1、“.....探测器失效。中心波长漂移至，漂移幅度达，窄带因偏振发生变形。为实现拓宽探测角至，需将入射波长漂移控制到以内，同时需避免光谱形状明显改变，我们以此为优化目标。倾斜入射分析和改善方案用代表入射的中心波长，则漂移后的波长为，其中代表波长漂移幅度，可由式计算。为腔层等效折射率，入射角。空气。优化后的膜系结构和光谱如图，可看到入射时窄带在率时中心波长总漂移，仅为原设计漂移幅度的，且仍保有峰值的透过率，甚至优于原设计时的性能。探讨如休优化红外窄带滤光片的倾斜入射性能光学论文。原窄带设计的结构和缺点主峰膜系由反射层腔层或称间隔层耦合层或称匹配层组合构成，其中腔层最为重要。本例滤光片配臵个腔层，未优化时，每个腔层由光学厚度为即单探讨如休优化红外窄带滤光片的倾斜入射性能光学论文谱形状明显改变，我们以此为优化目标......”。

2、“.....但边际效应已显现最后分析偏振效应。减小偏振效应的途径是使两个偏振分量的折射率越接近越好，已知与分别是正比和反比关系，那么当值越接近则两者值越接近相等，这就要求折射角越小越好。利用折射定律，当光从光疏媒质入射光密媒质时折射角比入射角小的低折射率膜料氧化硅，构成高折射率腔层。原窄带设计的结构和缺点主峰膜系由反射层腔层或称间隔层耦合层或称匹配层组合构成，其中腔层最为重要。本例滤光片配臵个腔层，未优化时，每个腔层由光学厚度为即单半波的低折射率氧化硅膜构成，即低折射率单半波膜系结构，如下基底空气。其中，窄带单位厚度，代表光学厚度为波长的高低折射率膜层。该设计的缺点是随入射角变化波长漂，同时非工作光的干扰最少。而倾斜探测时，滤光片光学性能会发生变化，导致部分工作光被拦截，同时更多非工作光变得可以透过而产生干扰，使探测性能下降......”。

3、“.....最终改变了滤光片的光学性能。为了拓宽探测角，就需要改良滤光片的倾斜使用性能，途径是通过滤光片的薄膜计算分析来改进薄膜设计，达成改善目标。本文以用于氧化碳气体探测的中心波长窄带滤摘要从光学薄膜理论出发，讨论并改进了光倾斜入射情况下红外窄带滤光片的光学性能改变，从而使窄带滤光片的倾斜使用性能得到改善，拓宽了滤光片的工作角度。关键词倾斜入射偏振效应光学薄膜波长漂移窄带滤光片红外窄带滤光片是常见的光学薄膜类型之，项重要应用是作为气体探测器的光接收窗口。其原理是利用气体对红外光的特征吸收波长性质光照射气体时，特征波长光工作光会被气体吸收而导致光强减弱，通过探测该波长的光入射角作为原始设计角度，并在该角度将光优化至截止合格，这样即可保证内都获得合格的截止性能。图倾斜入射时反射膜变化图光的反射堆变化此外，由于有效厚度减小......”。

4、“.....本例中内的光可利用氧化硅膜料的材料本征吸收实现消光。如果没有吸收消光可利用，则需要在长波处加镀个反射堆，用以截止该处的光。结语为改善窄带滤光片的倾斜使用性能，通过主峰膜因，也是改善的首要目标。对截止带影响则是需要在长波截止区加镀反射堆，以避免因截止带移短而在长波漏出。倾斜入射时，薄膜有效折射率改变该性质与光的偏振性有关。光的本质是电磁波，具有与电磁波相同的横波偏振性，按电磁场振动方向可分解为两个相互垂直的偏振分量偏振光和偏振光，膜层对两个偏振分量的有效折射率不相等，分别是式和式。探讨如休优化红外窄带滤光片的倾斜入射性能光学论文。倾斜入射时，反射膜堆和膜层，并使用带角度设计方法，降低或消除了倾斜入射时的有效膜厚和有效折射率改变对光学性能的负面影响。改进后的产品应用在探测器上获得良好效果，前方探测角明显改善，满足了客户使用需求......”。

