1、“.....其原理图,如图所示。本设备的冷却水与水源连接有个进水口和个排水口。在水管与主机相连时,以软管采取集中分流排水布置,各部件都有单独的冷却支路,对提拉轴电极电极电源炉底盘炉筒大炉盖小炉盖扩散泵分别进行排水温度,保证关键部件的正常工作。其原理图,如图所示。本设备的冷却水与水源连接有个进水口和个排水口。在水管与主机相连时,以软管过渡连接,防止因外界振动的传入干扰机器的正常生产。进入的冷却水由分水排组成。该设备采用微提拉旋转泡生法工艺,通过调控系统内的热量输送,全自动控制整个晶体的生长过程,追求生产效率最大化,工艺流程合理化,实现晶体生长过程中,生长速率最大化,并且全过程最大限度的减少了人工操作。型蓝宝石长晶设备的研制原稿。主要技术参数及结构主要技术参数设备主要结构型蓝宝石长晶设寿命有限的零部件,也很好解决了抗水压变动的问题芯轴结构设计成整棒料加工结构,不存在焊接变形,形状结构更稳定......”。

2、“.....等液面稳定后,籽晶从熔液上方浸入温度受到严格控制的熔液内,在固液界面上生长与籽晶相同晶体结构的晶体,籽晶以极缓慢的速度向上旋转提拉段时间以形成晶型蓝宝石长晶设备的研制原稿预防腔体压力异常,安装有安全减压阀,发生意外时,可通过安全阀,释放压力,避免事故。瞬间停电的情况,该蓝宝石炉对应急控制部分籽晶升降马达配备了装置,规格,单相单次持续时间分钟以上,以保护由于外部停电而造成的设备停机。设备长晶实验设定条件长晶过程功率下降后,设定小时的真空冷却和闭合的钼材质挡片。解除小盖锁紧螺钉后,旋转手轮,通过减速机可以将小盖逐渐提升起来,与大盖分离,提升行程大约,小盖升到顶部后,拉动拉手,向左侧可将整个提拉机构和小盖旋转定位锁紧,就可以进行主炉室内操作籽晶提拉旋转系统籽晶提拉旋转系统由籽晶旋转机构和籽晶提拉机构和称重机构组成。籽晶旋转机构由调整范围......”。

3、“.....增加抑制电网谐波干扰,可以防止由于电流波动对电网的冲击,以及对周边设备的干扰。设备安全措施型蓝宝石长晶设备采用多种安全保障措施和安全装置,主要包括以下几方面具有电源安全保护装置。水路水温监测报警系统。冷却水流量过小报警系统。腔体压力异常报警系统。蓝宝石长晶设备,该设备集水电气于体,主要由晶体生长室籽晶提拉旋转系统真空系统气路系统冷却水系统能量供应与控制系统机架及其它附属设备等组成。该设备采用微提拉旋转泡生法工艺,通过调控系统内的热量输送,全自动控制整个晶体的生长过程,追求生产效率最大化,工艺流程合理化,实现晶体生长过程中,生长速率最大化,并且全长晶设备主要由晶体生长室籽晶提拉旋转系统真空系统气路系统冷却水系统能量供应与控制系统机架及其它附属设备等组成。机架由底座和立柱组成,晶体生长室安装在机架底座上,底座上平面的水平度不大于。籽晶提拉旋转系统安装在机架立柱上,可以绕立柱旋转......”。

4、“.....等液面稳定后程最大限度的减少了人工操作。型蓝宝石长晶设备的研制原稿。大炉盖上设有了个对称的电极接口,安装对称布置的两个铜电极,铜电极与大盖之间设有特氟龙绝缘隔套小炉盖上设有个方便观察炉内情况的视窗,两个视窗平面角度为,视窗与籽晶轴的角度为。视窗由两层耐高温玻璃组成并配有可开启图气路原理图图冷却水原理图冷却水系统冷却水路是设备正常工作的安全保证,采取集中分流排水布置,各部件都有单独的冷却支路,对提拉轴电极电极电源炉底盘炉筒大炉盖小炉盖扩散泵分别进行排水温度,保证关键部件的正常工作。其原理图,如图所示。本设备的冷却水与水源连接有个进水口和个排水口。在水管与主机相连时,以软管单晶生长模拟分析与应用研究哈尔滨哈尔滨工业大学,王嫦,唐安江,何元琴,何磊蓝宝石生长方法及其应用概述广东化工,。气路系统气路系统主要由氩气气路和压缩空气气路组成,其气路原理图......”。

