1、“.....晶圆边缘检测技术研究论文原稿。关键词晶圆边缘检测技术研究应用晶圆边缘检测技术，需要对晶圆表面的缺陷种类以及成因进行分析。然后根据晶圆图晶圆边缘检测技术研究论文原稿常见，晶体本身的缺陷般是在晶体加工环节中由于温度湿度等设置不合理而造成的。该种缺陷形式能够通过人工观测的方式将其缺陷识别出来。例如，堆垛层错类型缺陷是由于晶体结构在密排面的正常堆垛，对晶圆的缺陷等进行有效识别，对边缘检测技术进行研究......”。

2、“.....晶圆表面缺陷成因对于晶圆表面的冗余物，其种类比较多，例如包含微小颗粒灰尘晶圆加工前个工序的残用晶圆边缘检测技术，需要对晶圆表面的缺陷种类以及成因进行分析。然后根据晶圆图像，对其中的直线几何特征进行提取，有助于对于晶圆进行相关的缺陷检测。晶圆缺陷检测技术，综合了机器视觉数字在晶圆图像上，具有定的街区域，在该街区域中，具有图像不变化的几何特性，图像的信息能够在街区域中实现自动提取。可以说......”。

3、“.....晶圆图像街区域具有定的片缺陷机器视觉识别中的研究半导体技术，作者单位北京自动化技术研究院北京市。晶圆图像的直线几何特征提取特征提取对于晶圆图像的直线几何特征进行提取，希望能够用于相关配准的几何特征有以缺陷检测技术，在获取晶圆完整图像的基础上，采用数字图像处理技术，实现了晶圆缺陷检测的自动化。在本文中对晶圆表面缺陷的种类以及成因进行总结，研究晶圆图像的直线几何特征提取......”。

4、“.....如果晶圆的图案比较简单的情况下，可以以周期性重复的图案最为缺陷边缘对比的模板。显微镜所能够观察的图像范围比较少，在图像融合的情况下，难以观察到缺陷边缘，使用差影法所能够在短时间内检测出模板上的缺陷位置以及缺陷所形成的原因。对划痕边缘破损颗粒等缺陷急性有效的识别。形态分析方法中，首先预设个标准形态，在实际检测中，对晶圆形态进行遍历......”。

5、“.....当图像发生了较为大幅度的选转，晶圆的几何特征都不会发生相对位置形状上的改变。另外个特点就是其特征便于提取。晶圆边缘检测技术研究论文原稿。，庞乾骏，等扫描隧道显微镜单原子操纵技术及其物理机理上海交通大学学报，吴黎明，崔山领，王立萍，等重复图案晶片自动检测新方法光学精密工程，李政广，吴黎明，赖南辉，等骨架提取在圆图像被处理后，将其与模板进行对比对于晶圆图像进行形态学上的分析第种方式和第种方式结合起来......”。

6、“.....在以上晶圆缺陷检测算法中，基于模板对比法，实质是将待测的晶圆圆缺陷检测算法。参考文献刘红侠，杨靓，黄巾，等快速图像匹配相关系数算法及实现微电子学与计算机，周文互连中的缺陷检测方法及缺陷对电路可靠性的影响西安电子科技大学，黄德欢，王庆得到的缺陷图像，能够对缺陷的特征有针对性的提取。结论综上所述，近年来，晶圆边缘检测技术逐渐成为了种比较重要的图像预处理技术。在传统的晶圆检测方法下......”。

7、“.....基于边缘准形态的图像则被判定为缺陷图像。该种缺陷检测算法与第种算法相比，算法实现的时间比较长，同时其复杂度比较高。而混合法在实际缺陷检测中，能够综合以上两种检测方法的优势。根据经验，对于晶像与标准的图像进行对比。具体的对比环节中，将含有缺陷的晶圆模板与标准晶圆模板之间进行直接的对比，从图像特征位置等入手，进行晶圆图像之间的异或运算......”。

8、“.....需要在定的算法在支持下实现。般情况下，晶圆的缺陷检测算法是实现晶圆缺陷检测的核心技术之，其缺陷检测技术主要含有方面的内容成的。对于该矩形区域，需要检测出图形的水平线与垂直线，同时在检测的环节中，能够根据区域中的几何特征进行分拍子图的拼接。晶圆图像的直线几何特征提取特征提取对于晶圆图像的直线几何特征进，对其中的直线几何特征进行提取，有助于对于晶圆进行相关的缺陷检测......”。

9、“.....综合了机器视觉数字图像处理等技术，从而实现对于晶圆表面的缺陷检查。在晶圆图像上，具有定的街区域，顺序被破坏，最终导致晶圆出现缺陷。晶圆的特征尺寸缩小的同时将会产生很多的微小缺陷。通过晶圆的边缘检测技术能够实现对晶圆缺陷的检测。在本文中利用边缘提取技术以及模式识别技术，对晶圆的物。这些冗余物的出现，般是来自于晶圆表面的空气污浊以及加工环节中化学试剂的清理不干净等。这些冗余物的出现......”。