5、“.....翁煜菲红外窄带滤光片的倾斜入射性能改善研究集成电路应用，基金上海市科技企业技术创新课题项目。其中，膜层折射率膜层几何厚射区别如图。入射时，光可截止到而时，光两个反射堆因带宽缩小而在衔接处出现个透过率为的小透射峰即漏光现象。对该漏光需采取以下措施进行消除在衔接处增设个反射堆，避免倾斜入射时出现空隙。层数不需要完整反射膜那么多，拦截少量漏光即可。适度增加反射膜堆的膜层，提高光时的反射率。设计薄膜时使用入射角作为原始设计角度，并在该角度将光优化至截止探讨如休优化红外窄带滤光片的倾斜入射性能光学论文系使用高折射率和多半波腔层的设计方法，截止膜系使用增加反射膜堆和膜层，并使用带角度设计方法，降低或消除了倾斜入射时的有效膜厚和有效折射率改变对光学性能的负面影响。改进后的产品应用在探测器上获得良好效果，前方探测角明显改善......”。

6、“.....参考文献李正中光学薄膜与镀膜技术第版台湾艺轩图书出版社，翁煜菲红外窄带滤光片的倾斜入射性能改善研究集成电路应用，基金上海市科技企业技术创新课题项止堆后和入射时偏振光的反射区别如图。入射时，光可截止到而时，光两个反射堆因带宽缩小而在衔接处出现个透过率为的小透射峰即漏光现象。对该漏光需采取以下措施进行消除在衔接处增设个反射堆，避免倾斜入射时出现空隙。层数不需要完整反射膜那么多，拦截少量漏光即可。适度增加反射膜堆的膜层，提高光时的反射率。设计薄膜时使用原因是组成滤光片的基本单位各膜层的光学参数因入射角度改变而发生变化，最终改变了滤光片的光学性能。为了拓宽探测角，就需要改良滤光片的倾斜使用性能，途径是通过滤光片的薄膜计算分析来改进薄膜设计，达成改善目标。本文以用于氧化碳气体探测的中心波长窄带滤光片为例，对次进行论述......”。

7、“.....光的比值分别随入射角改变，其中膜层对光的比值增大而光的比值分别随入射角改变，其中膜层对光的比值增大而截止变好，对光则比值减小而截止变差，包括截止深度变浅和带宽变窄，因此需针对光进行改善。图是个层反射膜的和光谱时光反射带宽均为，截止深度而入射时，光反射带增宽至，截止深度提高至，截止性能变得更好而光则收窄至，截止深度也降低至，截止性能下降。当两组高反射膜连接成截度折射角。光垂直入射薄膜时，与同为，此时，有效光学厚度达到最大值。转为倾斜入射时，增大，即值减小，薄膜有效厚度也随之减小，此时等效于膜层的厚度变小，结果是光谱整体向短波方向漂移，且随入射角增大而漂移幅度越来越大。对窄带滤光片而言，有效膜厚减小对窄带主峰影响最大，会导致透射中心波长的移短，并直接影响特征波长光的透过率，这是影响滤光片倾斜性能的主要原格，这样即可保证内都获得合格的截止性能......”。

8、“.....由于有效厚度减小，截止区的长波极限也从移短至。本例中内的光可利用氧化硅膜料的材料本征吸收实现消光。如果没有吸收消光可利用，则需要在长波处加镀个反射堆，用以截止该处的光。结语为改善窄带滤光片的倾斜使用性能，通过主峰膜系使用高折射率和多半波腔层的设计方法，截止膜系使用增加截止变好，对光则比值减小而截止变差，包括截止深度变浅和带宽变窄，因此需针对光进行改善。图是个层反射膜的和光谱时光反射带宽均为，截止深度而入射时，光反射带增宽至，截止深度提高至，截止性能变得更好而光则收窄至，截止深度也降低至，截止性能下降。当两组高反射膜连接成截止堆后和入射时偏振光的反探讨如休优化红外窄带滤光片的倾斜入射性能光学论文号探测性能很好，但倾斜时性能很快下降，探测角小于前方与法线夹角，随着市场发展，客户提出将探测角拓展至的需求......”。

9、“.....同时非工作光的干扰最少。而倾斜探测时，滤光片光学性能会发生变化，导致部分工作光被拦截，同时更多非工作光变得可以透过而产生干扰，使探测性能下降。其改善波长漂移即减小的值，通过增大分母的值，也就是提高腔层的等效折射率即可实现，具体分以下两步。优化第步提高等效射率最直接的途径，是使用高折射率膜料构成腔层。因此在腔层设计上，可用高折射率膜料锗代替原来的低折射率膜料氧化硅，构成高折射率腔层。摘要从光学薄膜理论出发，讨论并改进了光倾斜入射情况下红外窄带滤光片的光学性能改变，从而使窄带滤光片的倾斜使用性能得到改善，拓宽了滤光片的工作角度波的低折射率氧化硅膜构成，即低折射率单半波膜系结构，如下基底空气。其中，窄带单位厚度，代表光学厚度为波长的高低折射率膜层。该设计的缺点是随入射角变化波长漂移较大......”。