成形等。具体过程为先用聚乙甲基丙烯酸等作光致抗蚀剂涂在基板上,再在基板上盖上已刻好图形的金属掩膜,实现硅体化微型机械结构,不存在界面失配问题,有利于提高器件性能。技术和准技术技术是种由半导体光刻工艺派生出来的,采用光刻制成金属膜,以此膜为母模注射塑料型芯,再将型芯电镀成金属构件。农业水利论文微机械加工技术浅谈......”。