（定稿）特殊教育学校建设工程项目可行性商业策划书9（喜欢就下吧）

富硅的。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从平均寿命分布图可以看出，样品的最高寿命可达微秒，说明局部的钝化效果有了很大的提高，但是平均少子寿命只有微秒，较样品的平均少子寿命提高不大，说明总体的钝化效果并没有得到大的改善，种材料总体的钝化效果相差不是很大，但是与样品的钝化效果相比，还是有了很大的提高哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的少子平均寿命图可以看出，样品的寿命分布从微秒到微秒，深色区域明显增多，平均寿命较，样品的平均寿命体提高并不是很大，但是大体的钝化效果有了很大改善，最低区域的少子寿命已能提高到微秒。

了富硅的。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从的平均寿命分布图可以看出，虽然相比较前面的个型号样品的，平均寿命并没有很大的改善，但是最大寿命可以达到微秒，平均少子寿命也能达到微秒，说明，此样品的钝化效果已经达到了较好的水平哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的平均寿命分布图可以看出，此种钝化材料所能达到的钝化效果已经相当好，其平均少子寿命可以达到微秒，最低最高少子寿命分别为微秒和微秒，钝化效果较前面的个型号的样品有较大的提高，而且颜色变化不是很大，较均。

了疏松的。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的平均寿命分布图可以看到，其少子的平均寿命已经达到了微秒，最低少子寿命已经提高至微秒，已经超过了前面几个样品的最高寿命，钝化效果为所测试的样品中最好的，而且颜色基本均，没有大的变化。

多晶硅薄膜钝化样品寿命测试的分析如图为不同钝化材料少子平均寿命的对比分析图，从图中可以看出，其中，以二氧化硅和氮化硅复合钝化膜的效果最佳，二氧化硅单层膜次之，在单层钝化薄膜中，二氧化硅的钝化效果好于聚酰亚胺，氮化硅相对较差。

综合测试，可知，在多晶硅上淀积氮化硅或二氧化硅或聚酰亚胺可以明显提高多晶硅纳米薄膜的平均少子寿命，从而减低多晶硅的表面复合速率，以提高多晶硅薄膜的钝化效果，延长多晶硅材料的使用寿命，提高器件工作的稳定性。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文本章小结采用原子力显微镜对多晶硅纳米膜的表面形貌进行表征，给出了多晶硅纳米膜形貌图采用微波光电导衰减仪测试了不同钝化材料的多晶硅样品的少子寿命，发现二氧化硅和氮化硅复合制备的多晶硅样品的钝化效果最好，其少子平均寿命可达微秒，单层钝化样品中，二氧化硅的钝化效果最好，氮化硅和聚酰亚胺的效果较二氧化硅要差。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文结论课题在分析多晶硅表层钝化理论的基础上，对多晶硅薄膜的钝化种类和测量方法进行分析和比较，制作出多晶硅纳米膜表层钝化样品，并对在不同类型的表层钝化样品进行了分析和比较。

通过研究得出如下结论选择在硅片正面淀积多晶硅纳米薄膜，厚度为，采用对多晶硅纳米膜进行表征，纳米膜的晶粒大小均匀表面平整度良好。

多晶硅薄膜的钝化种类和测量方法进行分析和对比，分析表明对于薄膜材料来说采用低压化学气相淀积法和等离子体气相沉积法来制作含有二氧化硅，氮化硅和聚酰亚胺树脂的单冷却分钟。

保存氧化腐蚀退火离子注入多晶硅去除保存淀积疏松的哈尔滨工业大学工程硕士学位论文实物图多晶硅加聚酰亚胺硅片的清洗必须保证衬底基片清洗干净，否则就会给沉积膜造成各种缺陷，造成沉积的薄膜厚度不均。

其清洗顺序为先将硅片用甲苯超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入丙酮中超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入无水乙醇中超声清洗分钟，取出用超纯水反复清洗遍以上，以去除剩余的无水乙醇将清洗完的硅片放入烘干箱中度烘干分钟，取出保存甩胶将聚酰亚胺树脂均匀覆盖多晶硅表面烘干放入烘箱中烘干，直至聚酰亚胺树脂完全固化保存工艺流程图如下实物图多晶硅加聚酰亚胺硅片的清洗必须保证衬底基片清洗干净，否则就会给沉积膜造成各种缺陷，造成沉积硅片清洗甩胶烘干保存腐蚀哈尔滨工业大学工程硕士学位论文的薄膜厚度不均。

