析，并对分层假象进行准确识别。关键词分层假象塑封器件声学扫描显微镜检查声扫设备自动识别引言随着塑封器件制造技术水平的不断提升，其使用可靠性也不断提高，并且大量应用于有着高可靠性要求的军品领域。由于塑封器件自身灰白色或白色只要检测波形中负向幅值大于正向幅值，则着黄色或红色。这种着色原理不能对结构特殊以及多界面波叠加等复杂情形进行正确区分，仅仅从图形着色上来识别分层缺陷容易引起误判。常见分层假象分析与识别常见的分层假象般分为类，是图像显示为黄色或红色而实际上未分层真像假分层，另外就是图像显示为灰白色或白色而实际上为分分层假象在塑封器件声扫检查时的识别方法五金制品工业论文象的特征，分析了不同分层假象的检测波形形成的物理原理，在此基础上提出了检测波形与器件结构相结合的分析方法。实践证明该方法可以对声扫图像中异常区域进行正确分析，并对分层假象进行准确识别。关键词分层假象塑封器件声学扫描显微镜检查声扫设备自动识别引言随着塑封器件制造技术水平的不断提升，其使用可靠性也不断提高，并且大量存在的分层假象进行了分析与识别。声扫设备工作原理超声波成像原理传感器产生特定频率的超声波脉冲，脉冲通过耦合介质如去离子水到达样品，传感器再接收反射信号并处理后成像。超声波不能在真空中传播，同时频率大于的超声波不能在空气中传播。超声波的传递要求介质是连续的，不连续介质会干扰超声信号传播或导致超声各介质的声阻抗大小不同。分层假象在塑封器件声扫检查时的识别方法五金制品工业论文。声学扫描显微镜检查作为塑封器件分层缺陷检测的主要手段，直是试验中必要的试验项目，同时也是塑封器件筛选试验中常规的筛选项目。由于声扫设备在自动识别缺陷上存在局限性，会导致分层假象产生，同时目前塑封器件内部结构多样以及受试样品图样品正面声扫典型形貌图样品正面声扫典型形貌综上所述，可以看到先负后正波的检测波形可以表现出不同颜色，同时可以对应分层和未分层两种截然相反的结论，因此不能仅从图像表象上给出分层与否的判定，实际情况应结合检测波形所在部位和受试样品结构进行综合分析后确定。先正后负波形先正后负波形通常发生在塑封料与芯片间界面上，对应图中号波和号波，其中号波为正常情况。芯片表面为复杂的多层结构，大多数层是由极薄的硅的碳化物或氧化物组成，这些介质的声阻抗均大于塑封料的声阻抗，正常情况下界面反射波应为正波。器件引脚为单的金属材质，正常情况下塑封料与引脚间界面的反射波为正波。分别对两种样品进行制备，对样品进行化学开封，发现界面表现异常的两只格，但实际却是分层所致，因此该样品声扫结果不合格。图样品正面声扫典型形貌芯片界面红色的分层样貌是否为涂覆胶所致，需要进步验证才能确定，验证方法主要分破坏性和非破坏性类。破坏性验证方法有化学开封正面研磨以及剖切制样非破坏性方法主要是结合超声波反射信号以及不同扫描模式的声扫图像进行综合分析。种验证方法相比表现为红色黄色和亮白，对应图中号波和号波，其中号波为正常情况图中异常区域为塑封料与引脚间界面，表现为亮白，对应图中号波和号波，其中号波为正常情况。芯片表面为复杂的多层结构，大多数层是由极薄的硅的碳化物或氧化物组成，这些介质的声阻抗均大于塑封料的声阻抗，正常情况下界面反射波应为正波。器件引脚为单的金属材质，正常常区域为塑封料与芯片间界面，表现为红色和亮白，对应图中号波和号波，其中号波为正常情形。先正后负波形与先负后正的检测波形产生原理以及图像表象相似，都是超声波在两个间距极小的界面之间的反射波相互叠加后形成的，只是各介质的声阻抗大小不同。分层假象在塑封器件声扫检查时的识别方法五金制品工业论文。检测波形形状相同，正分层假象在塑封器件声扫检查时的识别方法五金制品工业论文片表面均有层薄膜对样品进行制样研磨，发现号和号波形对应引脚存在分层。结论是样品芯片表面的红色和黄色，按图像着色看为分层，但实际并非分层所致，因此该样品声扫结果合格样品引脚处的亮白色按图像着色看为合格，但实际却是分层所致，因此该样品声扫结果不合格。分层假象在塑封器件声扫检查时的识别方法五金制品工业论文这种先负后正的检测波形是表示合格还是分层需要结合器件的实际结构进行分析确认。以样品和样品为例对先负后正波形产生的图像表象进行解析，其正面声扫典型形貌分别如图和图所示。图中异常区域为塑封料与芯片间界面，表现为红色黄色和亮白，对应图中号波和号波，其中号波为正常情况图中异常区域为塑封料与引脚间界面，表现为亮白气中传播。