（定稿）高纯三氯氧磷工程项目投资可研报告 全文免费阅读、在线看（最终定稿）

目前，在我国微电子行业使用的电子级红磷和三氯氧磷，几乎全部是美国日本德国等国家的产品。

项目成受性和可靠性论述项目的成熟性和可靠性见附件用户使用报告和权威机构分析报告技术方案技术特点电子级三氧氧化磷技术特点本技术的创新点在于从基础原材料高纯磷开始严格控制各道工序的提纯以及防止杂质元素的二次污染，能有效的保证产品质量的稳定性，保证产品质量达到国际标准。

产品纯度高，稳定性好达到国际标准其单项杂质最高含量为。

原材料可以是黄磷，也可以是红磷。

但其纯度必须为三氯氧磷的精馏在石英塔板精馏器中进行，其设备便于保持蒸馏过程的干净及使用后便于清洗。

④原材料利用率高过程无环境污染过程副产品稀盐酸和磷酸采用氢氧化钠和生石灰中和处理。

产品包装要求条件高，必须在超净环境下进行。

第四章工艺技术方案工艺技术路线电子级三氯氧磷工艺技术路线三氯化磷是合成三氯氧磷的过程品。

三氯化磷的生产必须以级的黄磷或红磷为原料与经过处理的高纯氯气反应，主要包括氯气黄磷的生产提纯分离蒸馏等操作单元。

得到的产品是生产三氯氧磷的原料。

用高纯的三氯化磷为原料合成三氯氧磷，同样经过处理的氯气和符合标准的纯净水合成。

此工艺成熟安全产率高且不污染环境，主要包括合成回流蒸馏精馏过滤等操作单元。

得到的产品纯度高，稳定性好，达到国际标准其单项杂质最高含量为。

产品可以达到级。

三氯氧磷生产工艺流程图储设围堰，储罐须进行防腐处理。

表氢氧化钠危险有害性分析标识中文名氢氧化钠英文名危险货物号分子式分子量编号危险类别第类碱性腐蚀品理化性质性状白色不透明固体，易潮解熔点溶解性易溶于水乙醇甘油沸点相对密度水饱和蒸气压相对密度空气无资料燃爆特性与消防燃爆危险本品不燃，具强腐蚀性强刺激性，可致人体灼伤有害燃烧产物可能产生有害的毒性烟雾禁配物强酸水二氧化碳过氧化物易燃或可燃物。

危险特性与酸发生中和反应并放热。

遇潮时对铝锌和锡有腐蚀性，并放出易燃易爆的氢气。

本品不会燃成电路英寸晶圆，技术生产线及厂家按月生产万片硅片生产线平均需三氯氧磷千克月的用量计算，年需相当于Ⅳ级大约在吨年的规模，并呈每年以上增长的态势三氯氧磷国内外需求量国内吨年，国际吨年。

电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之，主要用于芯片的型掺杂，它的纯度和洁净度对集成电路的成品率电性能及可靠性都有着十分重要的影响。

目前国际上从事工艺化学品研发及生产的主要有德国的及公司占全球市场份额的美国的公司占全球市场份额的，公司占全球市场份额的，公司占全球市场份额的日本的占全球市场份额的，占全球市场份额的。

另外还有日本的关东株式会社住友合成德川三菱，我国台湾地区的长春中华长新化学，韩国的等公司。

在技术方面，美国德国日本韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产技术用的工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺研究并开始规模生产。

项目所需主要原材料为工业黄磷。

目前有黄磷生产企业家，黄磷生产能力为万吨，实际产量已超过万吨位于全国第二位，黄磷供应量足够满足公司生产所需并具有地域上的优势。

竞争能力预测公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生产可以替代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品的空白。

提升我国在该领域的技术水平，打破国内外产品的垄断。

目前，国内尚无大规模的同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势明显。

第三章产品方案及生产规模产品方案产品吨年高纯三氯氧磷生产规模高纯三氯氧磷生产规模为吨年年生产天数天项目的技术可行性和成熟性分析项目产品检测情况电子级