（定稿）大型纸箱印刷生产线项目投资立项申报书8（喜欢就下吧）

根据试验得到的最优抛光液的成分含量分散剂，氧化剂，值为，硅溶胶粒径为，硅溶胶含量为，金刚石粒径为，金刚石含量为，只改变其中的个因素水平，其他因素保持不变，研究分散剂含量氧化剂含量抛光液值硅溶胶粒径硅溶胶含量金刚石粒径金刚石含量只加磨料抛光不加磨料抛光和材料去除率之间的关系。

抛光参数抛光压力，下盘转速，载物盘转速，抛光液流量，抛光液流出位置抛光垫中心，摆动周期，抛光时间，抛光垫修整时间。

每次试验配置抛光液，抛光液温度，环境温度。

各因素水平值见表表试验水平值分散剂氧化剂值硅溶胶粒径硅溶胶含量金刚石粒径金刚石含量只加金刚石只加硅溶胶只加硅溶胶和金刚石只加白刚玉不加磨料分散剂含量与去除率的关系表分散剂对去除率的试验结果由上表可以看出随着分散剂含量的增加，材料去除率随之降低。

但不加分散剂时，材料去除率也低。

为了更直观的表示出来，用图表示如下，由图可知，当分散剂含量增加时，去除率随之降低，其原因可能是因为分散剂丙三醇比较粘稠，附着在晶片表面，导致在抛光过程中阻碍晶片表面与抛光垫的接触，而使材料去除率降低。

但降低的趋势比较平缓，说明分散剂对材料去除率影响不大。

去除率分散剂去除率图分散剂含量对去除率的影响氧化剂含量与去除率的关系表氧化剂对去除率的试验结果由上表可以看出氧化剂含量在之前，材料去除率几乎不变郭东明，康仁科，苏建修，金洙吉超大规模集成电路制造中硅片平坦化技术的未来发展机械工程学报收录胡伟，向北平，谢小柱，抛光半导体晶片中抛光液的研究金刚石与磨料磨具工程，年，总第期第期廉进卫，张大全，高立新，化学机械抛光液的研究进展化学世界，第期陈勇臻，单晶抛光片的制备与表征西安西安理工大学硕士学位论文，刘瑞鸿，二氧化硅介质层抛光液研制及其性能研究大连大连理工大学博士学位论文，李树荣，蓝宝石晶片化学机械抛光液的研制大连大连理工大学硕士学位论文，苏建修，高虹，陈锡渠，宁欣，郭东明。

基于磨损行为的单晶硅片化学机械抛光材料的去除特性，纳米技术与精密工程收录苏建修，傅宇，杜家熙，陈锡渠抛光垫表面特性分析半导体技术袁巨龙功能陶瓷的超精密加工技术哈尔滨哈尔滨工业大学出版社，筑防水材料应用领抢抓环保型防水卷材市场机遇需要 环保是当前人们都积极倡导的个发展主题，也是今后发展的 个永恒不变的主题，随着城市化的进程和人民生活水平的提高，人们 对环境的要求更加苛刻，防水材料也在向这趋 钢电子信息食品药品等个以上产值超百亿元产业。

地理位置优越，交通便利。

凭借强大的地理优势，近几年经济 增长势头强劲。

快速发展给企业的发展提供了强大的动力和前所未有 的机遇。

业和关联配套企业，提高产业集聚度，加快形成批总量规模大 协作程度高综合能力强的产业集群，力争到年，打造稀土特年产万平方米改性沥青防水卷材和万平方米聚乙烯丙纶高分子防水卷材项目 福，实现撤县 设市，加快建成次中心城市和核心经济区的工作思路和目标，在之后，随着氧化剂含量的增加，去除率随之增加，这是因为氧化剂含量增加，化学反应作用增强，材料去除率增大。

用图表示如下分散剂抛光前质量抛光后质量去除率氧化剂抛光前质量抛光后质量去除率去除率氧化剂去除率图氧化剂含量对去除率的影响值与去除率的关系表值对去除率的试验结果由上表可以看出值与去除率的关系不是规律的，随着值的增大，去除率先减小后增加，但在时，去除率是最大的，在时，去除率是最小的。

用图表示如下值抛光前质量抛光后质量去除率去除率值去除率图值对去除率的影响硅溶胶粒径与去除率的关系表硅溶胶粒径对去除率的试验结果由上表可以得出硅溶胶粒径与去除率的关系是随着粒径的增大，去除率增大，用图表示如下，由图可知，材料的去除量与磨料的粒径有关，磨料的粒度越大，材料去除量也越大。

