1、手机端页面文档仅支持阅读 15 页,超过 15 页的文档需使用电脑才能全文阅读。
2、下载的内容跟在线预览是一致的,下载后除PDF外均可任意编辑、修改。
3、所有文档均不包含其他附件,文中所提的附件、附录,在线看不到的下载也不会有。
虽然技术,具有批量生产强的优点,它是不适合微型模具和微型系统原型制造所需要的柔性加工。
为了实现无成本效益和灵活的加工,使用口罩,许多技术已经开发出来。
在化工机械扫描探针光刻的过程以前开发的,薄薄的光阻层选择性去除探针尖端的原子力显微镜的化学蚀刻硅或金属表面上制作微沟槽模式。
作为抵抗层,已利用的材料,如二氧化硅和自组装膜为抵御化学腐蚀的能力。
光阻去除尖端的切削作用下不断施加负荷。
负载调整就可以实现所需的深度,使切。
经过加工,制作模式是有选择性化学蚀刻,光阻已被删除的地区。
三维结构,以及各种线条图案,可以制作成功由过程。
制作模式的尺寸取决于探头尖大小,厚度的抵制,抵制加工过程中的应用负载。
例如,利用原子力显微镜在几十纳米尺度的加工能力,同时提供几十微米或更大的模式可以使用轴精密驱动器的个尖锐的触笔结合的工具类型捏造。
虽然几十微米和数百个纳米的沟槽图案宽度可以达到使用过程,在毫米范围内的模式不能制造足够的可靠性。
应用于硅工件制作的微米大小的图案当过程,小丘往往形成,而不是沟槽。
遇到这种现象时,光阻层是薄和正常负载是比较高的,因为刀尖可以很容易地穿透抵抗层之间的锐利尖端和硅衬底,但不那么容易在溶液中,硅反之亦然。
此外,的是耐和氢氧化钾腐蚀剂控制蚀刻条件下几分钟。
图显示了利用作为次要抵制层的的修改过程制备硅格局。
图所示硅工件表面涂上后,机械加工和化学蚀刻前与的和。
可以看出,的表面加工线深度小于。
因此,它是最有可能的尖端没有穿透的光阻层。
然而,即使在尖端穿透抵抗层的情况下,尖端和硅衬底之间的机械相互作用弱,不会造成岗形成。
图。
和,很显然,氢氧化钾蚀刻后,在毫米范围内槽的宽度模式可以成功制作没有任何小丘形成。
表显示了从两个不同的应用的正常负载获得的沟槽图案的宽度和深度。
小丘的形成是可以预防的工具和硅衬底之间的直接接触,因为可以在机械加工过程中避免。
也就是说,磨料互动仅限于二氧化矽的主抵抗为目的层内。
当蚀刻被用来去除二氧化硅抵制层暴露在硅衬底,层担任作为抵制对蚀刻层和周边地区成功地保护了被腐蚀。
此外,当溶液被用来格局的硅衬底,连同二氧化硅抵制保护其余地区领先的硅槽模式的成功制造。
在加工应用中使用修改的进程为了证明修改过程的优点,号码不同的线宽毫米和毫米,是制造硅工件如图图案数字可以通过编程工具的路径。
此外,通过控制施加的机械加工过程中的正常负荷,图案的宽度可以在所需的位置变化。
应用的正常负载和由此产生的图案宽度之间的关系是建立在套独立的实验。
这种关系是相当非线性是很难预测理论。
然而,相当贯宽度可以得到下个给定的应用负载。
宽度为毫米的正常负荷万被应用于如前。
宽度为毫米的正常负荷万应用。
在图像显示,交界处的数字和应用负载改变工具的方向增加至百万到制作较厚的线宽是相当完整。
这表明的修改过程的能力,通过刀具路径编程和正常负荷控制的硅表面上制作实际出发,多动点手去做,把前人的只是经验变成自己的力量。
摸着石头过河是我们初学者必须要的精神,只有自己动手了,的会改正,正确的继续发扬,这样才符合毕业设计的要求。
老师是我们做毕业设计的最好导航,无论在做设计数据筛选,加工工艺遇上的种种问题我们自己不能解决都需要老师的帮助。
老师具备专业的知识和过硬的事迹操作经验,是我们在机械制造业中航行的指明灯,老师不会什么都亲手的帮我们做好,他主要的工作是指引我们,启发我们。
授之以鱼不入授之以渔,以老师的话来说亲手帮你做好了次,下次遇到同样的问题,你们还是不会解决,那不是等于没有教,出去外面没有人帮你的忙岂不是不会做了,你们要学会独立思考,提高自己的学习能力。
毕业设计毕竟是个较为漫长的过程,其中有苦有乐,每当我们灰心意志消沉时得到老师的鼓励,我们都会信心大增,每当做出的成绩能换来老师个微笑,我们都会感到心满意足,彼此的交流让我们师生的感情更融洽。
