手册。测试流程滤波器测试流程如图所示，由移动压针参数测试参数计算和数据存储个步骤组成，基于的滤波器在片测试系统论文原稿中存储，最后生成汇总文件。测试结果使用型号滤波器进行在片测试并与划片后手动测试结果进行对比，表为对比测试数据。可以看出滤波器各项性能指标的误差均在以内。两者测试过程均采用相同型号的矢量网络分析仪和微波探针。结语基于的滤波器在片测试系统能够大幅提升测试效率，可以满足大批中心频率两侧找到目标值对应的频率和。和的平均值即为中心频率，差值即为滤波器的带宽指定通带外频率点或范围对应的，即滤波器为带外抑制。滤波器回波损耗是的相反数，反射系数Г和带内驻波可以由计算获得，具体计算公式如下以上运算过程均可以通过程序公式编为若干测试动作，每个测试动作对应的控制命令在时序上进行组合，即可实现整个测试流程。基于的滤波器在片测试系统论文原稿。系统校准验证完成后，即可通过程序发送控制命令，完成矢量网络分析仪测量起始频率频率步进信号电平和中频带宽等设置。测试过程中，待探针台完成压针操作，程序立即触发矢量滤波器在使用前需要进行测试筛选，判断其指标是否满足要求。传统筛选方法采用手动测试和记录数据，测试效率低，无法满足大批量产品的供货要求。本文正是基于此开展研究，通过程序实现探针台控制参数提取计算和测试数据存储。测试过程完全自动化，生成数据实时显示，并自动保存到相应的文件夹。探针台移动。濾波器在信号传输链路中起着频率选择作用，是微波通信系统中，损耗高的值和良好的带外抑制，而且在体积和可集成性上具有明显的优势，是微波选频元件的热门研究方向。基于的滤波器在片测试系统论文原稿。硬件部分测试系统采用总线进行通信控制，按照图方式进行连接，实现硬件控制和数据采集功能，图中粗实线表示微波通路，虚线表示控制通路。测试系基于的滤波器在片测试系统论文原稿必不可少的组成部分。随着单片微波集成电路的发展，传统滤波器已经无法满足射频微波组件小型化的要求。滤波器不仅具有低的插入损耗高的值和良好的带外抑制，而且在体积和可集成性上具有明显的优势，是微波选频元件的热门研究方向。基于的滤波器在片测试系统论文原稿。，中矢量网络分析仪提供射频信号激励和参数测量，微波探针台进行移动控制和压针，测试计算机用于系统控制数据交换和存储。关键词滤波器在片测试系统中图分类号文献标识码文章编号，濾波器在信号传输链路中起着频率选择作用，是微波通信系统中必不可少的组成部分。随着单片微波集成电路的发展，传统滤波器已经无法满足射频微波组件小型化的要求。滤波器不仅具有低的插入，基于的滤波器在片测试系统论文原稿滤波器在片测试系统中图分类号文献标识码文章编号数据存储步骤包括参数存储和滤波器参数汇总数据存储。每个测试步骤可以分解为若干测试动作，每个测试动作对应的控制命令在时序上进行组合，即可实现整个测试流程。探针台移动。自动测试与手动测试的根本区别在于探针台移动和压针方式。本系统使用的半自动探针台可以通过程序控制，按照测试逐个芯片移动和压针，陈熙，李丰，马文涛，李宏军基于硅腔体技术的微波带通滤波器微纳电子技术，何宏，张金洲，张志宏基于接口数据采集系统的设计天津理工大学学报，曹赞，欧阳思华，李艳奎，刘新宇基于的自动测试系统测试的要求，已应用与实际芯片筛选中。根据在片测试数据及坐标可以重构出各个参数的片内分布，极大的方便了数据查阅工艺监测和问题分析。参考文献直接实现，运算数据实时输出到程序界面，并同步保存到数据存储文件。测试数据存储测试数据存储包含小信号参数存储和滤波器参数汇总数据存储。小信号参数通过矢量网络分析仪测量，然后由测试程序命名并以格式存储到对应文件夹。滤波器参数由小信号参数计算生成，连同圆片信息和测试点坐标等数据按行在指定络分析仪开始测量，即可获取滤波器的小信号参数。滤波器参数计算。带通滤波器的关键参数主要有中心频率通带宽度插入损耗回波损耗带内驻波和带外抑制等。以带宽为例，以上参数计算步骤如下搜索数列中的最大数值，即插入损耗最小值在中心频率对应数值减去为目标值，在。自动测试与手动测试的根本区别在于探针台移动和压针方式。本系统使用的半自动探针台可以通过程序控制，按照测试逐个芯片移动和压针。测试流程滤波器测试流程如图所示，由移动压针参数测试参数计算和数据存储个步骤组成，数据存储步骤包括参数存储和滤波器参数汇总数据存储。每个测试步骤可以分解