磨料粒径增大，磨料与晶片表面接触面间的机械作用环境温度。

抛光液成分为分散剂，氧化剂，值为，硅溶胶粒径为，硅溶胶含量为，金刚石粒径为，金刚石含量为时的抛光效果相对较好。

致谢本论文是在导师苏教授和两位师哥师姐的悉心指导下完成的。

导师严谨的治学态度，精益求精的工作态度，无论是现在还是将来都是我学习的典范。

在师哥师姐的指导和帮助下，我顺利完成了本次试验，并从中学到很多以前不曾涉及的知识。

在论文完成之际，特向导师以及师哥师姐表示衷心的感谢，并致以崇高的敬意。

最后，感谢参与论文评审和答辩的各位老师，能在百忙之中对我的论文进行评阅和审议。

参考文献，，，王世忠等单晶的性质生长及应用无机材料学报，，，雷天民新型电力电子材料晶体薄膜材料的制备及性能分析西安西安理工大学，，，，，郝寅雷，赵文兴，翁志成新型反射镜碳化硅宇航材料工艺周松青，肖汉宁碳化硅陶瓷摩擦化学磨损机理及磨损图的研究硅酸盐学报狄卫国，杨明，刘玉岭超大规模集成电路制备中硅衬底抛光液研究石家庄铁道学院学报，年第期，第卷李娟，陈秀芳，马德营等，单晶片的超精密加工，功能材料，年，第期卷杜家熙，苏建修，万秀颖，宁欣。

单晶硅片化学机械抛光材料去除特性，北京科技大学学报，收录肖强，李言，李淑娟单晶片加工技术的发展，技术新工艺热加工工艺技术与材料研究，年，第期肖强，李言，李淑娟单晶片超精密加工技术现状与趋势，宇航材料工艺，年，第期度，所以误差的自由度。

为均方，其中。

表方差分析来源总因素影响次序由此可知，金刚石粒径对材料的去除率影响最大，其次是金刚石含量，然后是值，分散剂和硅溶胶粒径对材料去除率的影响非常接近，氧化剂对材料去除率影响最小。

确定金刚石粒径和含量是影响材料去除率的主要因素见表，下面通过计算找出金刚石粒径和含量的最优组合。

表与的相互作用表其中的数据表示因素与因素在相同水平时对材料去除率的平均值，所以所得的数值应该是越大越好，表中最大的数是，其所对应的组合为，与上面极差分析法所得结论是致的，故最优组合为单因素试验综合以上试验分析结果得出最优组合，由于正交试验的试验次数是有限的，没有覆盖各种因素的所有组合，所以在经过分析得出的最优组合时，也只是个估计组合，它是否是整 各类综合专业市场多个，总面积万平方米。

其中国际家 私城是江西省规模最大的家具专业大市场，占地亩国际服装城占地 亩，建筑面积达平方米南康成衣市场年营业额亿余元建设中的家具配 套工业以生产卷烟和花生巴南瓜系列产品 板鸭等客家风味食品为主，产品多次获得国际国内大奖，有多个商标荣获省著 名商标称号化工及电子业在大澳涂料华亿化工等骨干企业的带动下迅速崛起 壮大。

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南康市建有各类综合专业市场多个，总面积万平方米。

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此外，建材大市场竹木大市场 水果大市场等批专业市场正在加快建设之中。

南康市矿产资源种类繁多，品位较高。

主要有金属矿非金属矿和地下水 矿泉水大类。

已探明储量的矿产有种，已开采的有钨矿锡矿铜矿稀 有金属钽铌矿稀土金属矿钾长石矿带动效益及投资吸引能力， 促进园区招商引资工作的开展。

三项目建设是加快当地优势产业集孔砖加工厂管厂等项目， 并已初步达成涉及石化冶金等项目的投资意向。

本项目拟建设园区内给排水设施，其为园区建设和发展的基础， 实施后能够完善园区的基础设施条件，为落户企业提供交通以及生产 施条件，加快园区招商引资工作 开展的需要 民丰县工业园规划总面积公顷，将打造成为民丰县经济发展 的全新载体和动力，以及促进就业和集聚创业的平台。

目前，园区已 建及正在建设的项目包括石板材厂多助资金，加快民 丰县工业园基础设施建设，以经济技术等形式加大支援新疆力度， 进步推进天津对口援疆工作的进程因此非常有必要在鄯兰原油管道的输油泵机组上进行节能挖潜。