超声波的传递要求介质是连续的，不连续介质会干扰超声信号传播或导致超声信号发生反射。使用超声波检测样品时，根据超声波成像原理，最终呈现灰度和极性不同的图像，通过对图像上异常区域的定位来判断样品是否有缺陷。图样品正面声扫典型形貌图样品正面声扫典型形貌综上所述，可以看到先负后正波的检测波形可以表现出不而言，破坏性验证方法得到的结果更加直观，更便于结果判定。但样品被破坏后即报废，因此建议声扫试验员对芯片表面存在涂覆胶的器件进行汇总并建立数据库，便于后续对此类器件的声扫结果进行正确判定。检测波形形状相同，正向幅值和负向幅值不同，则在图像上可以表现为白色黄色或红色，它们可以代表合格和分层缺陷种截然不同的结果。因此况下塑封料与引脚间界面的反射波为正波。分别对两种样品进行制备，对样品进行化学开封，发现界面表现异常的两只芯片表面均有层薄膜对样品进行制样研磨，发现号和号波形对应引脚存在分层。结论是样品芯片表面的红色和黄色，按图像着色看为分层，但实际并非分层所致，因此该样品声扫结果合格样品引脚处的亮白色按图像着色看为合向幅值和负向幅值不同，则在图像上可以表现为白色黄色或红色，它们可以代表合格和分层缺陷种截然不同的结果。因此，这种先负后正的检测波形是表示合格还是分层需要结合器件的实际结构进行分析确认。以样品和样品为例对先负后正波形产生的图像表象进行解析，其正面声扫典型形貌分别如图和图所示。图中异常区域为塑封料与芯片间界面颜色，同时可以对应分层和未分层两种截然相反的结论，因此不能仅从图像表象上给出分层与否的判定，实际情况应结合检测波形所在部位和受试样品结构进行综合分析后确定。先正后负波形先正后负波形通常发生在塑封料与芯片间界面上，以样品为例对先正后负的检测波形产生的图像表象进行解析，其正面声扫典型形貌如图所示。图中分层假象在塑封器件声扫检查时的识别方法五金制品工业论文点进行了总结分析，同时应用检测波形与器件结构相结合的分析方式，对塑封器件声扫中存在的分层假象进行了分析与识别。声扫设备工作原理超声波成像原理传感器产生特定频率的超声波脉冲，脉冲通过耦合介质如去离子水到达样品，传感器再接收反射信号并处理后成像。超声波不能在真空中传播，同时频率大于的超声波不能在空在非气密性塑封料导热性差以及与其他材料之间热膨胀系数差异大等不足，导致其长期存在不容忽视的使用可靠性问题，其中塑封器件分层缺陷问题是塑封器件失效的最主要原因之，。声学扫描显微镜检查作为塑封器件分层缺陷检测的主要手段，直是试验中必要的试验项目，同时也是塑封器件筛选试验中常规的筛选项目。由于声扫设备在自动识别层假像真分层其中每类现象在实际工作中，因器件结构和波形特点不同又可以分为多种情形。摘要声学扫描显微镜检查是塑封器件可靠性分析中项重要的试验项目，然而声扫设备在自动识别缺陷上存在局限性会导致分层假象产生。指出了所用声扫设备的图像着色原理存在的问题以及几类常见分层假象的特征，分析了不同分层假象的检测波形形成的物理用于有着高可靠性要求的军品领域。由于塑封器件自身存在非气密性塑封料导热性差以及与其他材料之间热膨胀系数差异大等不足，导致其长期存在不容忽视的使用可靠性问题，其中塑封器件分层缺陷问题是塑封器件失效的最主要原因之，。图声扫设备着色图声扫设备图像着色原理是在选定的门限内，只要检测波形中正向幅值大于负向幅值，则号发生反射。使用超声波检测样品时，根据超声波成像原理，最终呈现灰度和极性不同的图像，通过对图像上异常区域的定位来判断样品是否有缺陷。摘要声学扫描显微镜检查是塑封器件可靠性分析中项重要的试验项目，然而声扫设备在自动识别缺陷上存在局限性会导致分层假象产生。指出了所用声扫设备的图像着色原理存在的问题以及几类常见分层假数量大，如果对器件结构声扫设备成像原理不清楚或工作经验不足，容易对些分层假象产生误判，。本文以美国公司生产的声扫设备为例，介绍了声扫设备检测原理并指出其图像着色原理存在的问题结合作者工作中的实例，对分层缺陷的假象特点进行了总结分析，同时应用检测波形与器件结构相结合的分析方式，对塑封器件声扫上，以样品为例对先正后负的检测波形产生的图像表象进行解析，其正面声扫典型形貌如图所示。图中异常区域为塑封料与芯片间界面，表现为红色和亮白，对应图中号波和号波，其中号波为正常情形。先正后负波形与先负后正的检测波形产生原理以及图像表象相似，都是超声波在两个间距极小的界面之间的反射波相互叠加后形成的，只