5、“.....氩气气路的主要作用是晶体生长时的工艺所使用和长晶结束后冷却晶体所使用。氩气流量由气体质量流量计精确控制检测方法采用强光,目测法,检测结果晶体浅表层均匀分布散射点,内部不存在云雾状气泡包裹物和散射颗粒,对该晶体进行掏棒处理。位错密度检验,检测方法将晶体加工成晶片并抛光,在的溶液中腐蚀后,在倍以上的金相显微镜或偏光显微镜下观察晶体的位错密度。拍摄带有标尺的位错腐蚀照片,用图片中包含的位错腐蚀晶提拉轴支承座直流无刷电机系统组成。直流无刷电机系统通过多锲带实现籽晶轴平稳转动。在籽晶提升机构中,提升直流无刷电机系统驱动滑块模组从而保证动态精度。行程大于,同时在侧面安装光电限位开关以保证籽晶夹头在上升复位时不过冲。籽晶提拉轴结构选用专业旋转密封的旋转连接器部件对进出冷却水隔离,不依赖型圈这程最大限度的减少了人工操作。型蓝宝石长晶设备的研制原稿。大炉盖上设有了个对称的电极接口......”。

6、“.....铜电极与大盖之间设有特氟龙绝缘隔套小炉盖上设有个方便观察炉内情况的视窗,两个视窗平面角度为,视窗与籽晶轴的角度为。视窗由两层耐高温玻璃组成并配有可开启预防腔体压力异常,安装有安全减压阀,发生意外时,可通过安全阀,释放压力,避免事故。瞬间停电的情况,该蓝宝石炉对应急控制部分籽晶升降马达配备了装置,规格,单相单次持续时间分钟以上,以保护由于外部停电而造成的设备停机。设备长晶实验设定条件长晶过程功率下降后,设定小时的真空冷却和环控制和功率闭环控制两种模式。型蓝宝石长晶设备上使用红外测温装置可实时对液面温度进行监测,测温重复精度为温度控制采用自适应调节加热器电源采用高性能电源,与传统电源相比节能以上。功率因数和谐波满足国家标准,绿色节能其电源规格如下额定电力输出也可根据客户要求配置电源,输出型蓝宝石长晶设备的研制原稿流量的确认,由操作界面上所设定。氩气气路所用管道均为不锈钢洁净管......”。

7、“.....本设备对氩气源的具体要求为氩气纯度﹥,氩气压力﹥。压缩空气气路主要用来控制真空插板阀和真空挡板阀的开闭,气动元件的动作执行,本设备对压缩空气源的要求是压力。型蓝宝石长晶设备的研制原稿预防腔体压力异常,安装有安全减压阀,发生意外时,可通过安全阀,释放压力,避免事故。瞬间停电的情况,该蓝宝石炉对应急控制部分籽晶升降马达配备了装置,规格,单相单次持续时间分钟以上,以保护由于外部停电而造成的设备停机。设备长晶实验设定条件长晶过程功率下降后,设定小时的真空冷却和晶设备已在多个公司投入生产,运行状况良好,长晶系统稳定,操作简单性能稳定,成本低廉,综合性能达到了国内领先水平,很好地满足了国内蓝宝石晶体生长的需要。参考文献闵乃本编著晶体生长的物理基础上海科学技术出版社,张克从晶体生长科学与技术上册北京科学出版社,许承海法大尺寸蓝宝石后冷却晶体所使用。氩气流量由气体质量流量计精确控制......”。

8、“.....由操作界面上所设定。氩气气路所用管道均为不锈钢洁净管,与氩气源连接的管接头为。本设备对氩气源的具体要求为氩气纯度﹥,氩气压力﹥。压缩空气气路主要用来控制真空插板阀和真空挡板阀的开闭,气动元件的动作执行,本设备对压的个数除以图片代表的面积,得到位错密度,单位为个。为了减少误差,应在晶片不同位置选取个以上的具有代表性的区域拍摄照片,计算每个区域的位错密度,随后计算平均值。检测结果小于个。结语通过对型蓝宝石长晶设备系列的安装调试,长晶工艺参数调整和长晶实验,已连续生长出左右合格晶体。研制的型蓝宝石程最大限度的减少了人工操作。型蓝宝石长晶设备的研制原稿。大炉盖上设有了个对称的电极接口,安装对称布置的两个铜电极,铜电极与大盖之间设有特氟龙绝缘隔套小炉盖上设有个方便观察炉内情况的视窗,两个视窗平面角度为,视窗与籽晶轴的角度为。视窗由两层耐高温玻璃组成并配有可开启时的充氩气冷却工序......”。

9、“.....总功率量,没有包括设备侧功率,和泵的功率。图生长的蓝宝石晶体图蓝宝石晶体外观对所生长晶体情况进行检查,如图,图,具体结果如下晶体是否开裂,检测方法目测检验,检测结果晶体生长完整,表面光滑,回融面大,无穿透性开裂。气泡包裹物和散射颗粒调整范围。为改善蓝宝石炉对电网环境影响,增加抑制电网谐波干扰,可以防止由于电流波动对电网的冲击,以及对周边设备的干扰。设备安全措施型蓝宝石长晶设备采用多种安全保障措施和安全装置,主要包括以下几方面具有电源安全保护装置。水路水温监测报警系统。冷却水流量过小报警系统。腔体压力异常报警系统。管过渡连接,防止因外界振动的传入干扰机器的正常生产。进入的冷却水由分水排通过软管与设备各个冷却部位相通,回水为有压排放。冷却水的水质应以纯水循环供应为好,冷却水源的具体要求为工业纯水,进出水压力差,进水压力,进水流量含电源冷却水,进水温度......”。