人们说美好景色在顶峰,人克服困难换来成功的喜悦才是最幸福的事。
毕业设计做完了,画上个完美的句号,也尝到成功的味道,但漫漫的人生路还需要继续努力。
面对日趋激烈的就业形势,我们相信只要学好知识技术,以种刻苦勤劳的精神对待工作,我们定会活出不平凡的人生。
致谢首先,我要特别感谢我的指导老师,他对我毕业设计给予了很多的指导,花费了很多的心血,使我最后圆满完成了毕业设计。
在张老师的悉心教导下的这段时间里,他严谨的治学态度,渊博的知识,正直的人格,给我留下了极深的印象,为我今后的工作生活树立了良好的榜样。
其次,我还要感谢我的同学,在毕业设计过程给予我很大的帮助,在我不懂的时候,他们总是耐心的给我讲解,同样使我受益匪浅。
最后,我要感谢所有帮助过我的人,在这里真诚的说声谢谢参考文献濮良贵,纪名刚机械设计北京高等教育出版社,成大先机械设计手册版卷北京化学工业出版社雷天觉新编液压工程手册北京北京理工大学出版社孙桓,陈作模,葛文杰机械原理北京高等教育出版社第七版明仁雄液压传动与气压传动北京国防工业出版社杜玉湘,陆启建,刘明灯五轴联动数控机床的结构和应用机械制造与自动化,丛凤廷等组合机床设计北京机械工业出版社刘潭玉,黄素华,熊逸珍画法几何及机械制图长沙湖南大学出版社戴曙金属切削机床北京机械工业出版社温松明主编互换性与测量技术基础长沙湖南大学出版社使用和二氧化硅涂料预防小丘形成二氧化硅和薄膜硅片的加工特性采用双涂层系统的可行性进行了研究,目的是消除不良的山丘。
最外层的涂层被用来作为牺牲层膜,这反过来又服务模式硅。
选择性地去除微加工涂层,和化学蚀刻工艺去除层建立在硅衬底上的模式。
这个过程中,可以成功地制备槽的宽度约的模式,在硅片上,没有形成不良的山丘。
介绍已制定相关的微机电系统温度的各种技术,在硅基材料制作的微型模式和结构。
然而,这些技术,需要大量的设备和成本高,在参与设立制造工厂。
此外,它通常是必要的面具,使各种沟槽宽度约毫米的模式。
图结论当正常的百万或更高负荷传统过程中用来制造硅工件的范围在毫米宽的沟模式,容易形成不良山丘。
岗形成的机制是由于工具和硅衬底导致接触区域被转化为溶液,具有很高的耐硅相的直面积为平方公里,河流湖泊面积为平方公里,素有八山水分田之称。
拥有耕地面积万亩,林地面积万亩,森林覆盖率达,绿化程度,森林蓄积量达万立方米。
水资源境内常年平均水资源量超过亿立方米,水能资源理论储藏量为万千瓦,可开发为万千瓦,为全国第二批电气化县。
社会建成高标准冷配站和基层兽医站,并定期对全县改良站和兽医站人员进行技术培训,组织专门下乡服务队伍,加强了疫病防治体系建设,为特种野猪产业化发展提供了强有力技术保证队伍。
项目建设地点选择该项目拟在永嘉县岩头镇实施,以基地化养殖为龙头,带动全县特种野猪规模化发展和不断提高科学养殖水平和养殖效益。
项目建设条件优势劣势分析政策环境温州永嘉国民经济和社会发展第十个五年规划纲要中提出大力发展畜牧业,实现农牧业结构由种植业于亚热季风气候,四季温和,雨量充沛,年均气温为,年均降水量为毫升,降水日数日,年均日照小时,年均蒸发量为毫米,历年平均无霜期为天。
永嘉县面积平方公里,其中山地面积为平方公里,平原面积为平方公里,河流湖泊面积为平方公里,素有八山水分田之称。
拥有耕地面积万亩,林地面积万亩,森林覆盖率达,绿化程度,森林蓄积量达万立方米。
水资源境内常年平均水资源量超过亿立方米,水能资源理论储藏量为万千瓦,可开发为万千瓦,为全国第二批电气化县。
社会经济状况全县辖有个镇,个乡,个社区,个行政村总人口万人,产业结构以农牧业为主,农作物以水稻蕃薯小麦马铃薯杂粮杂豆为主。
国民经择电气控制设备提供依据。
各类速度图所对应的动力学计算方法大致相同。
基本方法是将计算出的各提升阶段的各个量代入提升动力学基本方程式,计算出提升过程中各阶段的拖动力。
若把提升各阶段的始终点的速度和拖动力代入功率计算公式,即可求出滚筒轴上的功率。
现以单绳缠绕式无尾绳箕斗提升系统六阶段速度图为例,介绍动力学计算的基本方法。
单绳缠绕式无尾绳提升设备的基本动力方程式为将提升升速度图中各家段的行程相应的加速度和减速度代入上式中,就可以计算出提升过程中各阶段的拖动力。