中国石油西部管道公司科技论文结论本文针对鄯兰原油管道由于油田储运系统外输油量达不到管线设计输量，导致泵管压差增大，在变工况运行条件下电机转速不可调整，造成输油泵机组效率低，耗能大的情况。

提出利用变频调速方式对输油泵机组进行控制，来解决泵管之间的匹配问题和多工况下的优化运行问题，达到节能降耗的目的。

中国石油西部管道公司科技论文参考文献曾金胜中国经济遭遇能源瓶颈时代潮康瑞华我国能源状况对实施可持续发展的影响及对策思考党政干部学刊钱锡俊，陈弘泵和压缩机石油大学出版社山东杨筱蘅，输油管道设计与管理第版，山东中国石油大学出版社，黄刚变频技术的现状与发展电气时代王锡仲，蒋志坚，高景峰变频优化调压节能供水装置的研制给水排水韩安荣通用变频器及应用北京机械工业出版社张少军，杜金城交流调速原理及应用北京中国电力出版社谷晋龙水泵调定混合给水系统运行工况分析给水排水马明利输油泵机组高压变频调速节能技术的应用油气田地面工程丁斗章变频调速技术与系统个试验组合的最优组合，还有待进步验证，所以还要利用单因素试验验证结论或是寻找更优组合。

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抛光参数抛光压力，下盘转速，载物盘转速，抛光液流量，抛光液流出位置抛光垫中心，摆动周期，抛光时间，抛光垫修整时间。

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各因素水平值见表表试验水平值分散剂氧化剂值硅溶胶粒径硅溶胶含量金刚石粒径金刚石含量只加金刚石只加硅溶胶只加硅溶胶和金刚石只加白刚玉不加磨料分散剂含量与去除率的关系表分散剂对去除率的试验结果由上表可以看出随着分散剂含量的增加，材料去除率随之降低。

但不加分散剂时，材料去除率也低。

为了更直观的表示出来，用图表示如下，由图可知，当分散剂含量增加时，去除率随之降低，其原因可能是因为分散剂丙三醇比较粘稠，附着在晶片表面，导致在抛光过程中阻碍晶片表面与抛光垫的接触，而使材料去除率降低。

但降低的趋势比较平缓，说明分散剂对材料去除率影响不大。

去除率分散剂去除率图分散剂含量对去除率的影响氧化剂含量与去除率的关系表氧化剂对去除率的试验结果由上表可以看出氧化剂含量在之前，材料去除率几乎不变郭东明，康仁科，苏建修，金洙吉超大规模集成电路制造中硅片平坦化技术的未来发展机械工程学报收录胡伟，向北平，谢小柱，抛光半导体晶片中抛光液的研究金刚石与磨料磨具工程，年，总第期第期廉进卫，张大全，高立新，化学机械抛光液的研究进展化学世界，第期陈勇臻，单晶抛光片的制备与表征西安西安理工大学硕士学位论文，刘瑞鸿，二氧化硅介质层抛光液研制及其性能研究大连大连理工大学博士学位论文，李树荣，蓝宝石晶片化学机械抛光液的研制大连大连理工大学硕士学位论文，苏建修，高虹，陈锡渠，宁欣，郭东明。

基于磨损行为的单晶硅片化学机械抛光材料的去除特性，纳米技术与精密工程收录苏建修，傅宇，杜家熙，陈锡渠抛光垫表面特性分析半导体技术袁巨龙功能陶瓷的超精密加工技术哈尔滨哈尔滨工业大学出版社，筑防水材料应用领抢抓环保型防水卷材市场机遇需要 环保是当前人们都积极倡导的个发展主题，也是今后发展的 个永恒不变的主题，随着城市化的进程和人民生活水平的提高，人们 对环境的要求更加苛刻，防水材料也在向这趋 钢电子信息食品药品等个以上产值超百亿元产业。

地理位置优越，交通便利。

凭借强大的地理优势，近几年经济 增长势头强劲。

快速发展给企业的发展提供了强大的动力和前所未有 的机遇。

业和关联配套企业，提高产业集聚度，加快形成批总量规模大 协作程度高综合能力强的产业集群，力争到年，打造稀土特年产万平方米改性沥青防水卷材和万平方米聚乙烯丙纶高分子防水卷材项目 福，实现撤县 设市，加快建成次中心城市和核心经济区的工作思路和目标