其清洗顺序为先将硅片用甲苯超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入丙酮中超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入无水乙醇中超声清洗分钟，取出用超纯水反复清洗遍以上，以去除剩余的无水乙醇将清洗完的硅片放入烘干箱中度烘干分钟，取出保存混合配比分别称取二氧化硅粉末，放入到聚酰亚胺中，用球磨机混合均匀，放置小时，以清除气泡。

分别制作出质量体积比为的五种钝化胶匀胶用匀胶机分别将种配比的钝化较均匀涂覆在多晶硅片上烘干分别在下烘干个小时保存待测量本章小结介绍了多晶硅纳米薄膜表层钝化所使用的多晶硅原片的制作步骤和制作工艺的具体参数，以及以多晶硅原片为基底制作各种不同材料钝化层的工艺步骤和具体参数。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文第章多晶硅纳米薄膜表层钝化的分析多晶硅器件的寿命，稳定性，效率等都受到表层钝化质量的影响。

钝化效果不好的器件寿命降低，稳定性差，效率低下，这必然影响多晶硅器件的使用。

随着时代的发展，人们对多晶硅器件的钝化效果提出了较高的要求。

通过第二章表层钝化的原理和测试方法的分析我们知道，对于薄膜材料的表层钝化的薄膜材料的选择采用了几种材料单独或混合制作出了多晶硅纳米薄膜钝化层，本章将对表层钝化的样品进行表征并对钝化效果进行测量和比较。

多晶硅表层钝化薄膜的表征图给出了所制备的多晶硅纳米薄膜的照片。

从图中可以看出，晶粒大小在左右，大小致，分布均匀。

图给出多晶硅样品的图谱。

从图中可以看出，除了单晶硅衬底产生的衍射峰外，所制备的多晶硅纳米薄膜还具有等特征衍射峰。

图多晶硅纳米膜形貌图哈尔滨工业大学工程硕士学位论文图多晶硅样品的图谱多晶硅钝化薄膜的寿命测量通过对微波光电导衰减仪的原理的分析知道，少子寿命与表面复合速率的关系为少子寿命越大，表面复合速率越小，钝化效果越好，反之，少子寿命越小，表面复合速率越大，钝化效果越差。

样品多晶硅原片哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从测量的寿命分布图可以看出，样品的寿命分布从微秒到微秒，其中地寿命区域偏多，平均少子寿命为微秒，钝化效果般。

富硅的。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的测试分析图可以知道，样品的寿命分布从微秒到微秒，其中深色区域明显增多，其平均少子寿命为微秒，较样品平层或艺的要求，设污水污泥和气体的计量装置，并可设置必要的仪表和控制装置。

污水厂附属设备建筑物的组成及其面积，应根据污水厂的规模工艺流程和管理体制等结合当地实际情况确定，并应符合现行的有关规定。

工业企业污水处理站的附属建筑物宜与该工业企业的有关建筑物统考虑。

位于寒冷地区的污水处理厂，应有保温防冻设施。

具体布局详见污内蒙古科技大学毕业设计说明书水厂平面布置图。

污水厂的高程布置高程布置的内容主要包括各处理构建筑物的标高如池顶池底水面等处理构筑物之间连接管道的尺寸及其标高，从而使污水能够沿流程在处理构筑物之间通畅地流动，保证污水处理厂的正常运行。

高程图上的垂直和水平方向的比例尺般不相同，般垂直的比例大取∶，而水平的比例小些∶。

污水厂高程布置原则污水厂高程布置时，所依据的主要技术参数是构筑物高度和水头损失。

在处理流程中，相邻构筑物的相对高差取决于两个构筑物之间的水面高差，这个水面高差的数值就是流程中的水头损失它由三个部分组成，即构筑物本身的连接管渠的及计量的水头损失等。

因此进行高程布置时，应首先计算这些水头损失，而且计算所得的数值应考虑些安全因素，以便留有余地。

初步设计时，可按表所列数据估算。

污水流经处理构筑物的水头损失，主要产生在进口出口和需要的跌水处，而流经处理构筑物本身的水头损失较小。

考虑远期发展，水量增加预留水头。

避免处理构筑物之间跌水等浪费水头的现象，充分利用地形高差，实现自流。

在计算并留有余量的前提下，力求缩小全程水头损失及提升泵站的流程，以降低运行费用。

表污水流经各处理构筑物的水头损失内蒙古科技大学毕业设计说明书构筑物名称水头损失构筑物名称水头损失格栅调节池集水井集水井需要排放的处理水，常年大多数时间里能够自流排放水体。