初加速度阶段初加速度开始,初加速度终了,ˊ主加速度阶段主加速度开始主加速度终了,ˊ等速度阶段等速度开始等速度终了ˊ完成毕业设计,在此非常感谢老师的辛苦教导。
由于个人设计经验有限,设计中可能存在这样或者那样的,望老师能够给予改正,并宽恕学生的不足之处。
在此再次感觉老师的审阅和指导。
参考文献孙玉蓉,周发孔主编矿井提升设备北京煤炭工业出版社,成大先主编机械设计手册常用材料北京化学工业出版社,大先主编机械设作为 倒空炉内钢坯之用。
由于作升降动作的液动,可在托轮上作水平前进或后退运动。
通过两缸的操作,使步进 梁作矩形轨迹运动,各段运动的行程可以调节,操纵方式可以连续或手动操纵。
同 液压油源供双排炉床的步进梁传动,可以同时或交替动作并可逆向运动,作为 倒空炉内钢坯之用。
由于作升降动作的液压缸和作水平矩形轨迹运动,各段运动的行程可以调节,操纵方式可以连续或手动操纵。
同 液压油源供双排炉床的步进梁传动,可以同时或交替动作并可之间每个光的过程,增加了全过程的成本和时间。
虽然技术,具有批量生产强的优点,它是不适合微型模具和微型系统原型制造所需要的柔性加工。
为了实现无成本效益和灵活的加工,使用口罩,许多技术已经开发出来。
在化工机械扫描探针光刻的过程以前开发的,薄薄的光阻层选择性去除探针尖端的原子力显微镜的化学蚀刻硅或金属表面上制作微沟槽模式。
作为抵抗层,已利用的材料,如二氧化硅和自组装膜为抵御化学腐蚀的能力。
光阻去除尖端的切削作用下不断施加负荷。
负载调整就可以实现所需的深度,使切。
经过加工,制作模式是有选择性化学蚀刻,光阻已被删除的地区。
三维结构,以及各种线条图案,可以制作成功由过程。
制作模式的尺寸取决于探头尖大小,厚度的抵制,抵制加工过程中的应用负载。
例如,利用原子力显微镜在几十纳米尺度的加工能力,同时提供几十微米或更大的模式可以使用轴精密驱动器的个尖锐的触笔结合的工具类型捏造。
虽然几十微米和数百个纳米的沟槽图案宽度可以达到使用过程,在毫米范围内的模式不能制造足够的可靠性。
应用于硅工件制作的微米大小的图案当过程,小丘往往形成,而不是沟槽。
遇到这种现象时,光阻层是薄和正常负载是比较高的,因为刀尖可以很容易地穿透抵抗层之间的锐利尖端和硅衬底,但不那么容易在溶液中,硅反之亦然。
此外,的是耐和氢氧化钾腐蚀剂控制蚀刻条件下几分钟。
图显示了利用作为次要抵制层的的修改过程制备硅格局。
图所示硅工件表面涂上后,机械加工和化学蚀刻前与的和。
可以看出,的表面加工线深度小于。
因此,它是最有可能的尖端没有穿透的光阻层。
然而,即使在尖端穿透抵抗层的情况下,尖端和硅衬底之间的机械相互作用弱,不会造成岗形成。
图。
和,很显然,氢氧化钾蚀刻后,在毫米范围内槽的宽度模式可以成功制作没有任何小丘形成。
表显示了从两个不同的应用的正常负载获得的沟槽图案的宽度和深度。
小丘的形成是可以预防的工具和硅衬底之间的直接接触,因为可以在机械加工过程中避免。
也就是说,磨料互动仅限于二氧化矽的主抵抗为目的层内。
当蚀刻被用来去除二氧化硅抵制层暴露在硅衬底,层担任作为抵制对蚀刻层和周边地区成功地保护了被腐蚀。
此外,当溶液被用来格局的硅衬底,连同二氧化硅抵制保护其余地区领先的硅槽模式的成功制造。
在加工应用中使用修改的进程为了证明修改过程的优点,号码不同的线宽毫米和毫米,是制造硅工件如图图案数字可以通过编程工具的路径。
此外,通过控制施加的机械加工过程中的正常负荷,图案的宽度可以在所需的位置变化。
应用的正常负载和由此产生的图案宽度之间的关系是建立在套独立的实验。
这种关系是相当非线性是很难预测理论。
然而,相当贯宽度可以得到下个给定的应用负载。
宽度为毫米的正常负荷万被应用于如前。
宽度为毫米的正常负荷万应用。
在图像显示,交界处的数字和应用负载改变工具的方向增加至百万到制作较厚的线宽是相当完整。
这表明的修改过程的能力,通过刀具路径编程和正常负荷控制的硅表面上制作实际出发,多动点手去做,把前人的只是经验变成自己的力量。
摸着石头过河是我们初学者必须要的精神,