注意排放水位定不选取每年最高水位，因为其出现时间短，易造成常年水头浪费，而应选取经常出现的高水位作为排放水位。

应尽可能使污水处理工程的出水管渠高程不受洪水顶托，并能自流。

构筑物连接管渠的水头损失，包括沿程损失与局部损失，可按下列公式计算确定式式中沿程水头损失局部水头损失单位管长的水头损失水力坡度，根据流量管径和流速等查阅给水排水设计手册获得连接管段长度局部阻力系数，查阅给排水设计手册获得重力加速度连接管中流速，。

连接管中流速般取进入沉淀池时流速可以低些，进入曝气池或反应池时，流速可以高些。

流速太低时，会使管径过大，相应的管件及附属构筑物规格亦增大流速太高时，则要求管坡度较大，水头损失增大，会内蒙古科技大学毕业设计说明书增加填挖土方量等。

在确定连接管时，可考虑留有水量发展的余地。

计量设施的水头损失。

污水处理厂中计量槽薄壁计量堰流量计量的水头损失应通过计量设施有关计算公式图表或者设备说明书来确定。

般污水厂进出水管上计量仪表中水头损失可按计算。

高程布置时的注意事项在对污水处理厂污水处理流程的高程布置时，应考虑下列事项选择条距离最长水头损失最大的流程进行水力计算，并应适当留有余地，以保证在任何处理情况下处理系统能够正常运行均少子寿命有了明显的提高，说明经钝化后，钝化效果有了明显的改善。

富硅的。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从平均寿命分布图可以看出，样品的最高寿命可达微秒，说明局部的钝化效果有了很大的提高，但是平均少子寿命只有微秒，较样品的平均少子寿命提高不大，说明总体的钝化效果并没有得到大的改善，种材料总体的钝化效果相差不是很大，但是与样品的钝化效果相比，还是有了很大的提高哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的少子平均寿命图可以看出，样品的寿命分布从微秒到微秒，深色区域明显增多，平均寿命较，样品的平均寿命体提高并不是很大，但是大体的钝化效果有了很大改善，最低区域的少子寿命已能提高到微秒。

了富硅的。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从的平均寿命分布图可以看出，虽然相比较前面的个型号样品的，平均寿命并没有很大的改善，但是最大寿命可以达到微秒，平均少子寿命也能达到微秒，说明，此样品的钝化效果已经达到了较好的水平哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的平均寿命分布图可以看出，此种钝化材料所能达到的钝化效果已经相当好，其平均少子寿命可以达到微秒，最低最高少子寿命分别为微秒和微秒，钝化效果较前面的个型号的样品有较大的提高，而且颜色变化不是很大，较均。

了疏松的。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的平均寿命分布图可以看到，其少子的平均寿命已经达到了微秒，最低少子寿命已经提高至微秒，已经超过了前面几个样品的最高寿命，钝化效果为所测试的样品中最好的，而且颜色基本均，没有大的变化。

多晶硅薄膜钝化样品寿命测试的分析如图为不同钝化材料少子平均寿命的对比分析图，从图中可以看出，其中，以二氧化硅和氮化硅复合钝化膜的效果最佳，二氧化硅单层膜次之，在单层钝化薄膜中，二氧化硅的钝化效果好于聚酰亚胺，氮化硅相对较差。

综合测试，可知，在多晶硅上淀积氮化硅或二氧化硅或聚酰亚胺可以明显提高多晶硅纳米薄膜的平均少子寿命，从而减低多晶硅的表面复合速率，以提高多晶硅薄膜的钝化效果，延长多晶硅材料的使用寿命，提高器件工作的稳定性。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文本章小结采用原子力显微镜对多晶硅纳米膜的表面形貌进行表征，给出了多晶硅纳米膜形貌图采用微波光电导衰减仪测试了不同钝化材料的多晶硅样品的少子寿命，发现二氧化硅和氮化硅复合制备的多晶硅样品的钝化效果最好，其少子平均寿命可达微秒，单层钝化样品中，二氧化硅的钝化效果最好，氮化硅和聚酰亚胺的效果较二氧化硅要差。

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文结论课题在分析多晶硅表层钝化理论的基础上，对多晶硅薄膜的钝化种类和测量方法进行分析和比较，制作出多晶硅纳米膜表层钝化样品，并对在不同类型的表层钝化样品进行了分析和比较。

通过研究得出如下结论选择在硅片正面淀积多晶硅纳米薄膜，厚度为，采用对多晶硅纳米膜进行表征，纳米膜的晶粒大小均匀表面平整度良好。

多晶硅薄膜的钝化种类和测量方法进行分析和对比，分析表明对于薄膜材料来说采用低压化学气相淀积法和等离子体气相沉积法来制作含有二氧化硅，氮化硅和聚酰亚胺树脂的单